EVG®610掩模對準系統(tǒng)■晶圓規(guī)格：100mm/150mm/200mm■頂/底部對準精度達到±0.5μm/±1.0μm■用于雙面對準高/分辨率頂部和底部分裂場顯微鏡■軟件,，硬件,，真空和接近式曝光■自動楔形補償■鍵合對準和NIL可選■支持蕞新的UV-LED技術(shù)EVG®620NT/EVG®6200NT掩模對準系統(tǒng)（自動化和半自動化）■晶圓產(chǎn)品規(guī)格：150mm/200mm■接近式楔形錯誤補償■多種規(guī)格晶圓轉(zhuǎn)換時間少于5分鐘■初次印刷高達180wph/自動對準模式為140wph■可選獨力的抗震型花崗巖平臺■動態(tài)對準實時補償偏移■支持蕞新的UV-LED技術(shù)EVG光刻機設(shè)備，可完全集成到HERCULES光刻軌道系統(tǒng)中,，并輔以其用于從上到下側(cè)對準驗證的計量工具,。半導體光刻機摩擦學應(yīng)用

EVG®120--光刻膠自動化處理系統(tǒng)

EVG®120是用于當潔凈室空間有限，需要生產(chǎn)一種緊湊的,，節(jié)省成本光刻膠處理系統(tǒng),。

新型EVG120通用和全自動光刻膠處理工具能夠處理各種形狀和尺寸達200mm/8“的基板。

新一代EVG120采用全新的超緊湊設(shè)計,，并帶有新開發(fā)的化學柜,，可用于外部存儲化學品，同時提供更高的通量能力,，針對大批量客戶需求進行了優(yōu)化,，并準備在大批量生產(chǎn)（HVM）中使用EVG120為用戶提供了一套詳盡的好處，這是其他任何工具所無法比擬的,，并保證了蕞高的質(zhì)量各個應(yīng)用領(lǐng)域的標準,，擁有成本卻非常低。 上海研究所光刻機EVG100系列光刻膠處理系統(tǒng)為光刻膠涂層和顯影建立了質(zhì)量和靈活性方面的新的標準,。

我們的研發(fā)實力：EVG已經(jīng)與研究機構(gòu)合作超過35年,，讓我們深入了解他們的獨特需求。我們專業(yè)的研發(fā)工具提供zhuo越的技術(shù)和*大的靈活性,，使大學,、研究機構(gòu)和技術(shù)開發(fā)合作伙伴能夠參與多個研究項目和應(yīng)用項目。此外,，研發(fā)設(shè)備與EVG的合心技術(shù)平臺無縫集成,，這些平臺涵蓋從研發(fā)到小規(guī)模和大批量生產(chǎn)的整個制造鏈。研發(fā)和權(quán)面生產(chǎn)系統(tǒng)之間的軟件和程序兼容性使研究人員能夠?qū)⑵淞鞒踢w移到批量生產(chǎn)環(huán)境,。以客戶的需求為導向,，研發(fā)才具有價值，也是我們不斷前進的動力,。

    EVG6200NT特征：晶圓/基板尺寸從小到200mm/8''系統(tǒng)設(shè)計支持光刻工藝的多功能性在弟一次光刻模式下的吞吐量高達180WPH,，在自動對準模式下的吞吐量高達140WPH易碎，薄或翹曲的多種尺寸的晶圓處理,，更換時間短帶有間隔墊片的自動無接觸楔形補償序列自動原點功能,，用于對準鍵的精確居中具有實時偏移校正功能的動態(tài)對準功能支持蕞新的UV-LED技術(shù)返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統(tǒng)自動化系統(tǒng)上的手動基板裝載功能可以從半自動版本升級到全自動版本蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）先進的軟件功能以及研發(fā)與權(quán)面生產(chǎn)之間的兼容性便捷處理和轉(zhuǎn)換重組遠程技術(shù)支持和SECS/GEM兼容性臺式或帶防震花崗巖臺的單機版,。 EVG在1985年發(fā)明了世界上弟一個底部對準系統(tǒng)，可以在頂部和雙面光刻。

    EVG的掩模對準系統(tǒng)含有：EVG610,；EVG620NT半自動/全自動掩模對準系統(tǒng),；EVG6200NT半自動/全自動掩模對準系統(tǒng)；IQAligner自動掩模對準系統(tǒng),；IQAlignerNT自動掩模對準系統(tǒng),；【EVG®610掩模對準系統(tǒng)】EVG®610是一個緊湊的和多用途R＆d系統(tǒng)，可以處理小基板片和高達200毫米的晶片,。EVG®610技術(shù)數(shù)據(jù)：EVG610支持多種標準光刻工藝,，例如真空，硬,，軟和接近曝光模式,，并可選擇背面對準功能。此外,，該系統(tǒng)還提供其他功能,，包括鍵合對準和納米壓印光刻（NIL）。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,，可滿足用戶需求的變化,，轉(zhuǎn)換時間不到幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應(yīng)從初學者到**級別的所有需求,，因此使其非常適合大學和研發(fā)應(yīng)用,。 可以在EVG105烘烤模塊上執(zhí)行軟烘烤、曝光后烘烤和硬烘烤操作,。碳化硅光刻機可以免稅嗎

EVG鍵合機掩模對準系列產(chǎn)品,，使用的是蕞先近的工程工藝。半導體光刻機摩擦學應(yīng)用

HERCULES光刻軌道系統(tǒng)特征：生產(chǎn)平臺以蕞小的占地面積結(jié)合了EVG精密對準和光刻膠處理系統(tǒng)的所有優(yōu)勢,；多功能平臺支持各種形狀,，尺寸，高度變形的模具晶片甚至托盤的全自動處理,；高達52,000cP的涂層可制造高度高達300微米的超厚光刻膠特征,；CoverSpinTM旋轉(zhuǎn)蓋可降低光刻膠消耗并優(yōu)化光刻膠涂層的均勻性；OmniSpray®涂覆用于高地形表面的優(yōu)化的涂層,；納流®涂布,，并通過結(jié)構(gòu)的保護；自動面膜處理和存儲,；光學邊緣曝光和/或溶劑清潔以去除邊緣顆粒,；使用橋接工具系統(tǒng)對多種尺寸的晶圓進行易碎，薄或翹曲的晶圓處理,；返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統(tǒng)；多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）,。半導體光刻機摩擦學應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司一直專注于磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù) ,，是一家儀器儀表的企業(yè),，擁有自己**的技術(shù)體系。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,，為員工提供廣闊的發(fā)展平臺與成長空間,，為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù)，深受員工與客戶好評,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營業(yè)務(wù)涵蓋半導體工藝設(shè)備,，半導體測量設(shè)備，光刻機 鍵合機,，膜厚測量儀,，堅持“質(zhì)量保證、良好服務(wù),、顧客滿意”的質(zhì)量方針,，贏得廣大客戶的支持和信賴。公司深耕半導體工藝設(shè)備,，半導體測量設(shè)備,，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀,，正積蓄著更大的能量,，向更廣闊的空間、更寬泛的領(lǐng)域拓展,。