NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導入SPC

? 具備異常報警,，急停等功能,，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

表面三維微觀形貌測量的意義

在生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有**直接的影響，而且表面三維評定參數(shù)由于能更***,，更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質量的優(yōu)劣,，進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質量的表面,，確保零件使用功能的實現(xiàn),。

表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主。

NanoX-8000 Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦,，0.1um移動步進,。干涉儀輪廓儀供應商

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數(shù)

3D測量主要技術指標（1）：

測量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配）

10mm 精密電機拓展掃描

CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）

傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動調(diào)節(jié)

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關）

3D測量主要技術指標（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s

高度測量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準確度 < 1nm

RMS重復性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準確度<1%

重復性<0.1% (1σ,，10um臺階高) 干涉儀輪廓儀免稅價格菜單式系統(tǒng)設置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲,。

輪廓儀,、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別：

關于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬,、倒角（包括倒角位置,、倒角尺寸、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數(shù),。總之,，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。

  但是,，輪廓儀和粗糙度儀關系其實挺密切,，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機,，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊，這樣既可以測量輪廓尺寸,，又可以測量粗糙度,，市場上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。

  在結構上,，輪廓儀基本上都是臺式的,，而粗糙度儀以手持式的居多，當然也有臺式的,。

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理,，再轉換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線，測量結果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡）

輪廓儀在集成電路的應用：

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz,，…

器件多層結構臺階高  MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠實現(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。

輪廓儀對精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持,，在精密加工領域同樣如此，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,，但是它卻與我們的生活息息相關,。例如在光學玻璃、集成電路,、汽車零部件,、機器人**器件,、航空航天材料、****設備等領域,，都需要對加工的成品進行檢測，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),，其中包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度、面粗糙度等二維,、三維參數(shù),，作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生,，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： 共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。3D輪廓儀國內(nèi)用戶

輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制），生物,、醫(yī)藥新技術,，微流控器件。干涉儀輪廓儀供應商

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強,， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,，操作更簡單，更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)  

個性化: 定制化客戶報告模式 

更好用戶體驗： 迅捷的售后服務,，個性化應用軟件支持

1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準,，具有穩(wěn)定性好、承載大,、**磨損等優(yōu)點,，達到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。  2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,，準確度高,，穩(wěn)定性好。（網(wǎng)絡） 干涉儀輪廓儀供應商