若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,，則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān),；取出被阻塞的所述過濾器。在一些實施例中,，所述若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,，則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān)包括：若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器，則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān),。本申請實施例還提供一種剝離液機(jī)臺,，包括：依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應(yīng)連接一存儲箱,；過濾器,，所述過濾器的一端設(shè)置通過管道與當(dāng)前級腔室對應(yīng)的存儲箱連接，所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接,；其中,，至少在所述管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)開關(guān)。通過閥門開關(guān)控制連接每一級腔室的過濾器相互獨(dú)立,，從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程,，提高生產(chǎn)效率。附圖說明為了更清楚地說明本申請實施例中的技術(shù)方案,，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,，顯而易見地，下面描述中的附圖是本申請的一些實施例,，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來講,，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖,。圖1為本申請實施例提供的剝離液機(jī)臺的種結(jié)構(gòu)示意圖。剝離液分為溶劑型和水系兩種類別,；銅陵剝離液銷售廠

    圖2為本申請實施例提供的剝離液機(jī)臺的第二種結(jié)構(gòu)示意圖,。圖3為本申請實施例提供的剝離液機(jī)臺的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請實施例提供的剝離液機(jī)臺的第四種結(jié)構(gòu)示意圖,。圖5為本申請實施例提供的剝離液機(jī)臺的工作方法的流程示意圖,。具體實施方式目前剝離液機(jī)臺在工作時,，如果過濾剝離光阻時產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞，則需要剝離液機(jī)臺內(nèi)的所有工作單元,，待被阻塞的過濾器被清理后,，才能重新進(jìn)行剝離制程，使得機(jī)臺需頻繁停線以更換過濾器,，極大的降低了生產(chǎn)效率,。請參閱圖1，圖1為本申請實施例提供的過濾液機(jī)臺100的種結(jié)構(gòu)示意圖,。本申請實施例提供一種剝離液機(jī)臺100,，包括：依次順序排列的多級腔室10、每一級所述腔室10對應(yīng)連接一存儲箱20,；過濾器30,，所述過濾器30的一端設(shè)置通過管道40與當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲箱20連接，所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接,；其中,，至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60。具體的,，圖1所示出的是閥門開關(guān)60設(shè)置在管道40上的示例圖,。當(dāng)當(dāng)前級別腔室101對應(yīng)的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后，通過閥門開關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級別腔室101對應(yīng)的存儲箱20與過濾器30之間的液體流通,。南通鋁鉬鋁蝕刻液剝離液聯(lián)系方式剝離液有水性和溶劑型兩種不同的區(qū)分,。

    利用提升泵將一級過濾罐中濾液抽取到攪拌釜內(nèi)；再向攪拌釜中輸入沉淀劑,，如酸性溶液,，與前述濾液充分?jǐn)嚢杌旌显俅挝龀龀恋砦铮炊壘€性酚醛樹脂,，打開二級過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥,，帶有沉淀物的混合液進(jìn)入二級過濾罐中，由其中的過濾筒過濾得到二級線性酚醛樹脂,，廢液二級過濾罐底部的廢液出口流出,，送往剝離成分處理系統(tǒng)。上述過濾得到的一級線性酚醛樹脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,，而二級線性酚醛樹脂可用于其他場合,。綜上，實現(xiàn)了對光刻膠樹脂的充分的回收利用,，回收率得到提高,。附圖說明圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是過濾筒的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式如圖1,、圖2所示,，該光刻膠廢剝離液回收裝置，包括攪拌釜10和與攪拌釜10連通的過濾罐,，所述過濾罐的數(shù)量為兩個,，由一級過濾罐16和二級過濾罐13組成。所述一級過濾罐16和二級過濾罐13在垂直方向上位于攪拌釜10下方,，一級過濾罐16和二級過濾罐13的進(jìn)料管路15,、14分別與攪拌釜10底部連通，且進(jìn)料管路15,、14上分別設(shè)有電磁閥18,、17。所述一級過濾罐16的底部出液口19連接有提升泵6,，所述提升泵6的出料管路末端與攪拌釜10頂部的循環(huán)料口7連通,。攪拌釜10頂部另設(shè)有廢剝離液投料口5和功能切換口3。

    本申請涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域,，具體涉及一種剝離液機(jī)臺及其工作方法,。背景技術(shù)：剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減，lift-off先形成光阻并圖案化,，再在光阻上成膜,，移除光阻的同時，沉積在光阻上的膜層也被剝離,，從而完成膜層的圖形化,，通過該制程可以實現(xiàn)兩次光刻合并為一次以達(dá)到光罩縮減的目的。現(xiàn)有技術(shù)中,，由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬,，ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層)，在剝離光阻的同時薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中,，大量的薄膜碎屑將會導(dǎo)致剝離液機(jī)臺中的過濾器(filter)堵塞,，從而導(dǎo)致機(jī)臺無法使用，并且需要停止所有剝離液機(jī)臺的工作,，待將filter清理后再次啟動,，降低了生產(chǎn)效率。技術(shù)實現(xiàn)要素：本申請實施例提供一種剝離液機(jī)臺及其工作方法,，可以提高生產(chǎn)效率,。本申請實施例提供一種剝離液機(jī)臺，包括：依次順序排列的多級腔室,、每一級所述腔室對應(yīng)連接一存儲箱,；過濾器,，所述過濾器的一端設(shè)置通過管道與當(dāng)前級腔室對應(yīng)的存儲箱連接，所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接,；其中，至少在所述管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān),。在一些實施例中,。博洋剝離液供應(yīng)廠商,歡迎隨時來電咨詢！

    本實用新型涉及光刻膠生產(chǎn)設(shè)備,，具體是一種光刻膠廢剝離液回收裝置,。背景技術(shù)：光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一，其是由溶劑,、感光樹脂,、光引發(fā)劑和添加劑四種成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光,、深紫外光,、電子束、離子束等光照或輻射下,，進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng),，經(jīng)曝光、顯影等過程,，將所需要的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至待加工的襯底上,，然后進(jìn)行蝕刻等工藝加工，終得到所需圖像,。其中,，溶劑使光刻膠具有流動性，易揮發(fā),，對于光刻膠的化學(xué)性質(zhì)幾乎沒有影響,。感光樹脂是惰性的聚合物，用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑,，給予光刻膠其機(jī)械和化學(xué)性質(zhì),。光引發(fā)劑是光刻膠中的光敏成分，對光能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),。添加劑是控制光刻膠材料特殊方面的化學(xué)物質(zhì),，用來控制和改變光刻膠材料的特定化學(xué)性質(zhì)或響應(yīng)特性。在光刻工藝中,，一般步驟為勻膠—干燥—前烘--曝光—顯影—后烘—蝕刻—剝離,。在光刻膠剝離工序中會產(chǎn)生剝離廢液，光刻膠價格昂貴,，如不對廢液中的光刻膠成分回收利用,，會造成較大的資源浪費(fèi),，因此企業(yè)通常將剝離廢液中的光刻膠樹脂進(jìn)行有效回收并應(yīng)用于再生產(chǎn)中。哪家公司的剝離液是比較劃算的,？合肥BOE蝕刻液剝離液銷售廠

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    按照組成成分和應(yīng)用工藝不同,，濕電子化學(xué)品可分為通用性和功能性濕電子化學(xué)品,。通用濕電子化學(xué)品以超凈高純試劑為主，一般為單組份,、單功能,、被大量使用的液體化學(xué)品，按照性質(zhì)劃分可分為：酸類,、堿類,、有機(jī)溶劑類和其他類。酸類包括氫氟酸,、硝酸,、鹽酸、硫酸,、磷酸等,；堿類包括氨水、氫氧化鈉,、氫氧化鉀等,；有機(jī)溶劑類包括甲醇、乙醇,、異丙醇,、**、乙酸乙酯等,；其他類包括雙氧水等,。功能濕電子化學(xué)品指通過復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復(fù)配類化學(xué)品,，即在單一的超凈高純試劑（或多種超凈高純試劑的配合）基礎(chǔ)上,，加入水、有機(jī)溶劑,、螯合劑,、表面活性劑混合而成的化學(xué)品。例如剝離液,、顯影液,、蝕刻液、清洗液等,。由于多數(shù)功能濕電子化學(xué)品是復(fù)配的化學(xué)品,，是混合物,，它的理化指標(biāo)很難通過普通儀器定量檢測，只能通過應(yīng)用手段來評價其有效性,。 銅陵剝離液銷售廠