如何正確使用輪廓儀準(zhǔn)備工作1.測量前準(zhǔn)備,。2.開啟電腦,、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動是否正常,。3.擦凈工件被測表面,。測量1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件,。4.開始測量,。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。5.測量完畢,,根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析,,標(biāo)出結(jié)果,并保存,、打印,。輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線交點(diǎn),、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離,、交點(diǎn)到圓心距離,、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離,、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理:直線度、凸度,、LG凸度,、對數(shù)曲線LED光源通過多珍孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光,。山東輪廓儀出廠價(jià)
輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測量薄膜厚度,。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測量所有固體膜,,包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,,請點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先,樣本上必須有個(gè)小坎才能測量薄膜厚度,,而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖),。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測量誤差,。與此相比,,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請?jiān)L問岱美儀器的官網(wǎng),。福建輪廓儀學(xué)校會用嗎支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,,以三維非接觸時(shí)方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,,平行度,,臺階高度,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,,曲率半徑,,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,,例如標(biāo)配的10×,,還有2.5×,5×,,20×,50×,,100×,,可選。不同的鏡頭價(jià)格會有很大的差別,,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。
輪廓儀的自動拼接功能:條件:被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,使用自動圖片拼接,。需要點(diǎn)擊自動拼接,,輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。軟件會自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動的偏差,,自動消除移動中偏差,,減小誤差。但是誤差是一定存在的,。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,,不見和材料表面的平面度,粗糙度,,波溫度,,面型輪廓,,表面缺陷,磨損情況,,腐蝕情況,,孔隙間隙,臺階高度,,完全變形情況,,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,,又提高了成品的出產(chǎn)效率。
輪廓儀的物鏡知多少,?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,,以三維非接觸時(shí)方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,,平面度,,平行度,臺階高度,,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。因此物鏡是輪廓儀*重要部件,,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,,需要提供各種物鏡,,例如標(biāo)配的10×,還有×,,5×,,20×,50×,,100×,,可選。不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。 輪廓儀可用于:微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度,。半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀可以免稅嗎
一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,。山東輪廓儀出廠價(jià)
NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,,急停等功能,報(bào)警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動速度蕞快如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。我們主要經(jīng)營鍵合機(jī)、光刻機(jī),、輪廓儀,,隔振臺等設(shè)備。山東輪廓儀出廠價(jià)
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司依托可靠的品質(zhì),,旗下品牌EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi以高質(zhì)量的服務(wù)獲得廣大受眾的青睞,。岱美中國經(jīng)營業(yè)績遍布國內(nèi)諸多地區(qū)地區(qū),業(yè)務(wù)布局涵蓋半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測量設(shè)備,,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀等板塊,。同時(shí),,企業(yè)針對用戶,在半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測量設(shè)備,,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀等幾大領(lǐng)域,,提供更多,、更豐富的儀器儀表產(chǎn)品,進(jìn)一步為全國更多單位和企業(yè)提供更具針對性的儀器儀表服務(wù),。岱美中國始終保持在儀器儀表領(lǐng)域優(yōu)先的前提下,不斷優(yōu)化業(yè)務(wù)結(jié)構(gòu),。在半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),,膜厚測量儀等領(lǐng)域承攬了一大批高精尖項(xiàng)目,,積極為更多儀器儀表企業(yè)提供服務(wù)。