表面三維微觀形貌測量的意義

 在生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有**直接的影響,，而且表面三維評定參數(shù)由于能更***，更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工,，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實現(xiàn),。

 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通常可分為接觸時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主,。

測量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）,。自動測量輪廓儀干涉測量應(yīng)用

輪廓儀的培訓(xùn)

一、 培訓(xùn)承諾

    系統(tǒng)建成后,，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢,；培訓(xùn)地點可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場,；

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,，由業(yè)主指定，我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng),；

1.1. 培訓(xùn)對象

    系統(tǒng)操作及管理人員（培訓(xùn)對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員）,；

    其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。

1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說明書,。

    培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作,、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等，具體內(nèi)容如下：

    * 系統(tǒng)文檔解讀,；

    * 系統(tǒng)的技術(shù)特點,、安裝維護和系統(tǒng)管理方式；

    * 系統(tǒng)一般故障排除,。

輪廓測量儀輪廓儀應(yīng)用支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC。

輪廓儀的性能測量模式：移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）樣品臺：150mm/200mm/300mm樣品臺（可選配）XY平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素：標配：1280×960視場范圍：560×750um（10×物鏡）具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學(xué)系統(tǒng)：同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)光源：高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦（可選電動聚焦）Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達10mm)縱向分辨率＜0.1nmRMS重復(fù)性*0.005nm,，1σ臺階測量**準確度≤0.75％,；重復(fù)性≤0.1%，1σ橫向分辨率≥0.35um（100倍物鏡）檢測速度≤35um/sec,與所選的CCD

強大的輪廓儀光電一體軟件

美國硅谷研發(fā),、中英文自由切換

光機電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速,，結(jié)果實時更新

縮放、定位,、平移,、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理

自主設(shè)定測量閾值，三維處理自動標注

測量模式可根據(jù)需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數(shù)設(shè)置,，一鍵式操作,，人機界面?zhèn)€性直觀

個性化軟件應(yīng)用支持

可進行軟件在線升級和遠程支持服務(wù)

10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器將為您提供全程的服務(wù),。

輪廓儀,、粗糙度儀,、三坐標的區(qū)別

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬、倒角（包括倒角位置,、倒角尺寸,、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù),?？傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。

關(guān)于三坐標測量輪廓度及粗糙度

  三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓 ,，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,，如果你的三坐標測量機精度比較高，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標來代替的,。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,，因為它有龍門式三坐標和關(guān)節(jié)臂三坐標,，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。 輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。Bruker輪廓儀質(zhì)保期多久

反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。自動測量輪廓儀干涉測量應(yīng)用

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線，測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz,，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題

自動測量輪廓儀干涉測量應(yīng)用