NanoX-80003D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù)3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：測(cè)量模式：PSI+VSI+CSIZ軸測(cè)量范圍：大行程PZT掃描（300um標(biāo)配/500um選配）10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī)：1920x1200高速相機(jī)（標(biāo)配）干涉物鏡：（標(biāo)配）,20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換：5孔電動(dòng)鼻切換FOV：1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦：高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦照明系統(tǒng)：高效長(zhǎng)壽白光LED+濾色鏡片電動(dòng)切換（綠色/藍(lán)色）傾斜調(diào)節(jié)：±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)橫向分辨率：≥μm（與所配物鏡有關(guān)）3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：垂直掃描速度：PSI:<10s,，VSI/CSI：<38um/s高度測(cè)量范圍：–10mm表面反射率：>(1σ)臺(tái)階高重復(fù)性：(1σ)VSI/CSI：垂直分辨率<(1σ,，10um臺(tái)階高)。光學(xué)系統(tǒng)：同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng),。NanoX-8000輪廓儀聯(lián)系電話

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測(cè)量應(yīng)用測(cè)試案例測(cè)量種類(lèi)?基板ASoldMask3D形貌,、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A綠油區(qū)域3D形貌?基板A綠油區(qū)域Pad粗糙度?基板A綠油區(qū)域粗糙度?基板A綠油區(qū)域pad寬度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作,，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,，急停等功能,，報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)（移動(dòng)+聚焦+測(cè)量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍：±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快晶圓片輪廓儀有誰(shuí)在用菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作,，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ),。

輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺(tái)階高度,，錐角等）幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件，物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡，例如標(biāo)配的10×,，還有2.5×,，5×，20×,，50×,，100×，可選。不同的鏡頭價(jià)格會(huì)有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦,。

系統(tǒng)培訓(xùn)的注意事項(xiàng)如何使用電子書(shū)閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊(cè),；數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口,、連接計(jì)算器、等待時(shí)間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置,；實(shí)際演示一一講解,；如何做好備份和恢復(fù)備份資料；當(dāng)場(chǎng)演示各種報(bào)表的操作并進(jìn)行操作解說(shuō),；數(shù)據(jù)庫(kù)文件應(yīng)定時(shí)作備份,，大變動(dòng)時(shí)更應(yīng)做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時(shí)造成資料數(shù)據(jù)庫(kù)的流失；在系統(tǒng)培訓(xùn)過(guò)程中如要輸入一些臨時(shí)數(shù)據(jù)應(yīng)在培訓(xùn)結(jié)束后及時(shí)刪除這些資料,。備注：系統(tǒng)培訓(xùn)完成后應(yīng)請(qǐng)顧客詳細(xì)閱讀軟件操作手冊(cè),，并留下公司“客戶服務(wù)中心”的電話與個(gè)人名片，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢,。共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。

關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的，至于測(cè)量零件的表面輪廓,，要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了,，如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標(biāo)來(lái)代替的,。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi),，還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓,，因?yàn)樗旋堥T(mén)式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)，而輪廓儀主要是用來(lái)測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的,，加上粗糙度模塊也可以進(jìn)行測(cè)量粗糙度,。表面三位微觀形貌的此類(lèi)昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種,，其中以非接觸式測(cè)量方法為主。美國(guó)輪廓儀摩擦學(xué)應(yīng)用

輪廓儀可用于：微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,，表面粗糙度,。NanoX-8000輪廓儀聯(lián)系電話

比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質(zhì)，半導(dǎo)體,，和金屬薄膜的厚度和折射率,。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測(cè)量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測(cè)量從薄膜垂直反射的光。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術(shù)在成本，復(fù)雜度,，和測(cè)量能力上的不同,。由于橢偏儀的光從一個(gè)角度入射，所以一定要分析反射光的偏振和強(qiáng)度,，使得橢偏儀對(duì)超薄和復(fù)雜的薄膜堆有較強(qiáng)的測(cè)量能力,。然而，偏振分析意味著需要昂貴的精密移動(dòng)光學(xué)儀器,。光譜反射儀測(cè)量的是垂直光,，它忽略偏振效應(yīng)（絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)）。因?yàn)椴簧婕叭魏我苿?dòng)設(shè)備,，光譜反射儀成為簡(jiǎn)單低成本的儀器,。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過(guò)10um的手選,，而橢偏儀側(cè)重薄于10nm的膜厚,。在10nm到10um厚度之間，兩種技術(shù)都可用,。而且具有快速,，簡(jiǎn)便,，成本低特點(diǎn)的光譜反射儀通常是更好的選擇,。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測(cè)量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測(cè)量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>。NanoX-8000輪廓儀聯(lián)系電話

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司在半導(dǎo)體工藝設(shè)備,，半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測(cè)量?jī)x一直在同行業(yè)中處于較強(qiáng)地位,，無(wú)論是產(chǎn)品還是服務(wù),，其高水平的能力始終貫穿于其中。岱美中國(guó)是我國(guó)儀器儀表技術(shù)的研究和標(biāo)準(zhǔn)制定的重要參與者和貢獻(xiàn)者,。公司承擔(dān)并建設(shè)完成儀器儀表多項(xiàng)重點(diǎn)項(xiàng)目,，取得了明顯的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益。多年來(lái),，已經(jīng)為我國(guó)儀器儀表行業(yè)生產(chǎn),、經(jīng)濟(jì)等的發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)。