SmartNIL是行業(yè)領(lǐng)XIAN的NIL技術(shù),，可對小于40nm*的極小特征進行圖案化,，并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合,，可實現(xiàn)無人能比的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,，同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本,，大批量替代光刻技術(shù)。*分辨率取決于過程和模板如果需要詳細(xì)的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。EVG ? 610也可以設(shè)計成紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)。襯底納米壓印質(zhì)量怎么樣

HERCULES®NIL完全模塊化和集成SmartNIL®UV-NIL系統(tǒng)達(dá)300毫米結(jié)合EVG的SmartNIL一個完全模塊化平臺®技術(shù)支持AR/VR,，3D傳感器,，光子和生物技術(shù)生產(chǎn)應(yīng)用EVG的HERCULESNIL300mm是一個完全集成的根蹤系統(tǒng)，將清潔,，抗蝕劑涂層和烘烤預(yù)處理步驟與EVG專有的SmartNIL大面積納米壓印光刻（NIL）工藝結(jié)合在一個平臺上,，用于直徑蕞大為300mm的晶圓,。它是弟一個基于EVG的全模塊化設(shè)備平臺和可交換模塊的NIL系統(tǒng)，可為客戶提供蕞大的自由度來配置他們的系統(tǒng),，以蕞好地滿足其生產(chǎn)需求,，包括200mm和300mm晶圓的橋接功能。上海實驗室納米壓印EVGroup提供混合和單片微透鏡成型工藝,，能夠輕松地適應(yīng)各種材料組合,，以用于工作印模和微透鏡材料。

NIL300mmEV集團企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,，為光刻/納米壓印技術(shù)供應(yīng)鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器,，從而縮短創(chuàng)新光子器件和應(yīng)用的開發(fā)周期和上市時間。我們很高興與肖特公司合作,，證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價值,，不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā)，還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用,。我們正在攜手肖特開展的工作,，彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性，為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和新應(yīng)用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ),?！盨CHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是領(lǐng)仙AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件，已經(jīng)實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。產(chǎn)品組合提供了高達(dá),，支持深度沉浸的AR/MR應(yīng)用，視野更廣,，高達(dá)65度,。在與增強現(xiàn)實硬件制造商進行多年研發(fā)之后，肖特在2018年推出了弟一代SCHOTTRealView?,。這款膏端產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽的2019年SID顯示行業(yè)獎（SIDDisplayIndustryAward2019）,。關(guān)于肖特肖特是特種玻璃、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的領(lǐng)仙國際技術(shù)集團,。公司積累了超過130年的經(jīng)驗,，是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴。

納米壓印應(yīng)用三：連續(xù)性UV納米壓印EVG770是用于步進重復(fù)納米壓印光刻的通用平臺,，可用于有效地進行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進行直接圖案化,。這種方法允許從蕞大50mmx50mm的小模具到蕞大300mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板。與鉆石車削或直接寫入方法相結(jié)合,，分步重復(fù)刻印通常用于高效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進步。EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng),。

EVG公司技術(shù)開發(fā)和IP總監(jiān)MarkusWimplinger補充說：“我們開發(fā)新技術(shù)和工藝以應(yīng)對jiduan復(fù)雜的挑戰(zhàn),，幫助我們的客戶成功地將其新產(chǎn)品創(chuàng)意商業(yè)化。技術(shù),，我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心,。“在具有保護客戶IP的強大政策的框架內(nèi),，我們?yōu)榭蛻籼峁┝藦目尚行缘缴a(chǎn)階段的產(chǎn)品開發(fā)和商業(yè)化支持,。這正是我們jintian與AR領(lǐng)域的lingxian者WaveOptics合作所要做的，為終端客戶提供真正可擴展的解決方案,?！盓VG的NILPhotonics®能力中心框架內(nèi)的協(xié)作開發(fā)工作旨在支持WaveOptics的承諾，即在工業(yè),，企業(yè)和消費者等所有主要市場領(lǐng)域釋放AR在大眾市場的應(yīng)用,，并遵循公司模塊計劃的推出。在納米光學(xué)器件中,，納米壓印可以用于制備納米級的光學(xué)結(jié)構(gòu),，用于改善光學(xué)器件的性能。半導(dǎo)體納米壓印摩擦學(xué)應(yīng)用

納米壓印技術(shù)在納米科技領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景,，可以推動納米科技的發(fā)展和應(yīng)用,。襯底納米壓印質(zhì)量怎么樣

EVGroup的一系列高精度熱壓印系統(tǒng)基于該公司市場領(lǐng)仙的晶圓鍵合技術(shù)。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印,。熱壓印是一種經(jīng)濟高效且靈活的制造技術(shù),，具有非常高的復(fù)制精度，可用于蕞小50nm的特征尺寸,。該系統(tǒng)非常適合將復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中,。NILPhotonics®能力中心-支持和開發(fā)NILPhotonics能力中心是經(jīng)過驗證的創(chuàng)新孵化器。歡迎各位客戶來樣制作,，來驗證EVG的納米壓印設(shè)備的性能,。襯底納米壓印質(zhì)量怎么樣