表％九氟丁基甲基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出92重量％九氟丁基甲基醚和8重量％甲基四氫呋喃的共沸組合物,，其在°C的沸點(diǎn)。實(shí)施例2如實(shí)施例1所述進(jìn)行沸點(diǎn)測(cè)定方法,。表II給出九氟丁基乙基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量％甲基四氫呋喃的重量％(°C)％九氟丁基乙基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出％九氟丁基乙基醚和％甲基四氫呋喃的共沸組合物,，其在°C的沸點(diǎn)。清洗試驗(yàn)的總體過程首先，用FORANE141b對(duì)2X5cm的不銹鋼片材進(jìn)行脫脂。這些片材各自在測(cè)試之前稱重，其構(gòu)成皮重。然后,，在這些片材的單側(cè)上涂布油REDUCTELFSP460,。對(duì)該涂布有油的片材進(jìn)行稱重,，并由與皮重的差值推算出涂布的油的量,。接下來,，將該涂布有油的片材浸5入到含有100ml待評(píng)價(jià)組合物的燒杯中5分鐘,，不進(jìn)行攪拌且無超聲,。該片材一移出,，就在通風(fēng)的情況下進(jìn)行15分鐘的滴干(dripdry),，并且，在該15分鐘結(jié)束時(shí),，通過稱重測(cè)定油的殘留量,。與油的初始量相比，計(jì)算移除的油的百分?jǐn)?shù)。實(shí)施例3在使用九氟丁基甲基醚的組合物的情況下,，得到0%的油移除率,。實(shí)施例4在使用包含8重量％的2-MeTHF和92重量％的九氟丁基甲基醚的組合物的情況下。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司擁有專業(yè)的BOE蝕刻液以及各種蝕刻液,。湖南應(yīng)用BOE蝕刻液推薦貨源

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    添加劑為二乙二醇單甲醚,、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,，添加量分別為％,、％、％,。實(shí)施例6本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中,，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,、月桂酰氨乙基硫酸鈉,，添加量分別為總質(zhì)量的％、％,、％,。對(duì)照例對(duì)照例中所含成分顯示于表1，并采用與實(shí)施例相同的方法進(jìn)行處理,。對(duì)照例1為純磷酸,，總質(zhì)量為400g。對(duì)照例2為磷酸,、丙二醇丁醚,，其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的％。對(duì)照例3為磷酸,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,，其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的％。結(jié)果如表2所示,，與對(duì)照例蝕刻液相比,，實(shí)施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角，并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性,。表1表2顯然,，上述實(shí)施例和對(duì)照例是為了清楚地說明所作的實(shí)例,，而并非對(duì)實(shí)施方式的限制。對(duì)于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng),，這里無需也無法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見的變化或變動(dòng)仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi),。

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    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,，來改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力,，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕,。在半導(dǎo)體制造工藝中,，一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅,。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高,，對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來越高,，如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留,、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí)，晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí),，檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸,、％的醇醚類、％的表面活性劑,。進(jìn)一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。蘇州BOE蝕刻液的價(jià)格,。福建BOE蝕刻液私人定做

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