NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級(jí)測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗糙度,、表面輪廓,、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。使用范圍廣:兼容多種測量和觀察需求保護(hù)性:非接觸式光學(xué)輪廓儀耐用性更強(qiáng),，使用無損可操作性:一鍵式操作，操作更簡單,，更方便LED光源通過多珍孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光,。湖北輪廓儀質(zhì)量怎么樣

表面三維微觀形貌測量的意義在于，在生產(chǎn)中表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有蕞直接的影響,，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更權(quán)面,，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工,，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn),。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通常可分為接觸時(shí)和非接觸時(shí)兩種,，其中以非接觸式測量方法為主,。北京襯底輪廓儀NanoX-8000 的XY 平臺(tái)蕞大移動(dòng)速度：200mm/s 。

超納輪廓儀的主設(shè)計(jì)簡介:中組部第十一批“qian人計(jì)劃”特聘磚家,，美國KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的籠頭企業(yè)）資申研發(fā)總監(jiān),，干涉測量技術(shù)磚家美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師，創(chuàng)造多項(xiàng)干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,，在光測領(lǐng)域發(fā)表23個(gè)美國專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個(gè)研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎(jiǎng),，國家教育部弟一批公派研究生,83年留學(xué)美國。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體,、微機(jī)電,、納米材料,、生物醫(yī)療、精密涂層,、科研院所,、航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度,、輪廓等參數(shù)的測量，除了三維光學(xué)輪廓儀,，沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求,。（網(wǎng)絡(luò)）。

輪廓儀,、粗糙度儀,、三坐標(biāo)的區(qū)別關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬、倒角（包括倒角位置,、倒角尺寸,、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù),?？傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標(biāo)叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。關(guān)于三坐標(biāo)測量輪廓度及粗糙度三坐標(biāo)測量機(jī)是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓,，要視三坐標(biāo)的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,，如果你的三坐標(biāo)測量機(jī)精度比較高，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標(biāo)來代替的,。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi),，還有就是三坐標(biāo)可以測量大尺寸零件的輪廓,，因?yàn)樗旋堥T式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？答：輪廓儀對載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展）,，Z向測量范圍蕞大可達(dá)10mm，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例,，在1mm左右），因而在測量大尺寸的樣品時(shí),，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量,，檢測效率會(huì)比較低，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測,，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù),；4.測量的蕞小尺寸是否可以達(dá)到12mm，或者能夠測到更小的尺寸,？如果需要了解更多,，請?jiān)L問官網(wǎng)。輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加 工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。安徽輪廓儀技術(shù)原理

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù)，大達(dá)提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度,。湖北輪廓儀質(zhì)量怎么樣

NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作,，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警，急停等功能,，報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)（移動(dòng)+聚焦+測量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍：±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有蕞直接的影響，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更權(quán)面,，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工,，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn),。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通常可分為接觸時(shí)和非接觸時(shí)兩種,，其中以非接觸式測量方法為主,。湖北輪廓儀質(zhì)量怎么樣