AVI600-S

AVI 600-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元，比較大負載為800公斤,。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI

600-S適應用戶特定的應用,，可以使用不同長度的緊湊型裝置,。

AVI 600-S的隔離始于1,2 Hz，超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 600-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 600-S緊湊型設備不需要任何大型安裝工具,。我們努力提供一種簡單,，友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備（例如SEM）時進行任何復雜的操作。

技術(shù)指標：

頻率：  1.2-200 Hz

負載范圍：  0-1200公斤

（單個）： 600公斤 傳感器LFS-3有一個單獨的電源,，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元,。干涉儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

1、使用2 mm內(nèi)六角扳手（包括在內(nèi)）拆下模塊端板,。

2,、根據(jù)掃描電鏡的重量調(diào)整模塊。

在每個中心柱上的橫梁上方和下方應該有一個間隙,，允許每側(cè)大約有2mm的行程,。

B、使用M6活動扳手（包括）轉(zhuǎn)動位于支撐彈簧頂部的調(diào)整螺母,。向右轉(zhuǎn)動扳手可降低模塊并增加上部間隙（在**止動螺母和橫撐之間）,。向左轉(zhuǎn)動扳手可升高模塊并減小上部間隙。

C,、計算每個螺母的圈數(shù),；盡可能均勻地調(diào)整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同,。

D,、不要轉(zhuǎn)動螺母太遠，否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下,，外露螺紋不得超過10mm

3.裝回模塊上的端板 AVI-400MLP隔振臺電子顯微鏡STMLFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,，直到頻率約為0.2Hz。

Table Stable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng),，具有**的防振單元和控制器,。

可能有多種變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺,，或與光學平臺結(jié)合使用的高性能光學實驗臺,。

特點：

?通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的振動,。

?安裝時不需要參數(shù)調(diào)整,，安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧,，因此不需要空氣彈簧,。

?振動狀態(tài)一目了然。

（可以目視觀察控制器的每個LED閃爍單元的振動狀態(tài),。）

-加速度信號可以從外部輸出,。

（通過將BNC連接器連接到示波器，可以看到活動對象正在正常工作,。

AVI-600 / LP的每個單元均可調(diào)節(jié),，以適應0至600kg的負載。 對于任何設置由兩個單元組成的系統(tǒng)上的負載,，可在+/- 90kg之間變化,，而不必重設調(diào)整。

***操作系統(tǒng)時,，請將前面板隔離開關(guān)設置為OFF（黑色旋出）,。 接通電源。 電源指示燈現(xiàn)在將點亮,，并且24個顯示LED將短暫閃爍,。 黃色的使能LED將以大約2 Hz的頻率閃爍。 如果劇烈震動存在或如果您將手放在桌面上,，則某些或所有LED將閃爍,。接通電源約30秒后，您可以將隔離開關(guān)推到ON位置（紅色旋鈕進入）,。黃色LED現(xiàn)在將長久保持亮起,，表明系統(tǒng)處于隔離。

TS-140的隔離始于0.7 Hz,，超過10Hz時迅速增加至40db,。

AVI-400系列（負載：**多800kg）

型號：AVI-400SLP,，AVI-400MLP，AVI-400XLP

系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型

主動控制范圍：被動隔振范圍200Hz以上

確認防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器,，外部連接,，前面的8個LED指示防振狀態(tài)

尺寸：190×396×190×720×220×856×

控制器尺寸：241×287×142毫米

承重*800kg

單位重量：約13kg；約19公斤,，聯(lián)絡我們

電源電壓：95-240VAC,，50-60赫茲

耗電量：通常為18W

工作溫度范圍：5℃?40℃工作濕度范圍10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）

可選零件（1）裝載板，石板,，鑄鐵板*另行咨詢選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢,。 Table Stable通過在發(fā)展主動隔振系統(tǒng)的同時補充了被動系統(tǒng),。主動隔振臺研發(fā)可以用嗎

Table Stable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng),，具有**的防振單元和控制器。干涉儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

TS-150安全守則

?只能將系統(tǒng)插入具有單獨接地的插座,。 不要斷開此連接通過插座或使用不接地的延長線接地,。

?在打開本設備之前，請確保已將其連接到正確的電源電壓,。

?請勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進入設備的任何開口,。

?請勿拆卸或嘗試維修系統(tǒng)。 這可能會導致電擊或損壞到系統(tǒng),。

?卸下任何主機蓋之前,，請先斷開電源。 請把維修交給合格的人員,。

?請勿在有危險的環(huán)境中使用,。

?請勿在頂板上鉆任何孔。 這會損壞系統(tǒng),。

?如果您懷疑系統(tǒng)有任何不安全之處,，請拔下電源插頭并防止可能發(fā)生的意外事 故用法。 請與您**近的服務中心聯(lián)系,。

干涉儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

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