FSM 413SP

AND FSM 413C2C 紅外干涉測量設備

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍寶石,、砷化鎵,、磷化銦、碳化硅,、玻璃,、石  英、聚合物…………

應用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸、深度,、側壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側壁角度...

FSM413SP半自動機臺人工取放芯片

Wafer 厚度3D圖形

FSM413C2C Fully

automatic 全自動機臺人工取放芯片

可適配Cassette、SMIF POD,、FOUP.

F50 系列自動化薄膜測繪Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤,，樣品直徑可達450毫米,。(耐用的平臺在我們的量產系統(tǒng)能夠執(zhí)行數百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的,，您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法,，并且不受測量點數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案,。

不同的 F50 儀器是根據波長范圍來加以區(qū)分的,。 標準的 F50是很受歡迎的產品,。 一般較短的波長 (例如， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,，而較長的波長則可以用來測量更厚,、更不平整以及更不透明的薄膜。 玻璃膜厚儀可以試用嗎F40-UV范圍：4nm-40μm,，波長：190-1100nm,。

F54自動化薄膜測繪Filmetrics F54 系列的產品能以一個電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米

可選擇數十種內建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數量限制之測量點.*需具備基本電腦技能的任何人可在數分鐘內自行建立配方

F54 自動化薄膜測繪只需聯結設備到您運行Windows?系統(tǒng)計算機的USB端口, 可在幾分鐘輕松設置

不同的型號主要是由厚度和波長范圍作為區(qū)別。通常較薄的膜需要較短波長作測量(如F54-UV) 用來測量較薄的膜,而較長的波長可以用來測量更厚,，更粗糙,，或更不透明的薄膜

Total Thickness Variation (TTV) 應用

規(guī)格:

測量方式:

紅外干涉(非接觸式)

樣本尺寸:

50、75,、100,、200、300 mm,， 也可以訂做客戶需要的產品尺寸

測量厚度:

15 — 780 μm (單探頭)

     3 mm (雙探頭總厚度測量)

掃瞄方式:

半自動及全自動型號,

 另2D/3D掃瞄(Mapping)可選

襯底厚度測量: TTV,、平均值、*小值,、*大值,、公差...

可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS)

重復性:

0.1 μm (1 sigma)單探頭*

  0.8 μm

(1 sigma)雙探頭*

分辨率:

 10 nm

請訪問我們的中文官網了解更多關于本產品的信息。

濾光片整平光譜響應。

ND#0.5 衰減整平濾波器.單倍整平濾波器用于改善可見光光譜均勻度 + ND#0.5 衰減整平濾波器.

ND#1 衰減整平濾波器.單倍整平濾波器用于改善可見光光譜均勻度 + ND#1 衰減整平濾波器.

ND#2 衰減整平濾波器.單倍整平濾波器用于改善可見光光譜均勻度 + ND#2 衰減整平濾波器.

420nm 高通濾波器.420nm 高通濾波器於濾波器架.

515nm 高通濾波器.515nm 高通濾波器於濾波器架.

520nm 高通濾波器 +ND1.520nm 高通濾波器 + ND#1 十倍衰減整平濾波器.

520nm 高通濾波器 + ND#2520nm 高通濾波器 + ND#2 一百倍衰減整平濾波器.

550nm 高通濾波器550nm 高通濾波器於濾波器架. 測量SU-8 其它厚光刻膠的厚度有特別重要的應用,。臺積電膜厚儀代理價格

厚度變化 (TTV) ,；溝槽深度；過孔尺寸,、深度,、側壁角度。原裝進口膜厚儀質保期多久

鏡頭組件Filmetrics 提供幾十種不同鏡頭配置,。訂制專門用途 的鏡片一般在幾天之內可以完成,。

LA-GL25-25-30-EXR用于 60-1000mm 工作距離的直徑 1" 鏡頭組件，30mm 焦距鏡頭,。KM-GL25用于直徑 1" 鏡頭的簡化動力支架。 可以在兩個軸上斜向調節(jié),。 8-32 安裝螺紋,。KM-F50用于直徑 0.5" 鏡頭的簡化動力支架。 還可以用于 F50,?？商峁┎煌溺R頭組合,。LA-F50/SS-13-20-UVX小光斑 (200um) 選項，可見光, 近紅外或紫外線,。

如果您想要了解更多的信息,，請聯系我們岱美儀器。 原裝進口膜厚儀質保期多久

岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家磁記錄,、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司,，致力于發(fā)展為創(chuàng)新務實,、誠實可信的企業(yè)。岱美儀器技術服務深耕行業(yè)多年,，始終以客戶的需求為向導,，為客戶提供***的磁記錄，半導體,，光通訊生產,，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術服務不斷開拓創(chuàng)新,，追求出色,，以技術為先導，以產品為平臺,，以應用為重點,，以服務為保證，不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,，提供更優(yōu)服務,。岱美儀器技術服務創(chuàng)始人陳玲玲,，始終關注客戶，創(chuàng)新科技,，竭誠為客戶提供良好的服務,。