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干涉膜厚儀24小時在線服務

來源: 發(fā)布時間:2021-02-13

厚度標準:

所有 Filmetrics 厚度標準都是得到驗證可追溯的 NIST 標準。

S-Custom-NIST:在客戶提供的樣品上定制可追溯的 NIST 厚度校準,。 

TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si :厚度標準,,外加調焦區(qū)和單晶硅基準,厚度大約 3100A,,4" 晶圓,。

TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si :厚度標準,外加調焦區(qū)和單晶硅基準,,厚度大約 10000A,,4" 晶圓。

TS-Hardcoat-4μm:丙烯酸塑料硬涂層厚度標準,,厚度大約 4um,,直徑 2"。

TS-Hardcoat-Trans:背面透明的硬涂層,,可用于透射測量。

TS-Parylene-4um:丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標準,,厚度大約 4um ,,直徑2"。

TS-Parylene-8um:硅基上的聚對二甲苯厚度標準,,厚度大約 8um,,23mm x 23mm。

TS-SiO2-4-7200:硅基上的二氧化硅厚度標準,,厚度大約 7200A,,4" 晶圓。

TS-SiO2-4-7200-NIST:可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度標準。

TS-SiO2-6-Multi:多厚度硅基上的二氧化硅標準: 125埃米,,250埃米,,500埃米,1000埃米,,5000埃米,,和 10000埃米 (+/-10%誤差),6英寸晶圓,。TS-SS3-SiO2-8000:專為SS-3樣品平臺設計之二氧化硅厚度標準片,厚度大約為 8000A,。 FSM拉曼的應用:局部應力; 局部化學成分,;局部損傷,。干涉膜厚儀24小時在線服務

F3-CS:

Filmetrics的F3-CS 專門為了微小視野及微小樣品測量設計, 任何人從**操作到研&發(fā)人員都可以此簡易USB供電系統(tǒng)在數(shù)秒鐘內測量如聚對二甲苯和真空鍍膜層厚度.

我們具專利的自動校正功能大幅縮短測量設置並可自動調節(jié)儀器的靈敏度, 使用免手持測量模式時, 只需簡單地將樣品面朝下放置在平臺上測量樣品 , 此時該系統(tǒng)已具備可測量數(shù)百種膜層所必要的一切設置不管膜層是否在透明或不透明基底上.

快速厚度測量可選配FILMeasure厚度測量軟件使厚度測量就像在平臺上放置你的樣品一樣容易, 軟件內建所有常見的電介質和半導體層(包括C,N和HT型聚對二甲苯)的光學常數(shù)(n和k),厚度結果會及時的以直覺的測量結果顯示對于進階使用者,,可以進一步以F3-CS測量折射率, F3-CS可在任何運行Windows XP到 Windows8 64位作業(yè)系統(tǒng)的計算機上運行, USB電纜則提供電源和通信功能. Filmetrics F10-AR膜厚儀現(xiàn)場服務F3-sX 系列測厚范圍:10μm - 3mm,;波長:960-1580nm。

樣品視頻包括硬件和照相機的F20系統(tǒng)視頻,。視頻實時顯示精確測量點,。 不包括SS-3平臺。SampleCam-sXsX探頭攝像機包含改裝的sX探頭光學配件,,但不包含平臺,。StageBase-XY8-Manual-40mm8“×8” 樣品平臺,具有SS-3鏡頭與38mm的精密XY平移聚焦平臺,。能夠升級成電動測繪與自動對焦,。StageBase-XY10-Auto-100mm10“×10” 全電動樣品平臺??梢赃M行100mm高精度XY平移,,包括自動焦距調節(jié)。SS-Microscope- UVX-1顯微鏡(15倍反射式物鏡)及X-Y平臺,。 包含UV光源與照明光纖,。SS-Microscope- EXR-1顯微鏡包含X- Y平臺及照明光纖. 需另選購物鏡. 通常使用顯微鏡內建照明。SS-Trans-Curved用于平坦或彎曲表面的透射平臺,,包括光纖,,和 F10-AR 一起使用。 波長范圍 250nm -2500nm,。T-1SS-3 平臺的透射測量可選件,。包括光纖、平臺轉接器和平臺支架,。 用于平坦的樣品,。WS-300用于小于 300mm 樣品的平移旋轉平臺,。

F50 系列自動化薄膜測繪Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤,,樣品直徑可達450毫米,。(耐用的平臺在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的,,您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法,,并且不受測量點數(shù)量的限制。內建數(shù)十種預定義的測繪圖案,。

不同的 F50 儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的,。 標準的 F50是很受歡迎的產(chǎn)品。 一般較短的波長 (例如,, F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜,。 可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS),。

FSM 413 紅外干涉測量設備

關鍵詞:厚度測量,光學測厚,,非接觸式厚度測量,,硅片厚度,氮化硅厚度,,激光測厚,,近紅外光測厚,TSV, CD, Trench,,砷化鎵厚度,,磷化銦厚度,玻璃厚度測量,,石英厚度,,聚合物厚度, 背磨厚度,上下兩個測試頭,。Michaelson干涉法,,翹曲變形。    

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,,可以給我留言,!

產(chǎn)品名稱:紅外干涉厚度測量設備

·       產(chǎn)品型號:FSM 413EC, FSM 413MOT,F(xiàn)SM 413SA DP,,F(xiàn)SM413C2C, FSM 8108 VITE C2C

如果您需要更多的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器,。 基板材料: 如果薄膜位于粗糙基板 (大多數(shù)金屬) 上的話,,一般不能測量薄膜的折射率。掩模對準膜厚儀特點

不同的 F50 儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。干涉膜厚儀24小時在線服務

F10-ARc:

走在前端 以較低的價格現(xiàn)在可以很容易地測量曲面樣品,,包括眼鏡和其他光學鏡片的防反射涂層, *需其他設備一小部分的的價格就能在幾秒內得到精確的色彩讀值和反射率測量. 您也可選擇升級薄膜厚度測量軟件, 操作上并不需要嚴格的訓練, 您甚至可以直覺的藉由設定任何波長范圍之比較大, **小和平均值.去定義顏色和反射率的合格標準.

容易設定. 易於維護.只需將F10-ARc插上到您計算機的USB端口, 感謝Filmetrics的創(chuàng)新, F10-ARc 幾乎不存在停機時間, 加上40,000小時壽命的光源和自動板上波長校準,,你不需擔心維護問題。 干涉膜厚儀24小時在線服務

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