但現(xiàn)有的回收裝置普遍存在如下問(wèn)題:剝離廢液利用水洗裝置水洗過(guò)濾出光刻膠樹脂成分,,回收率低。為了解決這一問(wèn)題,,現(xiàn)有技術(shù)通常再向剝離廢液中加入沉淀劑繼續(xù)反應(yīng),,而后沉淀過(guò)濾出光刻膠樹脂成分,但所得到的光刻膠樹脂成分品質(zhì)不宜再用于光刻膠原料,,只能用于其他要求較低的樹脂需求場(chǎng)所,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的是為了提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)置更為合理、使用方便可靠的光刻膠廢剝離液回收裝置,,從根本上解決現(xiàn)有回收裝置回收率低的問(wèn)題,,同時(shí)分級(jí)回收輸出線性酚醛樹脂成分,分級(jí)儲(chǔ)存,,以用于不同場(chǎng)合,,物盡其用。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種光刻膠廢剝離液回收裝置,,包括攪拌釜和與攪拌釜連通的過(guò)濾罐,,攪拌釜頂部設(shè)有廢剝離液投料口,其技術(shù)要點(diǎn)是:所述過(guò)濾罐的數(shù)量為兩個(gè),,由一級(jí)過(guò)濾罐和二級(jí)過(guò)濾罐組成,,所述一級(jí)過(guò)濾罐和二級(jí)過(guò)濾罐在垂直方向上位于攪拌釜下方,一級(jí)過(guò)濾罐和二級(jí)過(guò)濾罐的進(jìn)料管路分別與攪拌釜底部連通,,且進(jìn)料管路上分別設(shè)有電磁閥,,所述一級(jí)過(guò)濾罐的底部出液口連接有提升泵,所述提升泵的出料管路末端與攪拌釜頂部的循環(huán)料口連通,,所述攪拌釜頂部另設(shè)有功能切換口,。剝離液的技術(shù)指標(biāo)哪家比較好?合肥什么剝離液廠家現(xiàn)貨
本發(fā)明涉及剝離液技術(shù)領(lǐng)域:,,更具體的說(shuō)是涉及一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,。背景技術(shù)::電子行業(yè)飛速發(fā)展,,光刻膠應(yīng)用也越來(lái)越,。在半導(dǎo)體元器件制造過(guò)程中,經(jīng)過(guò)涂敷-顯影-蝕刻過(guò)程,,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,,必須在除去殘余光刻膠的同時(shí)不能損傷任何基材,才能再進(jìn)行下道工序,。因此,,光刻膠的剝離質(zhì)量也有直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量。但是傳統(tǒng)光刻膠剝離液雖然能剝離絕大部分光阻,,但對(duì)于高世代面板(高世代面板是代指大尺寸的液晶面板),,傳統(tǒng)剝離液親水性不夠,水置換能力較差,,容易造成面板邊緣光刻膠殘留,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的是提供一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:本申請(qǐng)公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,,包括以下質(zhì)量組分:酰胺:50-60%;醇醚:35-45%,;環(huán)胺與鏈胺:3-7%,;緩蝕劑:%%;潤(rùn)濕劑:%%,。的技術(shù)方案中,,所述的酰胺為n-甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺,、n,,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種,。的技術(shù)方案中,所述的醇醚為二乙二醇丁醚,、二乙二醇甲醚,、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的任意一種或多種,。的技術(shù)方案中,。揚(yáng)州哪家蝕刻液剝離液聯(lián)系方式剝離液的成分分類有哪幾種;
本發(fā)明涉及化學(xué)制劑技術(shù)領(lǐng)域:,,特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,。背景技術(shù)::隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)以及立體封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,電子器件和電子產(chǎn)品對(duì)多功能化和微型化的要求越來(lái)越高,。在這種小型化趨勢(shì)的推動(dòng)下,,要求芯片的封裝尺寸不斷減小。3d疊層粉妝技術(shù)的封裝體積小,,立體空間大,,引線距離短,信號(hào)傳輸快,,所以能夠更好地實(shí)現(xiàn)封裝的微型化,。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式。疊層晶圓在制造的過(guò)程中會(huì)對(duì)**外層的晶圓表面進(jìn)行顯影蝕刻,,當(dāng)中會(huì)用到光刻膠剝離液,。
避免接觸皮膚、眼睛和衣服,;存儲(chǔ):密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護(hù)極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通風(fēng):良好的通風(fēng)措施,,保持良好通風(fēng)人員保護(hù)設(shè)備:橡膠手套、防護(hù)目鏡,,避免接觸皮膚,、眼睛、衣服,、避免吸入蒸汽壓,;9.物理和化學(xué)性能物理測(cè)試:液體顏色:微黃氣味:類氨熔點(diǎn):-24~-23℃沸點(diǎn):165~204℃閃點(diǎn):110℃蒸汽壓mmHg@20℃蒸汽壓密度(空氣=1):密度(水=1):粘度:10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶劑:溶于部分有機(jī)溶劑PH值:10.穩(wěn)定性與活性穩(wěn)定性:穩(wěn)定危險(xiǎn)反應(yīng):有機(jī)和無(wú)機(jī)酸、強(qiáng)氧化劑,、堿金屬,、強(qiáng)酸混溶性:強(qiáng)氧化劑和酸不能混溶,在高溫氣壓下可與二硫化碳反應(yīng)避免條件:熱,、火,、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone實(shí)際毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮膚接觸(兔):8000mg/kgLC50/吸入(鼠):>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮膚接觸/兔:>。哪家公司的剝離液是比較劃算的?
所述功能切換口外部并聯(lián)有高純水輸入管線和沉淀劑輸入管線,,所述二級(jí)過(guò)濾罐的底部設(shè)有廢液出口,,所述一級(jí)過(guò)濾罐和二級(jí)過(guò)濾罐內(nèi)部均懸設(shè)有攔截固體成分的過(guò)濾筒。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,,所述一級(jí)過(guò)濾罐和二級(jí)過(guò)濾罐的結(jié)構(gòu)相同,,均由外殼、懸設(shè)于外殼內(nèi)的過(guò)濾筒,、扣裝于過(guò)濾筒頂部的壓蓋組成,,所述壓蓋中心設(shè)有對(duì)應(yīng)進(jìn)料管路的通孔,所述過(guò)濾筒由均勻布設(shè)多孔的支撐筒體,、設(shè)于支撐筒體內(nèi)表面的金屬濾網(wǎng),、設(shè)于金屬濾網(wǎng)表面的纖維濾布組成,所述支撐筒體的上沿伸出外殼頂部并利用水平翻邊支撐于外殼上表面,,所述金屬濾網(wǎng)的上沿設(shè)有與支撐筒體的水平翻邊扣合的定位翻邊,,所述支撐筒體的底面為向筒體內(nèi)側(cè)凹陷的錐面。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,,所述攪拌釜設(shè)有ph計(jì),,用于檢測(cè)溶液ph值。本實(shí)用新型的有益效果是:使用時(shí),,先將高純水與光刻膠廢剝離液在攪拌釜內(nèi)攪拌均勻,,形成固液混合物,打開一級(jí)過(guò)濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥,,固液混合物進(jìn)入一級(jí)過(guò)濾罐的過(guò)濾筒中,先由一級(jí)過(guò)濾罐的過(guò)濾筒過(guò)濾得到一級(jí)線性酚醛樹脂,,濾液由提升泵送往攪拌釜的循環(huán)料口,,往復(fù)設(shè)定次數(shù)后,一級(jí)線性酚醛樹脂回收完成,,關(guān)閉一級(jí)過(guò)濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥,。京東方用的哪家的剝離液?南京天馬用的蝕刻液剝離液銷售廠家
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形成帶有沉淀物的固液混合物,,打開一級(jí)過(guò)濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥18,固液混合物進(jìn)入一級(jí)過(guò)濾罐16的過(guò)濾筒中,,先由一級(jí)過(guò)濾罐16的過(guò)濾筒過(guò)濾得到一級(jí)線性酚醛樹脂,,濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環(huán)料口7,往復(fù)3次數(shù)后,,一級(jí)線性酚醛樹脂回收完成,,關(guān)閉一級(jí)過(guò)濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥18,利用提升泵6將一級(jí)過(guò)濾罐16中濾液抽取到攪拌釜10內(nèi)備用;2,、向攪拌釜10中輸入酸性溶液,,與前述濾液充分?jǐn)嚢杌旌显俅挝龀龀恋砦铮炊?jí)線性酚醛樹脂,,利用ph計(jì)檢測(cè)溶液ph值,,當(dāng)達(dá)到5-7范圍內(nèi)即可,打開二級(jí)過(guò)濾罐13進(jìn)料管路上的電磁閥17,,帶有沉淀物的混合液進(jìn)入二級(jí)過(guò)濾罐13中,,由其中的過(guò)濾筒過(guò)濾得到二級(jí)線性酚醛樹脂,廢液二級(jí)過(guò)濾罐底部的廢液出口20流出,,送往剝離成分處理系統(tǒng),。上述過(guò)濾得到的一級(jí)線性酚醛樹脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,而二級(jí)線性酚醛樹脂可用于其他場(chǎng)合,。合肥什么剝離液廠家現(xiàn)貨