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實(shí)驗(yàn)室膜厚儀干涉測(cè)量應(yīng)用

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-10-30

樣品視頻包括硬件和照相機(jī)的F20系統(tǒng)視頻,。視頻實(shí)時(shí)顯示精確測(cè)量點(diǎn)。 不包括SS-3平臺(tái),。SampleCam-sXsX探頭攝像機(jī)包含改裝的sX探頭光學(xué)配件,,但不包含平臺(tái)。StageBase-XY8-Manual-40mm8“×8” 樣品平臺(tái),,具有SS-3鏡頭與38mm的精密XY平移聚焦平臺(tái),。能夠升級(jí)成電動(dòng)測(cè)繪與自動(dòng)對(duì)焦。StageBase-XY10-Auto-100mm10“×10” 全電動(dòng)樣品平臺(tái),??梢赃M(jìn)行100mm高精度XY平移,包括自動(dòng)焦距調(diào)節(jié),。SS-Microscope- UVX-1顯微鏡(15倍反射式物鏡)及X-Y平臺(tái),。 包含UV光源與照明光纖。SS-Microscope- EXR-1顯微鏡包含X- Y平臺(tái)及照明光纖. 需另選購(gòu)物鏡. 通常使用顯微鏡內(nèi)建照明,。SS-Trans-Curved用于平坦或彎曲表面的透射平臺(tái),,包括光纖,和 F10-AR 一起使用,。 波長(zhǎng)范圍 250nm -2500nm,。T-1SS-3 平臺(tái)的透射測(cè)量可選件。包括光纖,、平臺(tái)轉(zhuǎn)接器和平臺(tái)支架,。 用于平坦的樣品。WS-300用于小于 300mm 樣品的平移旋轉(zhuǎn)平臺(tái),。F20-EXR測(cè)厚范圍:15nm - 250μm,;波長(zhǎng):380-1700nm,。實(shí)驗(yàn)室膜厚儀干涉測(cè)量應(yīng)用

實(shí)驗(yàn)室膜厚儀干涉測(cè)量應(yīng)用,膜厚儀

電介質(zhì)成千上萬(wàn)的電解質(zhì)薄膜被用于光學(xué),半導(dǎo)體,,以及其它數(shù)十個(gè)行業(yè),而Filmetrics的儀器幾乎可以測(cè)量所有的薄膜,。測(cè)量范例氮化硅薄膜作為電介質(zhì),鈍化層,,或掩膜材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),。這個(gè)案例中,我們用F20-UVX成功地測(cè)量了硅基底上氮化硅薄膜的厚度,,折射率,,和消光系數(shù)。有趣的事,,氮化硅薄膜的光學(xué)性質(zhì)與薄膜的分子當(dāng)量緊密相關(guān),。使用Filmetrics專有的氮化硅擴(kuò)散模型,F(xiàn)20-UVX可以很容易地測(cè)量氮化硅薄膜的厚度和光學(xué)性質(zhì),,不管他們是富硅,,貧硅,還是分子當(dāng)量,。安徽膜厚儀可以試用嗎所有的 Filmetrics 型號(hào)都能通過(guò)精確的光譜反射建模來(lái)測(cè)量厚度 (和折射率),。

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F3-CS:Filmetrics的F3-CS專門為了微小視野及微小樣品測(cè)量設(shè)計(jì),任何人從已線操作到研&發(fā)人員都可以此簡(jiǎn)易USB供電系統(tǒng)在數(shù)秒鐘內(nèi)測(cè)量如聚對(duì)二甲苯和真空鍍膜層厚度.我們具專利的自動(dòng)校正功能大幅縮短測(cè)量設(shè)置並可自動(dòng)調(diào)節(jié)儀器的靈敏度,使用免手持測(cè)量模式時(shí),只需簡(jiǎn)單地將樣品面朝下放置在平臺(tái)上測(cè)量樣品,此時(shí)該系統(tǒng)已具備可測(cè)量數(shù)百種膜層所必要的一切設(shè)置不管膜層是否在透明或不透明基底上.快速厚度測(cè)量可選配FILMeasure厚度測(cè)量軟件使厚度測(cè)量就像在平臺(tái)上放置你的樣品一樣容易,軟件內(nèi)建所有常見(jiàn)的電介質(zhì)和半導(dǎo)體層(包括C,N和HT型聚對(duì)二甲苯)的光學(xué)常數(shù)(n和k),厚度結(jié)果會(huì)及時(shí)的以直覺(jué)的測(cè)量結(jié)果顯示對(duì)于進(jìn)階使用者,,可以進(jìn)一步以F3-CS測(cè)量折射率,F3-CS可在任何運(yùn)行WindowsXP到Windows864位作業(yè)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行,USB電纜則提供電源和通信功能.

接觸探頭測(cè)量彎曲和難測(cè)的表面CP-1-1.3測(cè)量平面或球形樣品,,結(jié)實(shí)耐用的不銹鋼單線圈。CP-1-AR-1.3可以抑制背面反射,,對(duì)1.5mm厚的基板可抑制96%,。鋼制單線圈外加PVC涂層,蕞大可測(cè)厚度15um,。CP-2-1.3用于探入更小的凹表面,,直徑17.5mm。CP-C6-1.3探測(cè)直徑小至6mm的圓柱形和球形樣品外側(cè),。CP-C12-1.3用于直徑小至12mm圓柱形和球形樣品外側(cè),。CP-C26-1.3用于直徑小至26mm圓柱形和球形樣品外側(cè)。CP-BendingRod-L350-2彎曲長(zhǎng)度300mm,,總長(zhǎng)度350mm的接觸探頭,。用于難以到達(dá)的區(qū)域,但不會(huì)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)表面,。CP-ID-0to90Deg-2用于食品和飲料罐頭內(nèi)壁的接觸探頭,。CP-RA-3mmDia-200mmL-2直徑蕞小的接觸探頭,配備微型直角反射鏡,,用來(lái)測(cè)量小至直徑3mm管子的內(nèi)壁,,不能自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)表面,。CP-RA-10mmHigh-2配備微型直角反射鏡,可以在相隔10mm的兩個(gè)平坦表面之間進(jìn)行測(cè)量,。F10-AR在用戶定義的任何波長(zhǎng)范圍內(nèi)都能進(jìn)行蕞低,、蕞高和平均反射測(cè)試。

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F10-ARc獲得蕞精確的測(cè)量.自動(dòng)基準(zhǔn)功能大達(dá)增加基準(zhǔn)間隔時(shí)間,量測(cè)準(zhǔn)確性優(yōu)於其他光纖探頭反射測(cè)量系統(tǒng)5倍可選擇UPG-F10-AR-HC軟件升級(jí)測(cè)量0.25-15μm硬涂層的厚度.即使在防反射涂層存在時(shí)仍可測(cè)量硬涂層厚度我們獨(dú)佳探頭設(shè)計(jì)可排除98%背面反射,當(dāng)鏡片比1.5mm更厚時(shí),可排除比例更高修正了硬膜層造成的局部反射扭曲現(xiàn)象,。F10-ARc:200nm-15μm**380-1050nm當(dāng)您需要技術(shù)支援致電我們的應(yīng)用工程師,,提供即時(shí)的24小時(shí)援助(週一至週五)網(wǎng)上的“手把手”支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃。產(chǎn)品名稱:紅外干涉厚度測(cè)量設(shè)備,。半導(dǎo)體膜厚儀特點(diǎn)

厚度范圍: 測(cè)量從 1nm 到 13mm 的厚度,。 測(cè)量 70nm 到 10um 薄膜的折射率。實(shí)驗(yàn)室膜厚儀干涉測(cè)量應(yīng)用

F10-ARc:走在前端以較低的價(jià)格現(xiàn)在可以很容易地測(cè)量曲面樣品,,包括眼鏡和其他光學(xué)鏡片的防反射涂層,瑾需其他設(shè)備一小部分的的價(jià)格就能在幾秒內(nèi)得到精確的色彩讀值和反射率測(cè)量.您也可選擇升級(jí)薄膜厚度測(cè)量軟件,操作上并不需要嚴(yán)格的訓(xùn)練,您甚至可以直覺(jué)的藉由設(shè)定任何波長(zhǎng)范圍之蕞大,蕞小和平均值.去定義顏色和反射率的合格標(biāo)準(zhǔn).容易設(shè)定.易於維護(hù).只需將F10-ARc插上到您計(jì)算機(jī)的USB端口,感謝Filmetrics的創(chuàng)新,F10-ARc幾乎不存在停機(jī)時(shí)間,加上40,000小時(shí)壽命的光源和自動(dòng)板上波長(zhǎng)校準(zhǔn),,你不需擔(dān)心維護(hù)問(wèn)題。實(shí)驗(yàn)室膜厚儀干涉測(cè)量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司正式組建于2002-02-07,,將通過(guò)提供以半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),,膜厚測(cè)量?jī)x等服務(wù)于于一體的組合服務(wù),。業(yè)務(wù)涵蓋了半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x等諸多領(lǐng)域,,尤其半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),,膜厚測(cè)量?jī)x中具有強(qiáng)勁優(yōu)勢(shì),,完成了一大批具特色和時(shí)代特征的儀器儀表項(xiàng)目;同時(shí)在設(shè)計(jì)原創(chuàng),、科技創(chuàng)新,、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范等方面推動(dòng)行業(yè)發(fā)展。我們?cè)诎l(fā)展業(yè)務(wù)的同時(shí),,進(jìn)一步推動(dòng)了品牌價(jià)值完善,。隨著業(yè)務(wù)能力的增長(zhǎng),以及品牌價(jià)值的提升,,也逐漸形成儀器儀表綜合一體化能力,。公司坐落于金高路2216弄35號(hào)6幢306-308室,業(yè)務(wù)覆蓋于全國(guó)多個(gè)省市和地區(qū),。持續(xù)多年業(yè)務(wù)創(chuàng)收,,進(jìn)一步為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì),、社會(huì)協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。