FSM 413MOT 紅外干涉測量設備：

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍寶石,、砷化鎵、磷化銦,、碳化硅,、玻璃、石  英,、聚合物…………

應用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸,、深度,、側壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度、側壁角度...

如果您想了解更多關于FSM膜厚儀的技術問題,，請聯(lián)系我們岱美儀器,。 F40-EXR范圍：20nm-120μm；波長：400-1700nm,。玻璃膜厚儀出廠價

F50 和 F60 的晶圓平臺提供不同尺寸晶圓平臺,。

F50晶圓平臺- 100mm用于 2"、3" 和 4" 晶圓的 F50 平臺組件,。

F50晶圓平臺- 200mm用于 4"、5",、 6" 和 200mm 晶圓的 F50 平臺組件,。

F50晶圓平臺- 300mm用于 4"、5",、6",、200mm 和 300mm 晶圓的 F50 平臺組件。

F50晶圓平臺- 450mmF50 夾盤組件實用于 4", 5", 6", 200mm, 300mm, 以及450mm毫米晶片,。

F50晶圓平臺- 訂制預訂 F50 的晶圓平臺,，通常在四星期內交貨。

F60晶圓平臺- 200mm用于 4",、5"、6" 和 200mm 晶圓的 F60 平臺組件,。

F60晶圓平臺- 300mm用于 4",、5"、6",、200mm 和 300mm 晶圓的 F60 平臺組件,。 美國膜厚儀推薦廠家產品型號：FSM 413EC, FSM 413MOT，F(xiàn)SM 413SA DP FSM 413C2C, FSM 8108 VITE C2C,。

F10-AR易于使用而且經濟有效地分析減反涂層和鏡頭上的硬涂層F10-AR 是測試眼科減反涂層設計的儀器,。 雖然價格**低于當今絕大多數(shù)同類儀器,，應用幾項技術,， F10-AR 使線上操作人員經過幾分鐘的培訓，就可以進行厚度測量,。

在用戶定義的任何波長范圍內都能進行比較低,、比較高和平均反射測試。

我們有專門的算法對硬涂層的局部反射失真進行校正,。 我們獨有的 AutoBaseline 能極大地增加基線間隔，提供比其它光纖探頭反射儀高出五倍的精確度,。

利用可選的 UPG-F10-AR-HC 軟件升級能測量 0.25-15um 的硬涂層厚度,。 在減反層存在的情況下也能對硬涂層厚度進行測量。

參考材料

備用 BK7 和二氧化硅參考材料,。

BG-Microscope顯微鏡系統(tǒng)內取背景反射的小型抗反光鏡

BG-F10-RT平臺系統(tǒng)內獲取背景反射的抗反光鏡

REF-Al-1mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準

REF-Al-3mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準

REF-BK71?" x 1?" BK7 反射基準,。

REF-F10RT-FusedSilica-2Side背面未經處理的石英，用于雙界面基準,。

REF-Si-22" 單晶硅晶圓

REF-Si-44" 單晶硅晶圓

REF-Si-66" 單晶硅晶圓

REF-Si-88" 單晶硅晶圓

REF-SS3-Al專為SS-3樣品平臺設計之鋁反射率基準片

REF-SS3-BK7專為SS-3樣品平臺設計之BK7玻璃反射率基準片

REF-SS3-Si專為SS-3樣品平臺設計之硅反射率基準片 應用：襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響),，平整度,。

厚度標準：

所有 Filmetrics 厚度標準都是得到驗證可追溯的 NIST 標準。

S-Custom-NIST：在客戶提供的樣品上定制可追溯的 NIST 厚度校準,。 

TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si ：厚度標準,，外加調焦區(qū)和單晶硅基準，厚度大約 3100A,，4" 晶圓。

TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si ：厚度標準,，外加調焦區(qū)和單晶硅基準,，厚度大約 10000A，4" 晶圓,。

TS-Hardcoat-4μm：丙烯酸塑料硬涂層厚度標準,，厚度大約 4um，直徑 2",。

TS-Hardcoat-Trans：背面透明的硬涂層,，可用于透射測量,。

TS-Parylene-4um：丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標準，厚度大約 4um ,，直徑2"。

TS-Parylene-8um：硅基上的聚對二甲苯厚度標準,，厚度大約 8um,，23mm x 23mm。

TS-SiO2-4-7200：硅基上的二氧化硅厚度標準,，厚度大約 7200A,，4" 晶圓。

TS-SiO2-4-7200-NIST：可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度標準,。

TS-SiO2-6-Multi：多厚度硅基上的二氧化硅標準: 125埃米,，250埃米，500埃米,，1000埃米,，5000埃米，和 10000埃米 (+/-10%誤差),，6英寸晶圓,。TS-SS3-SiO2-8000：專為SS-3樣品平臺設計之二氧化硅厚度標準片,厚度大約為 8000A。 可測量的層數(shù): 通常能夠測量薄膜堆內的三層**薄膜,。 在某些情況下,，能夠測量到十幾層。透明導電氧化物膜厚儀保修期多久

幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動測繪,。人工加載或機器人加載均可,。玻璃膜厚儀出廠價

不管您參與對顯示器的基礎研究還是制造，F(xiàn)ilmetrics 都能夠提供您所需要的...測量液晶層- 聚酰亞胺,、硬涂層,、液晶、間隙測量有機發(fā)光二極管層- 發(fā)光,、電注入,、緩沖墊、封裝對于空白樣品,，我們建議使用 F20 系列儀器,。 對于圖案片，F(xiàn)ilmetrics的F40用于測量薄膜厚度已經找到了顯示器應用***使用,。

測量范例此案例中,，我們成功地測量了藍寶石和硼硅玻璃基底上銦錫氧化物薄膜厚度。與Filmetrics專有的ITO擴散模型結合的F10-RTA-EXR儀器，可以很容易地在380納米到1700納米內同時測量透射率和反射率以確定厚度,，折射率,，消光系數(shù)。由于ITO薄膜在各種基底上不同尋常的的擴散,，這個擴展的波長范圍是必要的,。 玻璃膜厚儀出廠價

岱美儀器技術服務（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位，是一家磁記錄,、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司,。公司自創(chuàng)立以來,，投身于磁記錄，半導體,，光通訊生產,，測試儀器的批發(fā)，是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念,，影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術服務始終關注自身,，在風云變化的時代,，對自身的建設毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術服務在行業(yè)的從容而自信,。