NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作,，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報(bào)警,，急停等功能,，報(bào)警信息可儲(chǔ)存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動(dòng)速度

**快

如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù)，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。

我們主要經(jīng)營(yíng)鍵合機(jī),、光刻機(jī),、輪廓儀，隔振臺(tái)等設(shè)備,。 儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。NanoX-8000輪廓儀現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)

表面三維微觀形貌測(cè)量的意義

 在生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有**直接的影響,，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更***，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要,。通過(guò)兌三維形貌的測(cè)量可以比較***的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性,，這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)知道加工,，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn),。

 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通常可分為接觸時(shí)和非接觸時(shí)兩種,，其中以非接觸式測(cè)量方法為主,。

NanoX-8000輪廓儀現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）。

輪廓儀,、粗糙度儀,、三坐標(biāo)的區(qū)別：

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬、倒角（包括倒角位置,、倒角尺寸,、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù),?？傊?，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。

  但是，輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切,，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī),，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊，這樣既可以測(cè)量輪廓尺寸,，又可以測(cè)量粗糙度,，市場(chǎng)上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。

  在結(jié)構(gòu)上,，輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,，而粗糙度儀以手持式的居多，當(dāng)然也有臺(tái)式的,。

輪廓儀的主要客戶群體

300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測(cè)

集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

高 效太陽(yáng)能電池技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化

MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化

超高精密表面工程技術(shù)

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,，儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),，或放大的實(shí)際輪廓曲線,，測(cè)量結(jié)果通過(guò)顯示器輸出，也可由打印機(jī)輸出,。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò)） 輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,，表面粗糙度，外延片表面缺 陷檢測(cè),，硅片外延表面缺 陷檢測(cè),。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對(duì)各種產(chǎn)品,，不見(jiàn)和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺(tái)階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用,。NanoX-8000輪廓儀現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)

NanoX-8000 的XY 平臺(tái)比較大移動(dòng)速度：200mm/s ,。NanoX-8000輪廓儀現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)

輪廓儀的培訓(xùn)

一、 培訓(xùn)承諾

    系統(tǒng)建成后,，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢,；培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場(chǎng),；

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,，由業(yè)主指定，我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng),；

1.1. 培訓(xùn)對(duì)象

    系統(tǒng)操作及管理人員（培訓(xùn)對(duì)象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員）,；

    其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。

1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說(shuō)明書(shū),。

    培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作,、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡(jiǎn)單升級(jí)等，具體內(nèi)容如下：

    * 系統(tǒng)文檔解讀,；

    * 系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn),、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式；

    * 系統(tǒng)一般故障排除,。

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