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山東輪廓儀輪廓測量應用

來源: 發(fā)布時間:2023-12-17

輪廓儀的主要客戶群體300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化國家重點實驗室高效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化新型顯示技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化超高精密表面工程技術(shù)輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,,并轉(zhuǎn)換成電信號,,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,,測量結(jié)果通過顯示器輸出,,也可由打印機輸出。(來自網(wǎng)絡(luò)),。輪廓儀可用于:微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,,表面粗糙度。山東輪廓儀輪廓測量應用

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輪廓儀對精密加工的意義現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān),。例如在光學玻璃,、集成電路、汽車零部件,、機器人和新器件、航空航天材料,、國fang jun工設(shè)備等領(lǐng)域,,都需要對加工的成品進行檢測,從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),,其中包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度、面粗糙度等二維,、三維參數(shù),,作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生,,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用:自動測量輪廓儀聯(lián)系電話NanoX-8000主設(shè)備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm,。

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表面三維微觀形貌測量的意義在于,在生產(chǎn)中表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,,進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,,確保零件使用功能的實現(xiàn)。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,,其中以非接觸式測量方法為主。

輪廓儀的物鏡知多少,?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,,平面度,,平行度,臺階高度,,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。因此物鏡是輪廓儀*重要部件,,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,,需要提供各種物鏡,,例如標配的10×,還有2.5×,,5×,,20×,50×,,100×,,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,,因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦,。幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,,特征區(qū)域的面積和集體,,特征圖形的位置和數(shù)量等)。

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NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,,一鍵式操作,,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警,,急停等功能,,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快如果需要了解更多詳細參數(shù),請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。我們主要經(jīng)營鍵合機,、光刻機,、輪廓儀,隔振臺等設(shè)備,。NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石,。NanoScopy輪廓儀值得買

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤,、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機,。山東輪廓儀輪廓測量應用

NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警,急停等功能,,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,,進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,,確保零件使用功能的實現(xiàn)。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主,。山東輪廓儀輪廓測量應用