然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,，待加熱到確定溫度后,，放入氮化硅樣片進行蝕刻；蝕刻完后,，取出樣片采用熱超純水清洗和氮氣吹干后,，使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點的厚度進行測量,，計算蝕刻前后6個取點的厚度差值，對比6個點之間的厚度差值的差異,。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,，本發(fā)明的有益效果是：醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力，有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性,。具體實施方式下面結(jié)合具體實施例,，進一步闡述本發(fā)明，對本發(fā)明做進一步詳細(xì)的說明,，但不限于這些實施例,。本發(fā)明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85％，蝕刻溫度為160℃,，蝕刻時間為10min,。先對所配制蝕刻液的表面張力進行檢測，然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮氣吹干后,，進行接觸角的測量,；蝕刻前使用超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后，在氮化硅樣片上取6個不同位置的點對其厚度進行測量,；蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后,，取與蝕刻前相同位置的6個點進行厚度測量。實施例1本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中。BOE蝕刻液,，高效,，品質(zhì)之選。浙江BOE蝕刻液生產(chǎn)

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    ósitosapareddecubetoserácomomínimode50centímetrosyentretanquesserááóóónexteriordelosdepósitosseestudiarádeformaespecialenloscasosdeexistenciadeaguasselenitosas,corrosivasuotroselementosagresivosenlazonaadyacentealenterramientoycomomínimo,enmedionoagresivo,elrevestimientodeberá:1.oTenerunespesormí.oResistiralensayode15kVdetensióndeperforación,.oónseaplicarásobretodalasuperficieexterior,ósitosselimpiarádeaceites,grasas,etc.,aplicándoseuntratamientodecepilladomanualomecánicoparaconseguirquelasuperficiepresenteunaspectodebrillometálico,ónpasivainterior,á?ósitosdeaceroinoxidablenoseránecesarialaproteccióáunaorejetaenchapadeacerodecincomilímetrosdeespesorcomomínimo,soldadaalcuellodelabocadehombreparalaconexión,mediantetornilloosoldadura?CADWELD?,delalíneadetierraoproteccióncatódica;launiónseprotegeráyaislarámediantepastasepoxíálacontinuidadeléctricadelatapadelabocadehombre。

    所述的磷酸濃度為82-87％,。進一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,，醇醚類的含量為％。進一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液，表面活性劑的含量為％,。進一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液，所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚,、丙二醇丁醚,、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚,、三乙二醇乙醚,、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種,；表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms,、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉,、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種,。進一步地,，在使用本發(fā)明的蝕刻液進行氮化硅層蝕刻時，蝕刻溫度為152-165℃,，蝕刻時間為5-60min,。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，改善了磷酸的浸潤性和表面張力,，明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性,。為了便于驗證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性，本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為),。蝕刻液配制完成后,，先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力；然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,，采用超純水清洗和氮氣吹干后,，使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前,，使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個點進行厚度的測量,。選擇BOE蝕刻液，實現(xiàn)高精度蝕刻效果,。

    添加劑為二乙二醇單甲醚,、三乙二醇乙醚,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為％,、％,、％。實施例6本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為丙二醇丁醚,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸鈉,，添加量分別為總質(zhì)量的％,、％、％,。對照例對照例中所含成分顯示于表1,，并采用與實施例相同的方法進行處理。對照例1為純磷酸,，總質(zhì)量為400g,。對照例2為磷酸、丙二醇丁醚,，其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的％,。對照例3為磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,，其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的％,。結(jié)果如表2所示，與對照例蝕刻液相比,，實施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角,，并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性。表1表2顯然,，上述實施例和對照例是為了清楚地說明所作的實例,，而并非對實施方式的限制。對于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動,，這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護范圍之內(nèi),。博洋 BOE 蝕刻液有妙招,，個性化解決方案為您排憂解難。江西介紹BOE蝕刻液銷售廠家

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    本實用新型屬于廢液處理領(lǐng)域,，尤其涉及一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),。背景技術(shù)：酸性蝕刻液是用于印制電路板線路制作和多層板內(nèi)層制作的蝕刻液，隨著電路板行業(yè)的迅速發(fā)展,，產(chǎn)生的廢液量越來越大,，發(fā)掘的污染物種類也越來越多，對環(huán)境造成巨大的危害,，此類問題也成為社會的重要課題,。為了減少甚至杜絕此類污染的發(fā)生，我們需要對酸性蝕刻液進行回收循環(huán)利用,。目前對于酸性蝕刻廢液的再生利用大多采用化學(xué)或電化學(xué)的方法，但傳統(tǒng)的方法廢液中總銅的含量不斷增大,，比重增加,，必須排掉一部分廢液或者補加子液和水來控制參數(shù)，這樣污染大,，影響環(huán)境,，而且還會造成銅和酸的浪費。技術(shù)實現(xiàn)要素：本實用新型所要解決的技術(shù)問題為如何通過簡單,、低成本的技術(shù)實現(xiàn)種酸性蝕刻液電解后廢液的再生利用,。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型是這樣實現(xiàn)的,，一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),，包括：電解槽,，具有一出液口和出氣口,，且內(nèi)置有酸性蝕刻液,，用于對所述酸性蝕刻液進行電解提銅,，產(chǎn)生氯氣,，得到電解后液；再生液調(diào)配缸,，具有進液口和循環(huán)出液口,，所述進液口通過管道與所述電解槽的出液口連接以接收電解后液,；射流器，其進氣口通過導(dǎo)氣管與所述電解槽的出氣口連接以接收所述氯氣,。浙江BOE蝕刻液生產(chǎn)