EVG ® 610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng),，從碎片到比較大150毫米,。

該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空,，軟,，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準,。此外,，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）,。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間*為幾分鐘,。其先進的多用戶概念可以適應(yīng)從初學者到**級別的所有需求,，因此使其成為大學和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。

NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的相當有成本效益的方法,。晶圓片納米壓印原理

EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案

納米壓印光刻的介紹：

EV Group是納米壓印光刻（NIL）的市場**設(shè)備供應(yīng)商,。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)多年，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。EVG的專有SmartNIL技術(shù)通過多年的研究,，開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進行了優(yōu)化,，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結(jié)果,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進步,。

EVG610納米壓印推薦產(chǎn)品EVG先進的多用戶概念可以適應(yīng)從初學者到**級別的所有需求，因此使其成為大學和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇,。

       EVG公司技術(shù)開發(fā)和IP總監(jiān)Markus Wimplinger補充說：“我們開發(fā)新技術(shù)和工藝以應(yīng)對*復(fù)雜的挑戰(zhàn),，幫助我們的客戶成功地將其新產(chǎn)品創(chuàng)意商業(yè)化。技術(shù),，我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心,。“在具有保護客戶IP的強大政策的框架內(nèi),，我們?yōu)榭蛻籼峁┝藦目尚行缘缴a(chǎn)階段的產(chǎn)品開發(fā)和商業(yè)化支持,。這正是我們***與AR領(lǐng)域的**者WaveOptics合作所要做的，以為*終客戶提供真正可擴展的解決方案,?！?

      EVG的NILPhotonics®能力中心框架內(nèi)的協(xié)作開發(fā)工作旨在支持WaveOptics的承諾，即在工業(yè),，企業(yè)和消費者等所有主要市場領(lǐng)域釋放AR在大眾市場的應(yīng)用,，并遵循公司模塊計劃的推出。

EVG ® 520 HE熱壓印系統(tǒng)

特色：經(jīng)通用生產(chǎn)驗證的熱壓印系統(tǒng),，可滿足比較高要求

EVG520 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設(shè)計用于對熱塑性基材進行高精度壓印,。EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗證的系統(tǒng)可以接受直徑比較大為200 mm的基板，并且與標準的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容,。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能,，并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍,。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,，提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。

如果需要詳細的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。 分步重復(fù)刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。

EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù),。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù),，具有非常高的復(fù)制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸,。該系統(tǒng)非常適合將復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。

NILPhotonics®能力中心-支持和開發(fā)

NILPhotonics能力中心是經(jīng)過驗證的創(chuàng)新孵化器,。

歡迎各位客戶來樣制作,，驗證EVG的納米壓印設(shè)備的性能。

EVG是納米壓印光刻（NIL）的市場**設(shè)備供應(yīng)商,。四川納米壓印推薦型號

EVG的納米壓印設(shè)備括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。晶圓片納米壓印原理

SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術(shù),，可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,，并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合,，可實現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本，大批量替代光刻技術(shù),。

注：*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 晶圓片納米壓印原理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型的公司,。公司自成立以來，以質(zhì)量為發(fā)展,，讓匠心彌散在每個細節(jié),，公司旗下磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力，努力學習行業(yè)知識,，遵守行業(yè)規(guī)范,，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊,、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先,、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念,，全力打造公司的重點競爭力。