NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗

糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天,、精密加

工,、表面工程技術(shù)、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng)， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,，操作更簡(jiǎn)單,，更方便  

輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標(biāo)的區(qū)別

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸,、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數(shù)?？傊?，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標(biāo)叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。

關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度

  三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的,，至于測(cè)量零件的表面輪廓 ，要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了,，如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高,，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標(biāo)來代替的,。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓,，因?yàn)樗旋堥T式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),，而輪廓儀主要是用來測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度,。 輪廓測(cè)量儀輪廓儀應(yīng)用NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光,。

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作,，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報(bào)警，急停等功能,，報(bào)警信息可儲(chǔ)存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動(dòng)速度

**快

如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。

我們主要經(jīng)營鍵合機(jī),、光刻機(jī),、輪廓儀，隔振臺(tái)等設(shè)備,。

輪廓儀,、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別：

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬,、倒角（包括倒角位置,、倒角尺寸、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數(shù),。總之,，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標(biāo)叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。

  但是,，輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī),，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊,，這樣既可以測(cè)量輪廓尺寸，又可以測(cè)量粗糙度,，市場(chǎng)上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀,。

  在結(jié)構(gòu)上，輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,，而粗糙度儀以手持式的居多,，當(dāng)然也有臺(tái)式的,。 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤,、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī),。

    比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質(zhì)，半導(dǎo)體,，和金屬薄膜的厚度和折射率,。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測(cè)量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測(cè)量從薄膜垂直反射的光。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術(shù)在成本,，復(fù)雜度,，和測(cè)量能力上的不同。由于橢偏儀的光從一個(gè)角度入射,，所以一定要分析反射光的偏振和強(qiáng)度,，使得橢偏儀對(duì)超薄和復(fù)雜的薄膜堆有較強(qiáng)的測(cè)量能力。然而,，偏振分析意味著需要昂貴的精密移動(dòng)光學(xué)儀器,。光譜反射儀測(cè)量的是垂直光，它忽略偏振效應(yīng)（絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱）,。因?yàn)椴簧婕叭魏我苿?dòng)設(shè)備,，光譜反射儀成為簡(jiǎn)單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析,。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的優(yōu)先,，而橢偏儀側(cè)重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之間,，兩種技術(shù)都可用,。而且具有快速，簡(jiǎn)便,，成本低特點(diǎn)的光譜反射儀通常是更好的選擇,。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測(cè)量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測(cè)量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>。儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性,。Bruker輪廓儀質(zhì)保期多久

測(cè)量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）,。高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀代理價(jià)格

1）白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對(duì)各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺(tái)階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。  

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多***盤、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī),。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。 每個(gè)共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來實(shí)現(xiàn),。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。

高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀代理價(jià)格