NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報警，急停等功能,，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動速度 **快

表面三維微觀形貌測量的意義

在生產(chǎn)中，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有**直接的影響,，而且表面三維評定參數(shù)由于能更***,，更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,，確保零件使用功能的實現(xiàn),。

表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主。

輪廓儀可用于：微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,，表面粗糙度,。歐洲輪廓儀價格怎么樣

    超納輪廓儀的主設(shè)計簡介:

中組部第十一批“****”****，美國KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān),，干涉測量技術(shù)**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,，創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法，在光測領(lǐng)域發(fā)表23個美國專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎,，國家教育部***批公派研究生,83年留學(xué)美國,。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體、微機(jī)電,、納米材料,、生物醫(yī)療、精密涂層,、科研院所,、航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度,、輪廓等參數(shù)的測量，除了三維光學(xué)輪廓儀,，沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求,。（網(wǎng)絡(luò)）。 晶片輪廓儀有哪些品牌NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s ,。

輪廓儀的**團(tuán)隊

夏勇博士,，江蘇省雙創(chuàng)人才

15年ADE，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā),、項目管理經(jīng)驗

SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,，太陽能在線檢測設(shè)備

唐壽鴻博士，國家千人****

25年 ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗

KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),，***圖像處理、算法**

許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測量,、軟件系統(tǒng)

岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,，為您排憂解難。

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中,，計算機(jī)對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo),，或放大的實際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機(jī)輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示,；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz,，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題

粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,。

如何正確使用輪廓儀

準(zhǔn)備工作

1.測量前準(zhǔn)備,。

2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān),、檢查機(jī)器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面,。

測量

1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。

2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件,。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析，標(biāo)出結(jié)果，并保存,、打印,。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離、交點到交點距離,、交點到圓心距離,、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度,、LG凸度,、對數(shù)曲線

輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探測,。干涉測量輪廓儀國內(nèi)代理

LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光。歐洲輪廓儀價格怎么樣

關(guān)于三坐標(biāo)測量輪廓度及粗糙度

  三坐標(biāo)測量機(jī)是不能測量粗糙度的,，至于測量零件的表面輪廓 ,，要視三坐標(biāo)的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標(biāo)測量機(jī)精度比較高,，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標(biāo)來代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,，而輪廓儀都在2um以內(nèi),，還有就是三坐標(biāo)可以測量大尺寸零件的輪廓，因為它有龍門式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 歐洲輪廓儀價格怎么樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型的公司,。公司自成立以來，以質(zhì)量為發(fā)展,，讓匠心彌散在每個細(xì)節(jié),，公司旗下磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛,。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計,、強(qiáng)大的技術(shù),，還有一批**的專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品,、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽(yù)和口碑,，讓企業(yè)發(fā)展再上新高,。