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光電輪廓儀

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-01-31

強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件


美國(guó)硅谷研發(fā),、中英文自由切換


光機(jī)電一體化軟硬件集成


三維分析處理迅速,,結(jié)果實(shí)時(shí)更新


縮放、定位,、平移,、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理


自主設(shè)定測(cè)量閾值,三維處理自動(dòng)標(biāo)注


測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換


三維圖像支持高清打印


菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀


個(gè)性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)


10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BD Medical

Instrument)

光學(xué)測(cè)量,、軟件系統(tǒng)


岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。

但是在共焦圖像中,,通過(guò)多***盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),,只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。光電輪廓儀

1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用:

對(duì)各種產(chǎn)品,,不見(jiàn)和材料表面的平面度,,粗糙度,波溫度,,面型輪廓,,表面缺 陷,磨損情況,,腐蝕情況,,孔隙間隙,臺(tái)階高度,,完全變形情況,,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。  

2)共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多***盤(pán),、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過(guò)多***盤(pán)(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,,從而反射光,。反射光通過(guò)MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),,但是在共焦圖像中,,通過(guò)多***盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。因此,,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品的形貌的水平切片,,在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現(xiàn),。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。





輪廓測(cè)量輪廓儀有誰(shuí)在用NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,,定位精度 5um,,重復(fù)精度 1um。

    比較大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,,更進(jìn)一步減少總體成本,。手動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)能一次搭載四組物鏡,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測(cè)量應(yīng)用,。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺(tái)類型手動(dòng)或自動(dòng)XY平臺(tái)范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬(wàn)像素)系統(tǒng)尺寸,,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場(chǎng)xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見(jiàn)的選購(gòu)配件:urionNano30主動(dòng)式防震臺(tái)4微米,2微米,,和100納米多臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn),。

NanoX-8000 3D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù)

3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(1):

測(cè)量模式: PSI + VSI + CSI

Z軸測(cè)量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標(biāo)配/500um選配)

10mm 精密電機(jī)拓展掃描

CCD相機(jī): 1920x1200 高速相機(jī)(標(biāo)配)

干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標(biāo)配), 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換: 5孔電動(dòng)鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦: 高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦

照明系統(tǒng): 高 效長(zhǎng)壽白光LED + 濾色鏡片電動(dòng)切換(綠色/藍(lán)色)

傾斜調(diào)節(jié): ±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)

橫向分辨率: ≥0.35μm(與所配物鏡有關(guān))

3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(2):

垂直掃描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s

高度測(cè)量范圍: 0.1nm – 10mm

表面反射率: > 0.5%

測(cè)量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準(zhǔn)確度 < 1nm

RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)

臺(tái)階高重復(fù)性:0.15nm(1σ)

VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm

準(zhǔn)確度<1%

重復(fù)性<0.1% (1σ,,10um臺(tái)階高) 輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,,核探測(cè)。

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng),, 使用無(wú)損 

可操作性:一鍵式操作,,操作更簡(jiǎn)單,更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù)  

個(gè)性化: 定制化客戶報(bào)告模式 

更好用戶體驗(yàn): 迅捷的售后服務(wù),,個(gè)性化應(yīng)用軟件支持


1.精度高,壽命長(zhǎng)---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測(cè)量基準(zhǔn),,具有穩(wěn)定性好、承載大,、**磨損等優(yōu)點(diǎn),,達(dá)到國(guó)內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。  2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,,準(zhǔn)確度高,,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò)) 輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加 工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。ADE輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)

包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓,、線粗糙度、面粗糙度等二維,、三維參數(shù),,作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。光電輪廓儀

關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度

  三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的,,至于測(cè)量零件的表面輪廓 ,,要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了,,如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高,但零件輪廓度要求不可,,是可以用三坐標(biāo)來(lái)代替的,。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內(nèi),,還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓,,因?yàn)樗旋堥T(mén)式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),而輪廓儀主要是用來(lái)測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的,,加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度,。 光電輪廓儀

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司總部位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,是一家磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司,。公司自創(chuàng)立以來(lái),,投身于磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測(cè)試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念,,影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,,在風(fēng)云變化的時(shí)代,,對(duì)自身的建設(shè)毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。