FSM 8018 VITE測(cè)試系列設(shè)備

VITE技術(shù)介紹：

VITE是傅里葉頻域技術(shù),，利用近紅外光源的相位剪切技術(shù)（Phase shear technology）

設(shè)備介紹

適用于所有可讓近紅外線(xiàn)通過(guò)的材料：硅,、藍(lán)寶石,、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅,、玻璃、石  英,、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過(guò)孔尺寸,、深度,、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導(dǎo)體材料的厚度

   環(huán)氧樹(shù)脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測(cè)量

TSV 深度、側(cè)壁角度...

F10-AR在用戶(hù)定義的任何波長(zhǎng)范圍內(nèi)都能進(jìn)行比較低,、比較高和平均反射測(cè)試,。Thin film analyzer膜厚儀優(yōu)惠價(jià)格

測(cè)量眼科設(shè)備涂層厚度光譜反射率可用于測(cè)量眼鏡片減反射 (AR) 光譜和殘余顏色，以及硬涂層和疏水層的厚度,。

減反涂層減反涂層用來(lái)減少眩光以及無(wú)涂層鏡片導(dǎo)致的眼睛疲勞,。 減反鏡片的藍(lán)綠色彩也吸引了眾多消費(fèi)者。 因此,，測(cè)量和控制減反涂層及其色彩就變得越來(lái)越重要了,。

FilmetricsF10-AR是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)眼鏡片設(shè)計(jì)的，配備多種獨(dú)特功能用于減反涂層檢測(cè),。硬涂層硬涂層用來(lái)增加抗劃痕和抗紫外線(xiàn)的能力,。 在鏡片上涂抹硬涂層，就提供了這種保護(hù),，而減反涂層則是不太柔軟的較硬鍍層,。

FilmetricsF10-AR配備了硬涂層測(cè)量升級(jí)軟件。 可以測(cè)量厚達(dá)15微米的一層或兩層硬涂層,。疏水層疏水涂層使減反鏡片具有對(duì)水和油排斥的屬性,，使它們易于清潔。 這些涂層都是特別薄的 – 只有一百個(gè)原子的數(shù)量級(jí) – 因此需要短波 (紫外線(xiàn)) 光來(lái)精確測(cè)量,。 測(cè)量疏水層厚度的比較好儀器就是配備了UPG-F10-AR-d 和UPG-F10-RT-nk 升級(jí)軟件的 F10-AR-UV。鏡片的穿透率測(cè)量F10-AR可選購(gòu)SS-Trans-Curved樣品臺(tái)用于測(cè)量鏡片的穿透率,。

導(dǎo)電氧化物膜厚儀可以試用嗎厚度范圍: 測(cè)量從 1nm 到 13mm 的厚度,。 測(cè)量 70nm 到 10um 薄膜的折射率。

F10-RT同時(shí)測(cè)量反射和透射以真空鍍膜為設(shè)計(jì)目標(biāo),，F(xiàn)10-RT 只要單擊鼠標(biāo)即可獲得反射和透射光譜,。 只需傳統(tǒng)價(jià)格的一小部分，用戶(hù)就能進(jìn)行比較低/比較高 分析,、確定 FWHM 并進(jìn)行顏色分析,。

可選的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用 Filmetrics F10 的分析能力。測(cè)量結(jié)果能被快速地導(dǎo)出和打印。

包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件BK7 參考材料Al2O3 參考材料Si 參考材料防反光板鏡頭紙

額外的好處：每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過(guò)130種材料庫(kù), 隨著不同應(yīng)用更超過(guò)數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃

F10-AR

無(wú)須處理涂層背面我們探頭設(shè)計(jì)能抑 制 1.5mm 厚基板 98% 的背面反射,，使用更厚的鏡頭抑 制的更多,。

就像我們所有的臺(tái)式儀器一樣，F(xiàn)10-AR 需要連接到您裝有 Windows 計(jì)算機(jī)的 USB 端口上并在數(shù)分鐘內(nèi)即可完成設(shè)定,。

額外的好處：每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過(guò)130種材料庫(kù), 隨著不同應(yīng)用更超過(guò)數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃 成功測(cè)量光刻膠要面對(duì)一些獨(dú)特的挑戰(zhàn),， 而 Filmetrics 自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)成功地解決這些問(wèn)題。

參考材料

備用 BK7 和二氧化硅參考材料,。

BG-Microscope顯微鏡系統(tǒng)內(nèi)取背景反射的小型抗反光鏡

BG-F10-RT平臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)獲取背景反射的抗反光鏡

REF-Al-1mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準(zhǔn)

REF-Al-3mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準(zhǔn)

REF-BK71?" x 1?" BK7 反射基準(zhǔn),。

REF-F10RT-FusedSilica-2Side背面未經(jīng)處理的石英，用于雙界面基準(zhǔn),。

REF-Si-22" 單晶硅晶圓

REF-Si-44" 單晶硅晶圓

REF-Si-66" 單晶硅晶圓

REF-Si-88" 單晶硅晶圓

REF-SS3-Al專(zhuān)為SS-3樣品平臺(tái)設(shè)計(jì)之鋁反射率基準(zhǔn)片

REF-SS3-BK7專(zhuān)為SS-3樣品平臺(tái)設(shè)計(jì)之BK7玻璃反射率基準(zhǔn)片

REF-SS3-Si專(zhuān)為SS-3樣品平臺(tái)設(shè)計(jì)之硅反射率基準(zhǔn)片 基板材料: 如果薄膜位于粗糙基板 (大多數(shù)金屬) 上的話(huà),，一般不能測(cè)量薄膜的折射率。Profilm3D膜厚儀質(zhì)保期多久

Filmetrics 提供一系列的和測(cè)繪系統(tǒng)來(lái)測(cè)量 3nm 到 1mm 的單層,、 多層,、 以及單獨(dú)的光刻膠薄膜。Thin film analyzer膜厚儀優(yōu)惠價(jià)格

F50 和 F60 的晶圓平臺(tái)提供不同尺寸晶圓平臺(tái),。

F50晶圓平臺(tái)- 100mm用于 2",、3" 和 4" 晶圓的 F50 平臺(tái)組件。

F50晶圓平臺(tái)- 200mm用于 4",、5",、 6" 和 200mm 晶圓的 F50 平臺(tái)組件。

F50晶圓平臺(tái)- 300mm用于 4",、5",、6"、200mm 和 300mm 晶圓的 F50 平臺(tái)組件,。

F50晶圓平臺(tái)- 450mmF50 夾盤(pán)組件實(shí)用于 4", 5", 6", 200mm, 300mm, 以及450mm毫米晶片,。

F50晶圓平臺(tái)- 訂制預(yù)訂 F50 的晶圓平臺(tái)，通常在四星期內(nèi)交貨,。

F60晶圓平臺(tái)- 200mm用于 4",、5"、6" 和 200mm 晶圓的 F60 平臺(tái)組件,。

F60晶圓平臺(tái)- 300mm用于 4",、5"、6",、200mm 和 300mm 晶圓的 F60 平臺(tái)組件,。 Thin film analyzer膜厚儀優(yōu)惠價(jià)格

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)等，價(jià)格合理,，品質(zhì)有保證,。公司注重以質(zhì)量為中心，以服務(wù)為理念,，秉持誠(chéng)信為本的理念,，打造儀器儀表良好品牌。在社會(huì)各界的鼎力支持下,，持續(xù)創(chuàng)新,，不斷鑄造***服務(wù)體驗(yàn)，為客戶(hù)成功提供堅(jiān)實(shí)有力的支持,。