輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)）輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：封磚Bump測量視場：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示,；線粗糙度分析：Ra,Ry，Rz,，…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高MEMS器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性,。 輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍ZUI大可達10mm,。高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀代理商

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線，測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)）輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：封磚Bump測量視場：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示；線粗糙度分析：Ra,Ry,，Rz,，…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高MEMS器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題輪廓測量儀輪廓儀可以試用嗎NanoX-8000 的XY 平臺蕞大移動速度：200mm/s ,。

關(guān)于三坐標測量輪廓度及粗糙度三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓,，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,，如果你的三坐標測量機精度比較高，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標來代替的,。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi),，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,，因為它有龍門式三坐標和關(guān)節(jié)臂三坐標，而輪廓儀主要用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸,，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍蕞大可達10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時,，全檢的方式需要進行拼接測量，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測,，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù)；4.測量的蕞小尺寸是否可以達到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸,？如果需要了解更多，請訪問官網(wǎng),。輪廓儀還可以用于檢測產(chǎn)品的表面缺陷和變形,，以及進行產(chǎn)品的比較和分析。

輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺階高度，錐角等）幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,，物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標配的10×，還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選,。不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。輪廓儀廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和品質(zhì)控制領(lǐng)域,。美國輪廓儀其他高精密儀器

輪廓儀可用于藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）。高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀代理商

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例測量種類?基板ASoldMask3D形貌,、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A綠油區(qū)域3D形貌?基板A綠油區(qū)域Pad粗糙度?基板A綠油區(qū)域粗糙度?基板A綠油區(qū)域pad寬度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點（移動+聚焦+測量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍：±0.3mm?XY運動速度蕞快,。高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀代理商

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司公司是一家專門從事半導(dǎo)體工藝設(shè)備,，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機 鍵合機,，膜厚測量儀產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售,，是一家貿(mào)易型企業(yè)，公司成立于2002-02-07,，位于金高路2216弄35號6幢306-308室,。多年來為國內(nèi)各行業(yè)用戶提供各種產(chǎn)品支持。公司主要經(jīng)營半導(dǎo)體工藝設(shè)備,，半導(dǎo)體測量設(shè)備,，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀等產(chǎn)品,，產(chǎn)品質(zhì)量可靠,，均通過儀器儀表行業(yè)檢測，嚴格按照行業(yè)標準執(zhí)行,。目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用與全國30多個省,、市、自治區(qū),。我們以客戶的需求為基礎(chǔ),，在產(chǎn)品設(shè)計和研發(fā)上面苦下功夫，一份份的不懈努力和付出,，打造了EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi產(chǎn)品,。我們從用戶角度，對每一款產(chǎn)品進行多方面分析,，對每一款產(chǎn)品都精心設(shè)計,、精心制作和嚴格檢驗。岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司以市場為導(dǎo)向,，以創(chuàng)新為動力,。不斷提升管理水平及半導(dǎo)體工藝設(shè)備,，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機 鍵合機,，膜厚測量儀產(chǎn)品質(zhì)量,。本公司以良好的商品品質(zhì)、誠信的經(jīng)營理念期待您的到來,！