輪廓儀的性能測量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）樣品臺：150mm/200mm/300mm樣品臺（可選配）XY平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素：標配：1280×960視場范圍：560×750um（10×物鏡）具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學(xué)系統(tǒng)：同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)光源：高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦（可選電動聚焦）Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達10mm)縱向分辨率＜0.1nmRMS重復(fù)性*0.005nm,，1σ臺階測量**準確度≤0.75％,；重復(fù)性≤0.1%，1σ橫向分辨率≥0.35um（100倍物鏡）檢測速度≤35um/sec,與所選的CCDLED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光,。高精密儀器輪廓儀推薦產(chǎn)品

如何正確使用輪廓儀

準備工作

1.測量前準備。

2.開啟電腦,、打開機器電源開關(guān),、檢查機器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面,。

測量

1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件,。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析,，標出結(jié)果，并保存,、打印,。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離、交點到交點距離,、交點到圓心距離,、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度,、LG凸度,、對數(shù)曲線

白光干涉輪廓儀研發(fā)可以用嗎擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點,，**提高加工效率,。

1）白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤,、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機,。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光,。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機,。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn),。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。

輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級測量準確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓,、臺階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加

工,、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

想要了解更多的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器,。 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲,。

1.5.系統(tǒng)培訓(xùn)的注意事項如何使用電子書閱讀軟件和軟,、硬件的操作手冊；數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口,、連接計算器,、等待時間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置；實際演示一一講解,；如何做好備份和恢復(fù)備份資料,；當(dāng)場演示各種報表的操作并進行操作解說；數(shù)據(jù)庫文件應(yīng)定時作備份,，大變動時更應(yīng)做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數(shù)據(jù)庫的流失,；在系統(tǒng)培訓(xùn)過程中如要輸入一些臨時數(shù)據(jù)應(yīng)在培訓(xùn)結(jié)束后及時刪除這些資料。備注：系統(tǒng)培訓(xùn)完成后應(yīng)請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,，并留下公司“客戶服務(wù)中心”的電話與個人名片,，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢,。產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）。超納輪廓儀供應(yīng)商

NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um,，重復(fù)精度 1um。高精密儀器輪廓儀推薦產(chǎn)品

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)）輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：封磚Bump測量視場：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示,；線粗糙度分析：Ra,Ry，Rz,，…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高MEMS器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題高精密儀器輪廓儀推薦產(chǎn)品