EVG ® 610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng),，從碎片到比較大150毫米。

該工具支持多種標準光刻工藝,，例如真空,，軟，硬和接近曝光模式,，并且可以選擇背面對準,。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）,。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求,，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間*為幾分鐘,。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇,。

NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的相當有成本效益的方法,。晶圓片納米壓印原理

EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案

納米壓印光刻的介紹：

EV Group是納米壓印光刻（NIL）的市場**設備供應商。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術多年,，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究，開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進行了優(yōu)化,，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求,。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結果。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步,。

EVG610納米壓印推薦產(chǎn)品EVG先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求,，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇。

       EVG公司技術開發(fā)和IP總監(jiān)Markus Wimplinger補充說：“我們開發(fā)新技術和工藝以應對*復雜的挑戰(zhàn),，幫助我們的客戶成功地將其新產(chǎn)品創(chuàng)意商業(yè)化,。技術，我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心,?！霸诰哂斜Ｗo客戶IP的強大政策的框架內(nèi)，我們?yōu)榭蛻籼峁┝藦目尚行缘缴a(chǎn)階段的產(chǎn)品開發(fā)和商業(yè)化支持,。這正是我們***與AR領域的**者WaveOptics合作所要做的,，以為*終客戶提供真正可擴展的解決方案,。”

      EVG的NILPhotonics®能力中心框架內(nèi)的協(xié)作開發(fā)工作旨在支持WaveOptics的承諾,，即在工業(yè),，企業(yè)和消費者等所有主要市場領域釋放AR在大眾市場的應用，并遵循公司模塊計劃的推出,。

EVG ® 520 HE熱壓印系統(tǒng)

特色：經(jīng)通用生產(chǎn)驗證的熱壓印系統(tǒng),，可滿足比較高要求

EVG520 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗證的系統(tǒng)可以接受直徑比較大為200 mm的基板,，并且與標準的半導體制造技術兼容,。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能，并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍,。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,，提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。

如果需要詳細的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司,。 分步重復刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。

EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術,。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印,。熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術，具有非常高的復制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸,。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結構和納米結構以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。

NILPhotonics®能力中心-支持和開發(fā)

NILPhotonics能力中心是經(jīng)過驗證的創(chuàng)新孵化器,。

歡迎各位客戶來樣制作,，驗證EVG的納米壓印設備的性能。

EVG是納米壓印光刻（NIL）的市場**設備供應商,。四川納米壓印推薦型號

EVG的納米壓印設備括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng)。晶圓片納米壓印原理

SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術,，可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,，并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,，可實現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本，大批量替代光刻技術,。

注：*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。 晶圓片納米壓印原理

岱美儀器技術服務（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型的公司,。公司自成立以來，以質(zhì)量為發(fā)展,，讓匠心彌散在每個細節(jié),，公司旗下磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力,，努力學習行業(yè)知識,，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,。岱美儀器技術服務秉承“客戶為尊,、服務為榮、創(chuàng)意為先,、技術為實”的經(jīng)營理念,，全力打造公司的重點競爭力。