EVG ® 610 紫外線(xiàn)納米壓印光刻系統(tǒng)

具有紫外線(xiàn)納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),，從碎片到比較大150毫米,。

該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝，例如真空,，軟,，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對(duì)準(zhǔn),。此外,，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對(duì)準(zhǔn)和納米壓印光刻（NIL）,。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,，以改變用戶(hù)需求，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時(shí)間*為幾分鐘,。其先進(jìn)的多用戶(hù)概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到**級(jí)別的所有需求,，因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。

NIL已被證明是在大面積上實(shí)現(xiàn)納米級(jí)圖案的相當(dāng)有成本效益的方法,。晶圓片納米壓印原理

EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案

納米壓印光刻的介紹：

EV Group是納米壓印光刻（NIL）的市場(chǎng)**設(shè)備供應(yīng)商,。EVG開(kāi)拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)多年,，掌握了NIL并已在不斷增長(zhǎng)的基板尺寸上實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn),。EVG的專(zhuān)有SmartNIL技術(shù)通過(guò)多年的研究，開(kāi)發(fā)和現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行了優(yōu)化,，以解決常規(guī)光刻無(wú)法滿(mǎn)足的納米圖案要求,。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結(jié)果。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí),。我們?cè)敢馀c您共同進(jìn)步。

EVG610納米壓印推薦產(chǎn)品EVG先進(jìn)的多用戶(hù)概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到**級(jí)別的所有需求,，因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇,。

       EVG公司技術(shù)開(kāi)發(fā)和IP總監(jiān)Markus Wimplinger補(bǔ)充說(shuō)：“我們開(kāi)發(fā)新技術(shù)和工藝以應(yīng)對(duì)*復(fù)雜的挑戰(zhàn)，幫助我們的客戶(hù)成功地將其新產(chǎn)品創(chuàng)意商業(yè)化,。技術(shù),，我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心?！霸诰哂斜Ｗo(hù)客戶(hù)IP的強(qiáng)大政策的框架內(nèi),，我們?yōu)榭蛻?hù)提供了從可行性到生產(chǎn)階段的產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和商業(yè)化支持。這正是我們***與AR領(lǐng)域的**者WaveOptics合作所要做的,，以為*終客戶(hù)提供真正可擴(kuò)展的解決方案,。”

      EVG的NILPhotonics®能力中心框架內(nèi)的協(xié)作開(kāi)發(fā)工作旨在支持WaveOptics的承諾,，即在工業(yè),，企業(yè)和消費(fèi)者等所有主要市場(chǎng)領(lǐng)域釋放AR在大眾市場(chǎng)的應(yīng)用，并遵循公司模塊計(jì)劃的推出,。

EVG ® 520 HE熱壓印系統(tǒng)

特色：經(jīng)通用生產(chǎn)驗(yàn)證的熱壓印系統(tǒng),，可滿(mǎn)足比較高要求

EVG520 HE半自動(dòng)熱壓印系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于對(duì)熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的系統(tǒng)可以接受直徑比較大為200 mm的基板,，并且與標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容,。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能，并管理適用于熱壓印的整個(gè)聚合物范圍,。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項(xiàng),，提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。

如果需要詳細(xì)的信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。 分步重復(fù)刻印通常用于高 效地制造晶圓級(jí)光學(xué)器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。

EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場(chǎng)**的晶圓鍵合技術(shù),。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實(shí)現(xiàn)高精度的壓印,。熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高 效且靈活的制造技術(shù)，具有非常高的復(fù)制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸,。該系統(tǒng)非常適合將復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高長(zhǎng)寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。

NILPhotonics®能力中心-支持和開(kāi)發(fā)

NILPhotonics能力中心是經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的創(chuàng)新孵化器,。

歡迎各位客戶(hù)來(lái)樣制作,，驗(yàn)證EVG的納米壓印設(shè)備的性能。

EVG是納米壓印光刻（NIL）的市場(chǎng)**設(shè)備供應(yīng)商。四川納米壓印推薦型號(hào)

EVG的納米壓印設(shè)備括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機(jī)以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。晶圓片納米壓印原理

SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術(shù)，可對(duì)小于40 nm *的極小特征進(jìn)行圖案化,，并可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化,。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢(shì),，同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長(zhǎng)期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級(jí)和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的低成本,，大批量替代光刻技術(shù)。

注：*分辨率取決于過(guò)程和模板

如果需要詳細(xì)的信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。 晶圓片納米壓印原理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型的公司,。公司自成立以來(lái),，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié),，公司旗下磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)深受客戶(hù)的喜愛(ài),。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力，努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識(shí),，遵守行業(yè)規(guī)范,，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶(hù)為尊,、服務(wù)為榮,、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念,，全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,。