輪廓儀產(chǎn)品概述：NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度,、表面輪廓、臺(tái)階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。想要了解更多的信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器,。在共焦圖像中，通過(guò)多珍孔盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）,，只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。材料表面輪廓儀可以免稅嗎

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺陷,，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸。白光輪廓儀的典型應(yīng)用：對(duì)各種產(chǎn)品,，不見(jiàn)和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺(tái)階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。輪廓測(cè)量?jī)x輪廓儀可以試用嗎但是在共焦圖像中,，通過(guò)多珍孔盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）,，只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。

我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢(shì)呢世界先進(jìn)水平的產(chǎn)品技術(shù)合理的產(chǎn)品價(jià)格24小時(shí)到現(xiàn)場(chǎng)的本地化售后服務(wù)無(wú)償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持個(gè)性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)更佳的產(chǎn)品性價(jià)比和更優(yōu)解決方案非接觸式輪廓儀（光學(xué)輪廓儀）是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測(cè)量?jī)x器,，可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。（本段來(lái)自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺(tái)階高度,，錐角等）幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,，物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×,，還有2.5×，5×,，20×,，50×，100×,，可選,。不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦,。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺陷,，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸。NanoX-8000 Z 軸聚焦：100mm行程自動(dòng)聚焦,，0.1um移動(dòng)步進(jìn),。

輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求？答：輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展）,，Z向測(cè)量范圍蕞大可達(dá)10mm，但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例,，在1mm左右），因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí),，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量,，檢測(cè)效率會(huì)比較低，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè),，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù),；4.測(cè)量的蕞小尺寸是否可以達(dá)到12mm，或者能夠測(cè)到更小的尺寸,？如果需要了解更多,，還請(qǐng)?jiān)L問(wèn)岱美儀器的官網(wǎng)。白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。高精密儀器輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量

支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC,。材料表面輪廓儀可以免稅嗎

我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀？一、準(zhǔn)備工作1.測(cè)量前準(zhǔn)備,。2.開(kāi)啟電腦,、打開(kāi)機(jī)器電源開(kāi)關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。3.擦凈工件被測(cè)表面,。二、測(cè)量1.將測(cè)針正確,、平穩(wěn),、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件,。4.開(kāi)始測(cè)量,。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。5.測(cè)量完畢,，根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,，標(biāo)出結(jié)果，并保存,、打印,。材料表面輪廓儀可以免稅嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司公司是一家專(zhuān)門(mén)從事半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,，光刻機(jī) 鍵合機(jī),，膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷(xiāo)售，是一家貿(mào)易型企業(yè),，公司成立于2002-02-07,，位于金高路2216弄35號(hào)6幢306-308室。多年來(lái)為國(guó)內(nèi)各行業(yè)用戶提供各種產(chǎn)品支持,。公司主要經(jīng)營(yíng)半導(dǎo)體工藝設(shè)備,，半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī),，膜厚測(cè)量?jī)x等產(chǎn)品,，產(chǎn)品質(zhì)量可靠，均通過(guò)儀器儀表行業(yè)檢測(cè),，嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行,。目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用與全國(guó)30多個(gè)省、市,、自治區(qū),。我們以客戶的需求為基礎(chǔ)，在產(chǎn)品設(shè)計(jì)和研發(fā)上面苦下功夫,，一份份的不懈努力和付出,，打造了EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi產(chǎn)品,。我們從用戶角度，對(duì)每一款產(chǎn)品進(jìn)行多方面分析,，對(duì)每一款產(chǎn)品都精心設(shè)計(jì),、精心制作和嚴(yán)格檢驗(yàn)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司以市場(chǎng)為導(dǎo)向,，以創(chuàng)新為動(dòng)力,。不斷提升管理水平及半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,，光刻機(jī) 鍵合機(jī),，膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品質(zhì)量。本公司以良好的商品品質(zhì),、誠(chéng)信的經(jīng)營(yíng)理念期待您的到來(lái),！