EVG120特征2：先進且經(jīng)過現(xiàn)場驗證的機器人具有雙末端執(zhí)行器功能,，可確保連續(xù)的高產(chǎn)量；工藝技術(shù)桌越和開發(fā)服務：多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能[FrameworkSWPlatform]用于過程和機器控制的集成分析功能設(shè)備和過程性能根蹤功能；并行/排隊任務處理功能,；智能處理功能,；發(fā)生和警報分析；智能維護管理和根蹤,；技術(shù)數(shù)據(jù)：可用模塊,；旋涂/OmniSpray®/開發(fā)；烤/冷,；晶圓處理選項：單/雙EE/邊緣處理/晶圓翻轉(zhuǎn),；彎曲/翹曲/薄晶圓處理。EVG同樣為客戶提供量產(chǎn)型掩模對準系統(tǒng),。遼寧光刻機免稅價格

     EV Group企業(yè)技術(shù)總監(jiān)Thomas Glinsner博士證實：“我們看到支持晶圓級光學器件的設(shè)備需求正在急劇增加,。” “*從今年年初開始,，我們就向大型WLO制造商交付了多個用于透鏡成型和堆疊以及計量的系統(tǒng),，以進行大批量生產(chǎn)。此類訂單進一步鞏固了EVG在該領(lǐng)域市場***的地位,，同時創(chuàng)造了新興應用程序中有大量新機會,。”

      業(yè)界**的設(shè)備制造商**近宣布了擴大其傳感領(lǐng)域業(yè)務目標的計劃,，以幫助解決客戶日益激進的上市時間窗口,。根據(jù)市場研究和策略咨詢公司YoleDéveloppement的說法，下一代智能手機中正在設(shè)計十多種傳感器。其中包括3D感測相機,，指紋傳感器,，虹膜掃描儀，激光二極管發(fā)射器,，激光測距儀和生物傳感器,。總體而言,，光纖集線器預計將從2016年的106億美元增長到2021年的180億美元,，復合年增長率超過11％*。 山東本地光刻機EVG光刻機的掩模對準器和工藝能力經(jīng)過客戶現(xiàn)場驗證,，安裝并集成在全球各地的用戶系統(tǒng)中,。

EVG6200NT附加功能：鍵對準紅外對準納米壓印光刻（NIL）EVG6200NT技術(shù)數(shù)據(jù)：曝光源汞光源/紫外線LED光源先進的對準功能手動對準/原位對準驗證自動對準動態(tài)對準/自動邊緣對準對準偏移校正算法EVG6200NT產(chǎn)能：全自動：弟一批生產(chǎn)量：每小時180片全自動：吞吐量對準：每小時140片晶圓晶圓直徑（基板尺寸）：高達200毫米對準方式：上側(cè)對準：≤±0.5μm底側(cè)對準：≤±1,0μm紅外校準：≤±2,0μm/具體取決于基板材料鍵對準：≤±2,0μmNIL對準：≤±3.0μm曝光設(shè)定：真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式楔形補償：全自動軟件控制曝光選項：間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光系統(tǒng)控制操作系統(tǒng)：Windows文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數(shù)多語言用戶GUI和支持：CN，DE,，F(xiàn)R，IT,，JP,，KR實時遠程訪問，診斷和故障排除工業(yè)自動化功能：盒式磁帶/SMIF/FOUP/SECS/GEM/薄,，彎曲,，翹曲，邊緣晶圓處理納米壓印光刻技術(shù)：SmartNIL

EVG®120--光刻膠自動化處理系統(tǒng)

EVG®120是用于當潔凈室空間有限,，需要生產(chǎn)一種緊湊的,，節(jié)省成本光刻膠處理系統(tǒng)。

新型EVG120通用和全自動光刻膠處理工具能夠處理各種形狀和尺寸達200mm/8“的基板,。

新一代EVG120采用全新的超緊湊設(shè)計,，并帶有新開發(fā)的化學柜，可用于外部存儲化學品,，同時提供更高的通量能力,，針對大批量客戶需求進行了優(yōu)化，并準備在大批量生產(chǎn)（HVM）中使用EVG120為用戶提供了一套詳盡的好處,，這是其他任何工具所無法比擬的,，并保證了蕞高的質(zhì)量各個應用領(lǐng)域的標準，擁有成本卻非常低,。 EVG的掩模對準目標是適用于高達300 mm的不同的厚度,，尺寸，形狀的晶圓和基片,。

IQAligner®NT特征：零輔助橋接工具-雙基板概念,，支持200mm和300mm的生產(chǎn)靈活性吞吐量>200wph（手次打印）間端對準精度：頂側(cè)對準低至250nm背面對準低至500nm寬帶強度>120mW/cm2（300毫米晶圓）完整的明場掩模移動（FCMM）可實現(xiàn)靈活的圖案定位并兼容暗場掩模對準非接觸式原位掩膜到晶圓接近間隙驗證超平坦和快速響應的溫度控制晶片卡盤，出色的跳動補償手動基板裝載能力返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統(tǒng)遠程技術(shù)支持和GEM300兼容性智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能[FrameworkSoftwarePlatform]用于過程和機器控制的集成分析功能設(shè)備和過程性能根蹤功能并行/排隊任務處理功能智能處理功能發(fā)生和警報分析智能維護管理和根蹤HERCULES光刻機系統(tǒng)：全自動光刻跟/蹤系統(tǒng),，模塊化設(shè)計,，用于掩模和曝光，集成了預處理和后處理能力,。IQ Aligner光刻機研發(fā)生產(chǎn)

EVG光刻機關(guān)注未來市場趨勢 - 例如光子學 ,、光學3D傳感- 并為這些應用開發(fā)新的方案和調(diào)整現(xiàn)有的解決方案。遼寧光刻機免稅價格

      對EVG WLO制造解決方案的需求在一定程度上是由對用于移動消費電子產(chǎn)品的新型光學傳感解決方案和設(shè)備的需求驅(qū)動的,。關(guān)鍵示例包括3D感測（對于獲得更真實的虛擬和增強現(xiàn)實（VR / AR）用戶體驗至關(guān)重要）,，生物特征感測（對于安全應用而言越來越關(guān)鍵），環(huán)境感測,，紅外（IR）感測和相機陣列,。其他應用包括智能手機中用于高級深度感應以改善相機自動對焦性能的其他光學傳感器以及微型顯示器。

      EV Group企業(yè)技術(shù)開發(fā)兼IP總監(jiān)Markus Wimplinger表示：“毫無疑問,，晶圓級光學和3D傳感技術(shù)正在出現(xiàn)高度可持續(xù)的趨勢,。“由于在我們公司總部的NILPhotonics能力中心支持的大量正在進行的客戶項目,，我們預計在不久的將來將更***地使用該技術(shù),。” 遼寧光刻機免稅價格