滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng),， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,，操作更簡單，更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)  

個性化: 定制化客戶報告模式 

更好用戶體驗： 迅捷的售后服務(wù),，個性化應(yīng)用軟件支持

1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準(zhǔn),，具有穩(wěn)定性好,、承載大、**磨損等優(yōu)點(diǎn),，達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度,。  2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率，準(zhǔn)確度高,，穩(wěn)定性好,。（網(wǎng)絡(luò)） 在結(jié)構(gòu)上，輪廓儀基本上都是臺式的,，而粗糙度儀以手持式的居多,，當(dāng)然也有臺式的。超納輪廓儀當(dāng)?shù)貎r格

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺階高度，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測,，檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。 干涉儀輪廓儀技術(shù)服務(wù)共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。

    輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測量薄膜厚度,。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,，請點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,，而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖),。這樣，標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測量誤差,。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術(shù)，不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng),。

表面三維輪廓儀對精密加工的作用：

一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,，**終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。

二,、提高效率：

  智能化檢測,，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),，即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點(diǎn),，**提高加工效率,。

三、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D,、3D參數(shù)，無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),，都可以提供***的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù),。

四、穩(wěn)定性強(qiáng),，高重復(fù)性：

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性,，將測量誤差降低到亞納米級別。 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度,、表面輪廓,、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS、航空航天,、精密加

工,、表面工程技術(shù)、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng)， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,，操作更簡單,，更方便  

配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動識別產(chǎn)品信息。超納輪廓儀當(dāng)?shù)貎r格

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：

邁爾爾遜

1852-1931

美國物理學(xué)家

曾從事光速的精密測量工作  

邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準(zhǔn),。

1881年,，他發(fā)明了一種用以測量微小長度，折射率和光波波長的干涉儀,，邁克爾遜干涉儀,。

他和美國物理學(xué)家莫雷合作，進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實驗,，否定了以太de 存在,，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ)。

由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎,。 超納輪廓儀當(dāng)?shù)貎r格

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位，是一家磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心,，為用戶帶來良好體驗,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲，始終關(guān)注客戶,，創(chuàng)新科技,，竭誠為客戶提供良好的服務(wù)。