EVG ® 720特征：

體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度

專有SmartNIL ®技術(shù),，多使用聚合物印模技術(shù)

集成式壓印,，UV固化脫模和工作印模制造

盒帶到盒帶自動(dòng)處理以及半自動(dòng)研發(fā)模式

可選的頂部對(duì)準(zhǔn)

可選的迷你環(huán)境

適用于所有市售壓印材料的開(kāi)放平臺(tái)

從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴(kuò)展性

系統(tǒng)外殼,，可實(shí)現(xiàn)比較好過(guò)程穩(wěn)定性和可靠性技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑（基板尺寸）

75至150毫米

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：SmartNIL ®

曝光源：大功率LED（i線）> 400 mW /cm2

對(duì)準(zhǔn)：可選的頂部對(duì)準(zhǔn)

自動(dòng)分離：支持的

迷你環(huán)境和氣候控制：可選的

工作印章制作：支持的

EVG開(kāi)拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù),，擁有多年技術(shù),，掌握了NIL,，并已在不斷增長(zhǎng)的基板尺寸上實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn),。上海納米壓印聯(lián)系電話

    在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心,，雙方合作研發(fā)用于制造光學(xué)傳感器的新材料,，以及適用于大眾化市場(chǎng)的晶圓級(jí)光學(xué)元件。（奧地利）與WINDACH（德國(guó)）,，2019年11月27日――EV集團(tuán)(EVG)這一全球**的為微機(jī)電系統(tǒng),、納米技術(shù)與半導(dǎo)體市場(chǎng)提供晶圓鍵合與光刻設(shè)備的供應(yīng)商，***宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級(jí)光學(xué)元件(WLO)領(lǐng)域開(kāi)展合作,。這兩家公司均在光學(xué)傳感器制造領(lǐng)域處于**地位,。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設(shè)備與DELO先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料，在工業(yè),，汽車,，消費(fèi)類電子產(chǎn)品市場(chǎng)開(kāi)發(fā)與應(yīng)用新型光學(xué)設(shè)備，例如生物特征身份認(rèn)證,，面部識(shí)別,。目前雙方正在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心（位于EVG總部，奧地利Florian）以及DELO在德國(guó)Windach的總部展開(kāi)合作,。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期,。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應(yīng)鏈的客戶與合作伙伴提供了開(kāi)放的創(chuàng)新孵化器,，旨在通過(guò)合作來(lái)縮短創(chuàng)新設(shè)備與應(yīng)用的研發(fā)與推廣周期。該中心的基礎(chǔ)設(shè)施包括**技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設(shè)備,，例如分步重復(fù)母版,，透鏡模制，以及EVG的SmartNIL?技術(shù),，晶圓鍵合與必要的測(cè)量設(shè)備,。臺(tái)積電納米壓印可以試用嗎SmartNIL的主要技術(shù)是可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結(jié)果。

曲面基底上的納米結(jié)構(gòu)在許多領(lǐng)域都有著重要應(yīng)用,，例如仿生學(xué),、柔性電子學(xué)和光學(xué)器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)通常采用剛性模板,，可以實(shí)現(xiàn)亞10nm的分辨率,，但是模板不能彎折，無(wú)法在曲面基底上壓印制備納米結(jié)構(gòu),。而采用彈性模板的軟壓印技術(shù)可以在無(wú)外界提供壓力下與曲面保形接觸,，實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)在非平面基底上的壓印復(fù)制，但是由于彈性模板的楊氏模量較低,，所以壓印結(jié)構(gòu)的分辨率和精度都受到限制,。基于目前納米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀,，結(jié)合傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)和軟壓印技術(shù),，中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所團(tuán)隊(duì)發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復(fù)合軟壓印模板的制備方法，該模板包含剛性結(jié)構(gòu)層和彈性基底層,。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò),，侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系我們進(jìn)行刪除，謝謝?。?

    ”EV集團(tuán)的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說(shuō),，“通過(guò)與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作，例如DELO,，我們能夠進(jìn)一步提高效率,，作為與工藝和設(shè)備**們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?！薄癊VG和DELO分別是晶圓級(jí)光學(xué)儀器與NIL設(shè)備與光學(xué)材料的技術(shù)與市場(chǎng)**企業(yè),。雙方在將技術(shù)與工藝流程應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗(yàn),”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說(shuō)道?！巴ㄟ^(guò)合作，我們將提供自己獨(dú)特的技術(shù),，將晶圓級(jí)工藝技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)器件和光電器件制造中,，EVG也成為我們***產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的理想合作伙伴,。這種合作還將使我們以應(yīng)用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務(wù)。"晶圓級(jí)光學(xué)元件的應(yīng)用解決方案EVG的晶圓級(jí)光學(xué)器件解決方案為移動(dòng)式消費(fèi)電子產(chǎn)品提供多種新型的光學(xué)傳感設(shè)備,。主要的例子是：3D感應(yīng),，飛行時(shí)間，結(jié)構(gòu)光,，生物特征身份認(rèn)證,，面部識(shí)別,虹膜掃描，光學(xué)指紋,，頻譜檢測(cè),，環(huán)境感應(yīng)與紅外線成像。其它應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車照明,，光地毯,，平視顯示器，車內(nèi)感應(yīng),，激光雷達(dá),，內(nèi)窺鏡照相機(jī)醫(yī)學(xué)成像，眼科設(shè)備與手術(shù)機(jī)器人,。EVG的晶圓級(jí)光學(xué)儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持,。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機(jī)上找到。EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。

EVG ® 620 NT特征：

頂部和底部對(duì)準(zhǔn)能力

高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)

自動(dòng)楔形補(bǔ)償序列

電動(dòng)和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念（無(wú)限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問(wèn)權(quán)限，不同的用戶界面語(yǔ)言）

敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具

臺(tái)式或帶防震花崗巖臺(tái)的單機(jī)版

EVG ® 620 NT附加功能：

鍵對(duì)準(zhǔn)

紅外對(duì)準(zhǔn)

SmartNIL

μ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑（基板尺寸）

標(biāo)準(zhǔn)光刻：比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL：比較大150毫米的碎片

SmartNIL ®：在100毫米范圍

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：軟UV-NIL＆SmartNIL

®

曝光源：汞光源或紫外線LED光源

對(duì)準(zhǔn)：

軟NIL：≤±0.5 μm

SmartNIL ®：≤±3微米

自動(dòng)分離：柔紫外線NIL：不支持,；SmartNIL

®：支持

工作印章制作：柔軟的UV-NIL：外部：SmartNIL ®：支持

EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng),。廣西納米壓印試用

EVG提供不同的***積壓印系統(tǒng)，大面積壓印機(jī),，微透鏡成型設(shè)備以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。上海納米壓印聯(lián)系電話

關(guān)于WaveOptics       

      WaveOptics是衍射波導(dǎo)的全球**設(shè)計(jì)商和制造商，衍射波導(dǎo)是可穿戴AR設(shè)備中的關(guān)鍵光學(xué)組件,。

      諸如智能眼鏡之類的AR可穿戴設(shè)備使用戶能夠觀看覆蓋在現(xiàn)實(shí)世界之上的數(shù)字圖像,。有兩個(gè)關(guān)鍵元素可讓您看到這些圖像-微型投影儀之類的光源，以及將圖像從投影儀傳遞到用戶眼睛中的一種方式,。

WaveOptics的波導(dǎo)技術(shù)可傳輸來(lái)自光源的光波并將其投射到用戶的眼睛中,。該技術(shù)可產(chǎn)生大的眼框，雙目觀察和高視野,。眼圖框（查看窗口）是從中可以看到完整圖像的AR顯示器的尺寸-請(qǐng)參見(jiàn)下圖,。WaveOptics的波導(dǎo)提供清晰，無(wú)失真的文本以及穩(wěn)定的圖像,。

      WaveOptics技術(shù)旨在用于工業(yè),，企業(yè)和消費(fèi)者市場(chǎng)的沉浸式AR體驗(yàn),。該公司的目標(biāo)是，憑借其獨(dú)特的技術(shù)和專業(yè)知識(shí),，其波導(dǎo)將成為所有AR可穿戴設(shè)備中使用的he心光學(xué)組件,，以實(shí)現(xiàn)****的制造可擴(kuò)展性和視覺(jué)性能，并為眾多應(yīng)用提供多功能性,。 上海納米壓印聯(lián)系電話

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,，是一家磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì),，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)不斷開(kāi)拓創(chuàng)新,，追求出色,，以技術(shù)為先導(dǎo)，以產(chǎn)品為平臺(tái),，以應(yīng)用為重點(diǎn),，以服務(wù)為保證，不斷為客戶創(chuàng)造更高價(jià)值，提供更優(yōu)服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風(fēng)云變化的時(shí)代,，對(duì)自身的建設(shè)毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信。