強大的輪廓儀光電一體軟件

美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換

光機電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速,，結果實時更新

縮放,、定位、平移,、旋轉等三維圖像處理

自主設定測量閾值,，三維處理自動標注

測量模式可根據需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數設置，一鍵式操作,，人機界面?zhèn)€性直觀

個性化軟件應用支持

可進行軟件在線升級和遠程支持服務

10 年硅谷世界500強研發(fā)經驗（BD Medical

Instrument）

光學測量,、軟件系統(tǒng)

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輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標的區(qū)別：

關于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸,、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數。總之,，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。

  但是,，輪廓儀和粗糙度儀關系其實挺密切,，現在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊,，這樣既可以測量輪廓尺寸，又可以測量粗糙度,，市場上典型產品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀,。

  在結構上，輪廓儀基本上都是臺式的,，而粗糙度儀以手持式的居多,，當然也有臺式的。 Nano X輪廓儀技術原理NanoX-8000主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm,。

輪廓儀的**團隊

夏勇博士,，江蘇省雙創(chuàng)人才

15年ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā),、項目管理經驗

SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,，太陽能在線檢測設備

唐壽鴻博士，國家千人****

25年 ADE,，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經驗

KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),，***圖像處理,、算法**

許衡博士,，軟件系統(tǒng)研發(fā)

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光學測量,、軟件系統(tǒng)

岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術支持,，為您排憂解難,。

    比較大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,，其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要，更進一步減少總體成本,。手動式物鏡轉盤能一次搭載四組物鏡，能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應用,。索取技術資料索取報價性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %電腦要求機械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機2592x1944(5百萬像素)系統(tǒng)尺寸,，寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見的選購配件：urionNano30主動式防震臺4微米，2微米,，和100納米多臺階高度標準,。輪廓儀廣泛應用于集成電路制造、MEMS,、航空航天、精密加 工,、表面工程技術,、材料,、太陽能電池技術等領域,。

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉換成電信號,，該電信號經放大和處理，再轉換成數字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線,，測量結果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出,。（來自網絡）

輪廓儀在集成電路的應用：

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示,；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz,，…

器件多層結構臺階高  MEMS 器件多層結構分析,、工藝控制參數分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題

表面三維評定參數由于能更***，更真實的反應零件表面的特征,。輪廓測量輪廓儀值得買

菜單式系統(tǒng)設置,，一鍵式操作，自動數據存儲,。浙江晶片輪廓儀

1）白光輪廓儀的典型應用：

對各種產品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機,。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機,。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率,。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現,。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲,，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。

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岱美儀器技術服務（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄,、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司,。岱美儀器技術服務擁有一支經驗豐富,、技術創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,，半導體,，光通訊生產，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務不斷開拓創(chuàng)新,，追求出色，以技術為先導,，以產品為平臺，以應用為重點,，以服務為保證,，不斷為客戶創(chuàng)造更高價值，提供更優(yōu)服務,。岱美儀器技術服務始終關注自身,，在風云變化的時代，對自身的建設毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術服務在行業(yè)的從容而自信,。