研發(fā)投入
擁有自己實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)團(tuán)隊(duì),,研發(fā)費(fèi)用占比超15%,聚焦EUV光刻膠前驅(qū)體,、低缺陷納米壓印膠等前沿領(lǐng)域,,與中山大學(xué)、華南理工大學(xué)建立產(chǎn)學(xué)研合作,。
專項(xiàng)布局:累計(jì)申請(qǐng)光刻膠相關(guān)的項(xiàng)目30余項(xiàng),,涵蓋樹脂合成、配方優(yōu)化,、涂布工藝等細(xì)致環(huán)節(jié),。
生產(chǎn)體系
全自動(dòng)化產(chǎn)線:采用德國(guó)曼茨(Manz)涂布設(shè)備、日本島津(Shimadzu)檢測(cè)儀器,,年產(chǎn)能超500噸(光刻膠),,支持小批量定制(小訂單100g)和大規(guī)模量產(chǎn),。
潔凈環(huán)境:生產(chǎn)車間達(dá)萬級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)(ISO 8級(jí)),避免顆粒污染,,確保光刻膠缺陷密度<5個(gè)/cm,。
松山湖光刻膠廠家吉田,,2000 萬級(jí)產(chǎn)能,,48小時(shí)極速交付!湖北負(fù)性光刻膠國(guó)產(chǎn)廠家
正性光刻膠
YK-300:適用于半導(dǎo)體制造,具備高分辨率(線寬≤10μm),、耐高溫(250℃),、耐酸堿腐蝕特性,主要用于28nm及以上制程的晶圓制造,,適配UV光源(365nm/405nm),。
技術(shù)優(yōu)勢(shì):采用進(jìn)口樹脂及光引發(fā)劑,絕緣阻抗高(>10^14Ω),,滿足半導(dǎo)體器件對(duì)絕緣性的嚴(yán)苛要求,。
負(fù)性光刻膠
JT-1000:負(fù)性膠,主打優(yōu)異抗深蝕刻性能,,分辨率達(dá)3μm,,適用于功率半導(dǎo)體、MEMS器件制造,,可承受氫氟酸(HF),、磷酸(H3PO4)等強(qiáng)腐蝕液處理。
SU-3:經(jīng)濟(jì)型負(fù)性膠,,性價(jià)比高,,適用于分立器件及低端邏輯芯片,光源適應(yīng)性廣(248nm-436nm),,曝光靈敏度≤200mJ/cm,。
2. 顯示面板光刻膠
LCD正性光刻膠YK-200:專為TFT-LCD制程設(shè)計(jì),具備高涂布均勻性(膜厚誤差±1%),、良好的基板附著力,,用于彩色濾光片(CF)和陣列基板(Array)制造,支持8.5代線以上大規(guī)模生產(chǎn),。
水性感光膠JT-1200:環(huán)保型產(chǎn)品,,VOC含量<50g/L,符合歐盟RoHS標(biāo)準(zhǔn),,適用于柔性顯示基板,,可制作20μm以下精細(xì)網(wǎng)點(diǎn),主要供應(yīng)京東方,、TCL等面板廠商,。
無錫3微米光刻膠報(bào)價(jià)松山湖光刻膠廠家吉田,,23 年經(jīng)驗(yàn) + 全自動(dòng)化產(chǎn)線,支持納米壓印光刻膠定制,!
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,,主要涵蓋厚板、負(fù)性,、正性,、納米壓印及光刻膠等類別,以滿足不同領(lǐng)域的需求,。
UV 納米壓印光刻膠:JT-2000 型號(hào),,耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿,耐高溫達(dá) 250°C,,長(zhǎng)期可靠性高,,粘接強(qiáng)度高,重量 100g,。適用于需要在特殊化學(xué)和高溫環(huán)境下進(jìn)行納米壓印光刻的工藝,,如半導(dǎo)體器件制造。
其他光刻膠
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水油光刻膠 JT-2001:屬于水油兩用光刻膠,,具有工廠研發(fā),、可定制、使用,、品質(zhì)保障,、性能穩(wěn)定的特點(diǎn),重量 1L,。
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水油光刻膠 SR-3308:同樣為水油兩用光刻膠,,重量 5L,具備上述通用優(yōu)勢(shì),,應(yīng)用場(chǎng)景,。
LCD顯示
彩色濾光片(CF):
黑色矩陣(BM)光刻膠:隔離像素,線寬精度±2μm,,透光率<0.1%,。
RGB色阻光刻膠:形成紅/綠/藍(lán)像素,需高色純度(NTSC≥95%)和耐光性,。
陣列基板(Array):
柵極絕緣層光刻膠:用于TFT-LCD的柵極圖案化,,分辨率≤3μm。
OLED顯示(柔性/剛性)
像素定義層(PDL)光刻膠:在基板上形成有機(jī)發(fā)光材料的 confinement 結(jié)構(gòu),,線寬精度±1μm,,需耐溶劑侵蝕(適應(yīng)蒸鍍工藝)。
觸控電極(如ITO/PET):通過光刻膠圖形化實(shí)現(xiàn)透明導(dǎo)電線路,,線寬≤5μm,。
Mini/Micro LED
巨量轉(zhuǎn)移前的芯片制備:使用高分辨率光刻膠(分辨率≤5μm)定義微米級(jí)LED陣列,,良率要求>99.99%。
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吉田半導(dǎo)體的光刻膠產(chǎn)品覆蓋芯片制造,、顯示面板、PCB 及微納加工等領(lǐng)域,,通過差異化技術(shù)(如納米壓印,、厚膜工藝)和環(huán)保特性(水性配方),滿足從傳統(tǒng)電子到新興領(lǐng)域(如第三代半導(dǎo)體,、Mini LED)的多樣化需求,。其產(chǎn)品不僅支持高精度,、高可靠性的制造工藝,,還通過材料創(chuàng)新推動(dòng)行業(yè)向綠色化、低成本化方向發(fā)展,。吉田半導(dǎo)體光刻膠的優(yōu)勢(shì)在于技術(shù)全面性,、環(huán)保創(chuàng)新、質(zhì)量穩(wěn)定性及本土化服務(wù),,尤其在納米壓印,、厚膜工藝及水性膠領(lǐng)域形成差異化競(jìng)爭(zhēng)力。
光刻膠生產(chǎn)工藝流程與應(yīng)用,。河北激光光刻膠多少錢
負(fù)性光刻膠的工藝和應(yīng)用場(chǎng)景,。湖北負(fù)性光刻膠國(guó)產(chǎn)廠家
定義與特性
負(fù)性光刻膠是一種在曝光后,未曝光區(qū)域會(huì)溶解于顯影液的光敏材料,,形成與掩膜版(Mask)圖案相反的圖形,。與正性光刻膠相比,其主要特點(diǎn)是耐蝕刻性強(qiáng),、工藝簡(jiǎn)單,、成本低,但分辨率較低(通�,!�1μm),,主要應(yīng)用于對(duì)精度要求相對(duì)較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場(chǎng)景,。
化學(xué)組成與工作原理
主要成分
基體樹脂:
早期以聚異戊二烯橡膠(天然或合成)為主,,目前常用環(huán)化橡膠(Cyclized Rubber)或聚乙烯醇肉桂酸酯,提供膠膜的機(jī)械強(qiáng)度和耐蝕刻性,。
光敏劑:
主要為雙疊氮化合物(如雙疊氮芪)或重氮醌類衍生物,,占比約5%-10%,吸收紫外光后引發(fā)交聯(lián)反應(yīng),。
交聯(lián)劑:
如六亞甲基四胺(烏洛托品),,在曝光后與樹脂發(fā)生交聯(lián),,形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
溶劑:
多為有機(jī)溶劑(如二甲苯,、環(huán)己酮),,溶解樹脂和光敏劑,涂布后揮發(fā)形成均勻膠膜,。
工作原理
曝光前:光敏劑和交聯(lián)劑均勻分散在樹脂中,,膠膜可溶于顯影液(有機(jī)溶劑)。
曝光時(shí):
光敏劑吸收紫外光(G線436nm為主)后產(chǎn)生活性自由基,,引發(fā)交聯(lián)劑與樹脂分子間的共價(jià)鍵交聯(lián),,使曝光區(qū)域形成不溶于顯影液的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
顯影后:
未曝光區(qū)域的樹脂因未交聯(lián),,被顯影液溶解去除,,曝光區(qū)域保留,形成負(fù)性圖案(與掩膜版相反),。
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