一,、從根源保障物件成品的準確性:通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,,得出物件的誤差和超差參數(shù),積大提高物件在生產加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”,造成下游生產加工的更大偏離,,蕞終導致整個生產鏈更大的損失,。二、提高效率:智能化檢測,,全自動測量,,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關參數(shù),,即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,,積大提高加工效率,。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。湖北輪廓儀代理商
輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離,、交點到交點距離,、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離,、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度,、凸度,、LG凸度、對數(shù)曲線,。白光輪廓儀的典型應用:對各種產品,,不見和材料表面的平面度,粗糙度,,波溫度,,面型輪廓,表面缺陷,,磨損情況,,腐蝕情況,孔隙間隙,,臺階高度,,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。安徽輪廓儀技術支持LED光源通過多珍孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,,從而反射光。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,,典型結果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,,平行度,,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,,曲率半徑,,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產生干涉條紋,,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,,為了滿足各種精度的需求,,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,,還有2.5×,,5×,20×,,50×,,100×,可選,。不同的鏡頭價格有很大的差別,,因此需要量力根據(jù)需求來選擇配對應的鏡頭。
涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析:表面三維輪廓儀可測量300余種2D,、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標準,,都可以提供權面的檢測結果作為評定依據(jù),,可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù),。四、穩(wěn)定性強,,高重復性:儀器運用高性能內部抗震設計,,不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合,,保證高重復性,,將測量誤差降低到亞納米級別。三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備,,它既保障了生產加工的準確性,,又提高了成品的出產效率,滿足用戶對各項2D,,3D參數(shù)檢測需求的同時,,還依然能夠保持高重復性,,高穩(wěn)定性的運行,,其對精密加工所產生的的作用是舉足輕重的。在共焦圖像中,,通過多珍孔盤的操作濾除模糊細節(jié)(未聚焦),,只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。
輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標的區(qū)別:關于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸,、角度等),,圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊?,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量,,通俗地講,,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。但是,,輪廓儀和粗糙度儀關系其實挺密切,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機,,就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊,,這樣既可以測量輪廓尺寸,又可以測量粗糙度,,市場上典型產品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀,。在結構上,輪廓儀基本上都是臺式的,,而粗糙度儀以手持式的居多,,當然也有臺式的。隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石,。晶圓片輪廓儀售后服務
自動聚焦范圍 : ± 0.3mm,。湖北輪廓儀代理商
超納輪廓儀的主設計簡介:中組部第十一批“qian人計劃”特聘磚家,美國KLA-Tencor(集成電路行業(yè)檢測設備市場的籠頭企業(yè))資申研發(fā)總監(jiān),,干涉測量技術磚家美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,,創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關鍵算法,在光測領域發(fā)表23個美國專利和35篇學術論文3個研發(fā)的產品獲得大獎,,國家教育部弟一批公派研究生,83年留學美國,。光學輪廓儀可廣泛應用于各類精密工件表面質量要求極高的如:半導體、微機電,、納米材料,、生物醫(yī)療,、精密涂層、科研院所,、航空航天等領域,。可以說只要是微型范圍內重點部位的納米級粗糙度,、輪廓等參數(shù)的測量,,除了三維光學輪廓儀,沒有其它的儀器設備可以達到其精度要求,。(網絡),。湖北輪廓儀代理商