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湖北輪廓儀應(yīng)用

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-03-13

NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI),、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度,、表面輪廓,、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天,、精密加工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。使用范圍廣:兼容多種測(cè)量和觀察需求保護(hù)性:非接觸式光學(xué)輪廓儀耐用性更強(qiáng),,使用無(wú)損可操作性:一鍵式操作,,操作更簡(jiǎn)單,更方便輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,,核探測(cè),。湖北輪廓儀應(yīng)用

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輪廓儀的和新團(tuán)隊(duì)夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE,,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā),、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人,太陽(yáng)能在線檢測(cè)設(shè)備唐壽鴻博士,,國(guó)家千人****25年ADE,,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān),世界即圖像處理,、算法**許衡博士,,軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BDMedicalInstrument)光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,,為您排憂解難,。掩模對(duì)準(zhǔn)輪廓儀推薦型號(hào)白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。

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NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動(dòng)+聚焦+測(cè)量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。我們主要經(jīng)營(yíng)鍵合機(jī)、光刻機(jī),、輪廓儀,隔振臺(tái)等設(shè)備,。

輪廓儀,、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別:關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬,、倒角(包括倒角位置,、倒角尺寸、角度等),,圓柱表面素線的直線度等參數(shù),。總之,,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度),,即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。但是,,輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切,,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī),就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊,,這樣既可以測(cè)量輪廓尺寸,,又可以測(cè)量粗糙度,市場(chǎng)上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀,。在結(jié)構(gòu)上,,輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,而粗糙度儀以手持式的居多,,當(dāng)然也有臺(tái)式的,。NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;準(zhǔn)確度<1% ,;重復(fù)性<0.1% (1σ,,10um臺(tái)階高),。

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輪廓儀的性能測(cè)量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),,單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺(tái):150mm/200mm/300mm樣品臺(tái)(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,,傾斜:±5°可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)CCD相機(jī)像素:標(biāo)配:1280×960視場(chǎng)范圍:560×750um(10×物鏡)具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及CCD相機(jī)光學(xué)系統(tǒng):同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)光源:高效LEDZ方向聚焦80mm手動(dòng)聚焦(可選電動(dòng)聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,拓展達(dá)10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復(fù)性*0.005nm,,1σ臺(tái)階測(cè)量**準(zhǔn)確度≤0.75%,;重復(fù)性≤0.1%,1σ橫向分辨率≥0.35um(100倍物鏡)檢測(cè)速度≤35um/sec,與所選的CCD輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),,生物,、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件,。浙江輪廓儀聯(lián)系電話

共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī),。湖北輪廓儀應(yīng)用

filmOnline查film3D圖像並與其互動(dòng).請(qǐng)參考我們新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)蕞后,,表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今蕞高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI),。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度,,形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量。在數(shù)秒內(nèi),,您可以獲得平面和曲面表面上測(cè)量所有常見的粗糙度參數(shù),。也可以選擇拼接功能軟件升級(jí)來組合多個(gè)影像以提供大面積測(cè)量。蕞新!免廢的網(wǎng)路3D影像瀏覽/分析filmOnline可存儲(chǔ),、共享,、查看與分析來自您的光學(xué)輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺(tái)式電腦,,平板電腦或智能手機(jī)上都能查看和操作,。享受權(quán)面的圖像分析功能,包括表面輪廓(粗糙度)和階高 分析,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,?每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,,可達(dá)%準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm,2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片,。湖北輪廓儀應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家集研發(fā),、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),,公司位于金高路2216弄35號(hào)6幢306-308室,,成立于2002-02-07,。公司秉承著技術(shù)研發(fā)、客戶優(yōu)先的原則,,為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),,膜厚測(cè)量?jī)x的產(chǎn)品發(fā)展添磚加瓦,。公司主要經(jīng)營(yíng)半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,,光刻機(jī) 鍵合機(jī),,膜厚測(cè)量?jī)x等產(chǎn)品,產(chǎn)品質(zhì)量可靠,,均通過儀器儀表行業(yè)檢測(cè),嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行,。目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用與全國(guó)30多個(gè)省,、市、自治區(qū),。我們以客戶的需求為基礎(chǔ),,在產(chǎn)品設(shè)計(jì)和研發(fā)上面苦下功夫,一份份的不懈努力和付出,,打造了EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi產(chǎn)品,。我們從用戶角度,對(duì)每一款產(chǎn)品進(jìn)行多方面分析,,對(duì)每一款產(chǎn)品都精心設(shè)計(jì),、精心制作和嚴(yán)格檢驗(yàn)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司嚴(yán)格規(guī)范半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品管理流程,,確保公司產(chǎn)品質(zhì)量的可控可靠,。公司擁有銷售/售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),分工明細(xì),,服務(wù)貼心,,為廣大用戶提供滿意的服務(wù)。