本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術：：印刷布線板的制造,、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,，伴隨微細布線化而使用胺系的剝離液。然而,，以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難,、海外的法規(guī)制度的問題，而避免其使用,。近年來,，為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點，還報道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻1),，由于剝離時的抗蝕劑沒有微細地粉碎,，因此存在近年的微細的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點。現(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2002-323776號公報技術實現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問題因此,，本發(fā)明的課題在于,，提供容易除去微細的布線間的抗蝕劑的技術。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結果發(fā)現(xiàn),，含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,，即使是非常微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎，從而完成本發(fā)明,。即,，本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液，其特征在于,，含有鉀鹽和溶纖劑,。另外，本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法，其特征在于,，用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材,。剝離液公司的聯(lián)系方式。蕪湖鋁鉬鋁蝕刻液剝離液

    閥門開關60設置在每一子管道301上,。在一些實施例中,，閥門開關60設置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,，閥門開關60設置在每一第二子管道502上,。具體的，閥門開關60的設置位置可以設置在連接過濾器30的任意管道上,，在此不做贅述,。在一些實施例中，請參閱圖4,，圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結構示意圖,。第二管道50包括多個第三子管道503，每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,，且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室連通102,。其中，閥門開關60設置在每一第三子管道503上,。本申請實施例提供的剝離液機臺,，包括：依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱,；過濾器,，所述過濾器的一端設置通過管道與當前級腔室對應的存儲箱連接，所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接,；其中,，至少在管道或所述第二管道上設置有閥門開關。通過閥門開關控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,，從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進程,，提高生產(chǎn)效率。本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,，請參閱圖5,，圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖,。無錫京東方用的蝕刻液剝離液銷售電話晶圓制造用剝離液的生產(chǎn)企業(yè)有哪些,；

    在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請實施例提供的剝離液機臺的種結構示意圖,。圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺的第二種結構示意圖,。圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺的第三種結構示意圖,。圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺的第四種結構示意圖。圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖,。具體實施方式目前剝離液機臺在工作時,，如果過濾剝離光阻時產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,，則需要剝離液機臺內(nèi)的所有工作單元,，待被阻塞的過濾器被清理后，才能重新進行剝離制程,，使得機臺需頻繁停線以更換過濾器，極大的降低了生產(chǎn)效率,。請參閱圖1,，圖1為本申請實施例提供的過濾液機臺100的種結構示意圖。本申請實施例提供一種剝離液機臺100,，包括：依次順序排列的多級腔室10,、每一級所述腔室10對應連接一存儲箱20；過濾器30,，所述過濾器30的一端設置通過管道40與當前級腔室101對應的存儲箱20連接,，所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接；其中,，至少在管道40或所述第二管道50上設置有閥門開關60,。

    形成帶有沉淀物的固液混合物，打開一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,，固液混合物進入一級過濾罐16的過濾筒中，先由一級過濾罐16的過濾筒過濾得到一級線性酚醛樹脂,，濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環(huán)料口7，往復3次數(shù)后,，一級線性酚醛樹脂回收完成，關閉一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,，利用提升泵6將一級過濾罐16中濾液抽取到攪拌釜10內(nèi)備用,；2,、向攪拌釜10中輸入酸性溶液,，與前述濾液充分攪拌混合再次析出沉淀物,，即二級線性酚醛樹脂，利用ph計檢測溶液ph值,，當達到5-7范圍內(nèi)即可，打開二級過濾罐13進料管路上的電磁閥17,，帶有沉淀物的混合液進入二級過濾罐13中，由其中的過濾筒過濾得到二級線性酚醛樹脂,，廢液二級過濾罐底部的廢液出口20流出,，送往剝離成分處理系統(tǒng),。上述過濾得到的一級線性酚醛樹脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,，而二級線性酚醛樹脂可用于其他場合。京東方用的哪家的剝離液,？

    但現(xiàn)有的回收裝置普遍存在如下問題：剝離廢液利用水洗裝置水洗過濾出光刻膠樹脂成分,，回收率低。為了解決這一問題,，現(xiàn)有技術通常再向剝離廢液中加入沉淀劑繼續(xù)反應，而后沉淀過濾出光刻膠樹脂成分，但所得到的光刻膠樹脂成分品質(zhì)不宜再用于光刻膠原料,，只能用于其他要求較低的樹脂需求場所,。技術實現(xiàn)要素：本實用新型的目的是為了提供一種結構設置更為合理,、使用方便可靠的光刻膠廢剝離液回收裝置，從根本上解決現(xiàn)有回收裝置回收率低的問題，同時分級回收輸出線性酚醛樹脂成分,，分級儲存,，以用于不同場合,，物盡其用。為達到上述目的,，本實用新型采用的技術方案是：一種光刻膠廢剝離液回收裝置，包括攪拌釜和與攪拌釜連通的過濾罐,，攪拌釜頂部設有廢剝離液投料口,，其技術要點是：所述過濾罐的數(shù)量為兩個，由一級過濾罐和二級過濾罐組成,，所述一級過濾罐和二級過濾罐在垂直方向上位于攪拌釜下方,，一級過濾罐和二級過濾罐的進料管路分別與攪拌釜底部連通，且進料管路上分別設有電磁閥,，所述一級過濾罐的底部出液口連接有提升泵,，所述提升泵的出料管路末端與攪拌釜頂部的循環(huán)料口連通，所述攪拌釜頂部另設有功能切換口,。剝離液適用于哪些行業(yè),。南通鋁鉬鋁蝕刻液剝離液推薦貨源

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    本申請涉及半導體工藝技術領域,，具體涉及一種剝離液機臺及其工作方法。背景技術：剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,，lift-off先形成光阻并圖案化,，再在光阻上成膜，移除光阻的同時,，沉積在光阻上的膜層也被剝離,，從而完成膜層的圖形化，通過該制程可以實現(xiàn)兩次光刻合并為一次以達到光罩縮減的目的?，F(xiàn)有技術中,，由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬，ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層),，在剝離光阻的同時薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中，大量的薄膜碎屑將會導致剝離液機臺中的過濾器(filter)堵塞,，從而導致機臺無法使用,，并且需要停止所有剝離液機臺的工作,，待將filter清理后再次啟動，降低了生產(chǎn)效率,。技術實現(xiàn)要素：本申請實施例提供一種剝離液機臺及其工作方法,，可以提高生產(chǎn)效率。本申請實施例提供一種剝離液機臺,，包括：依次順序排列的多級腔室,、每一級所述腔室對應連接一存儲箱；過濾器,，所述過濾器的一端設置通過管道與當前級腔室對應的存儲箱連接,，所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接；其中,，至少在所述管道或所述第二管道上設置有閥門開關,。在一些實施例中。蕪湖鋁鉬鋁蝕刻液剝離液