對(duì)于壓印工藝,，EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到比較大直徑150 mm,。納米技術(shù)應(yīng)用的配置除了可編程的高和低接觸力外,，還可以包括用于印章的釋放機(jī)構(gòu),。EV Group專(zhuān)有的卡盤(pán)設(shè)計(jì)可提供均勻的接觸力，以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,，該卡盤(pán)支持軟性和硬性印模,。

EVG610特征：

頂部和底部對(duì)準(zhǔn)能力

高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)

自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制

電動(dòng)和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶(hù)概念（無(wú)限數(shù)量的用戶(hù)帳戶(hù)和程序,，可分配的訪問(wèn)權(quán)限,，不同的用戶(hù)界面語(yǔ)言）

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換

臺(tái)式或帶防震花崗巖臺(tái)的單機(jī)版

附加功能：

鍵對(duì)準(zhǔn)

紅外對(duì)準(zhǔn)

納米壓印光刻 

μ接觸印刷

EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻（UV-NIL）產(chǎn)品線,。襯底納米壓印自動(dòng)化測(cè)量

SmartNIL是一項(xiàng)關(guān)鍵的啟用技術(shù)，可用于顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新,。例如，SmartNIL提供了****的全區(qū)域共形壓印,，以便滿足面板基板上線柵偏振器的**重要標(biāo)準(zhǔn),。SmartNIL還非常適合對(duì)具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化，以支持下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備的生產(chǎn),。此外,，SmartNIL的***發(fā)展為制造具有比較高功能,，**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度,，這對(duì)于實(shí)現(xiàn)衍射光學(xué)元件（DOE）至關(guān)重要,。

特征：

體積驗(yàn)證的壓印技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度

專(zhuān)有SmartNIL ®技術(shù),，多使用聚合物印模技術(shù)

經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的分辨率低至40 nm或更小

大面積全場(chǎng)壓印

總擁有成本比較低

在地形上留下印記

對(duì)準(zhǔn)能力

室溫過(guò)程

開(kāi)放式材料平臺(tái) 掩模對(duì)準(zhǔn)納米壓印EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng),。

    其中包括家用電器、醫(yī)藥,、電子,、光學(xué)、生命科學(xué),、汽車(chē)和航空業(yè)。肖特在全球34個(gè)國(guó)家和地區(qū)設(shè)有生產(chǎn)基地和銷(xiāo)售辦事處。公司目前擁有員工超過(guò)15500名,，2017/2018財(cái)年的銷(xiāo)售額為,。總部位于德國(guó)美因茨的母公司SCHOTTAG由卡爾蔡司基金會(huì)（CarlZeissFoundation）全資擁有?？柌趟净饡?huì)是德國(guó)歷史**悠久的私立基金會(huì)之一,，同時(shí)也是德國(guó)規(guī)模比較大的科學(xué)促進(jìn)基金會(huì)之一,。作為一家基金公司,，肖特對(duì)其員工,，社會(huì)和環(huán)境負(fù)有特殊責(zé)任。關(guān)于EV集團(tuán)（EVG）EV集團(tuán)（EVG）是為半導(dǎo)體,、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）,、化合物半導(dǎo)體,、功率器件和納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的**供應(yīng)商,。其主要產(chǎn)品包括：晶圓鍵合,、薄晶圓處理,、光刻/納米壓印（NIL）與計(jì)量設(shè)備,，以及涂膠機(jī),、清洗機(jī)和檢測(cè)系統(tǒng),。EV集團(tuán)成立于1980年，可為遍及全球的眾多客戶(hù)和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)提供各類(lèi)服務(wù)與支持,。SmartNIL,，NILPhotonics及EVGroup標(biāo)識(shí)是EVGroup的注冊(cè)商標(biāo),SCHOTTRealView?是SCHOTT的注冊(cè)商標(biāo)。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò),。

納米壓印應(yīng)用二：面板尺寸的大面積納米壓印

EVG專(zhuān)有的且經(jīng)過(guò)大量證明的SmartNIL技術(shù)的***進(jìn)展,，已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為Gen 3（550 mm x 650 mm）的基板上實(shí)現(xiàn)。對(duì)于不能減小尺寸的顯示器,，線柵偏振器,，生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用,，至關(guān)重要的是通過(guò)增加圖案面積來(lái)提高基板利用率,。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟(jì)、高 效的方法,，因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)系統(tǒng)的限制,，并且可以為**小的結(jié)構(gòu)提供比較好的圖案保真度,。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí),。

分步重復(fù)刻印通常用于高 效地制造晶圓級(jí)光學(xué)器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。

客戶(hù)示范

■工藝開(kāi)發(fā)

■材料測(cè)試

■與合作伙伴共同研發(fā)

■資助項(xiàng)目

■小批量試生產(chǎn)

■IP管理

■過(guò)程技術(shù)許可證

■流程培訓(xùn)

→世界前列的潔凈室基礎(chǔ)設(shè)施

→**的設(shè)備

→技術(shù)**

→**計(jì)量

→工藝知識(shí)

→應(yīng)用知識(shí)

→與NIL的工作印模材料和表面化學(xué)有關(guān)的化學(xué)專(zhuān)業(yè)知識(shí)

新應(yīng)用程序的開(kāi)發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān)。 EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,，并在顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新。

岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí)。我們?cè)敢馀c您共同進(jìn)步,。

SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù),。襯底納米壓印自動(dòng)化測(cè)量

EVG ? 7200 LA是大面積SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。襯底納米壓印自動(dòng)化測(cè)量

UV納米壓印光刻系統(tǒng)

EVG®610/EVG®620NT /EVG®6200NT：具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

■高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)

■自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制

■電動(dòng)和程序控制的曝光間隙

■支持***的UV-LED技術(shù)

■**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA：自動(dòng)化的全場(chǎng)納米壓印解決方案,，適用于第3代基材

■體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度

■專(zhuān)有的SmartNIL®技術(shù)和多用途聚合物印章技術(shù)

■集成式壓印，UV固化,，脫模和工作印模制作

■盒帶間自動(dòng)處理以及半自動(dòng)研發(fā)模式

■適用于所有市售壓印材料的開(kāi)放平臺(tái)

襯底納米壓印自動(dòng)化測(cè)量