FSM 413MOT 紅外干涉測(cè)量設(shè)備：

適用于所有可讓紅外線通過(guò)的材料：硅,、藍(lán)寶石、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅、玻璃,、石  英,、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過(guò)孔尺寸,、深度、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導(dǎo)體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測(cè)量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

如果您想了解更多關(guān)于FSM膜厚儀的技術(shù)問(wèn)題,，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。 F3-sX系列使用近紅外光來(lái)測(cè)量薄膜厚度,，即使有許多肉眼看來(lái)不透光(例如半導(dǎo)體),。Filmetrics F-HC膜厚儀合理價(jià)格

F30包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置光斑尺寸10微米的單點(diǎn)測(cè)量平臺(tái)FILMeasure 8反射率測(cè)量軟件Si 參考材料FILMeasure **軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)

額外的好處：每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過(guò)130種材料庫(kù), 隨著不同應(yīng)用更超過(guò)數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃

型號(hào)厚度范圍*波長(zhǎng)范圍

F3-s 980:10μm - 1mm  960-1000nm

F3-s1310:15μm - 2mm 1280-1340nm 

F3-s1550:25μm - 3mm 1520-1580nm

*取決于薄膜種類 工藝薄膜膜厚儀當(dāng)?shù)貎r(jià)格測(cè)量厚度: 15 — 780 μm (單探頭) ； 3 mm (雙探頭總厚度測(cè)量),。

電介質(zhì)成千上萬(wàn)的電解質(zhì)薄膜被用于光學(xué),，半導(dǎo)體，以及其它數(shù)十個(gè)行業(yè), 而Filmetrics的儀器幾乎可以測(cè)量所有的薄膜,。常見(jiàn)的電介質(zhì)有:二氧化硅 – **簡(jiǎn)單的材料之一, 主要是因?yàn)樗诖蟛糠止庾V上的無(wú)吸收性 (k=0),， 而且非常接近化學(xué)計(jì)量 (就是說(shuō)，硅：氧非常接近 1:2),。 受熱生長(zhǎng)的二氧化硅對(duì)光譜反應(yīng)規(guī)范,，通常被用來(lái)做厚度和折射率標(biāo)準(zhǔn)。 Filmetrics能測(cè)量3nm到1mm的二氧化硅厚度,。氮化硅 – 對(duì)此薄膜的測(cè)量比很多電介質(zhì)困難,，因?yàn)楣瑁旱嚷释ǔ２皇?：4, 而且折射率一般要與薄膜厚度同時(shí)測(cè)量。 更麻煩的是,，氧常常滲入薄膜,，生成一定程度的氮氧化硅，增大測(cè)量難度,。 但是幸運(yùn)的是,，我們的系統(tǒng)能在幾秒鐘內(nèi) “一鍵” 測(cè)量氮化硅薄膜完整特征!

非晶態(tài)多晶硅硅元素以非晶和晶體兩種形式存在, 在兩級(jí)之間是部分結(jié)晶硅。部分結(jié)晶硅又被叫做多晶硅,。

非晶硅和多晶硅的光學(xué)常數(shù)(n和k)對(duì)不同沉積條件是獨(dú)特的,，必須有精確的厚度測(cè)量,。 測(cè)量厚度時(shí)還必須考慮粗糙度和硅薄膜結(jié)晶可能的風(fēng)化。

Filmetrics 設(shè)備提供的復(fù)雜的測(cè)量程序同時(shí)測(cè)量和輸出每個(gè)要求的硅薄膜參數(shù),， 并且“一鍵”出結(jié)果,。

測(cè)量方式: 紅外干涉(非接觸式)。

F10-ARc:

走在前端 以較低的價(jià)格現(xiàn)在可以很容易地測(cè)量曲面樣品,，包括眼鏡和其他光學(xué)鏡片的防反射涂層, *需其他設(shè)備一小部分的的價(jià)格就能在幾秒內(nèi)得到精確的色彩讀值和反射率測(cè)量. 您也可選擇升級(jí)薄膜厚度測(cè)量軟件, 操作上并不需要嚴(yán)格的訓(xùn)練, 您甚至可以直覺(jué)的藉由設(shè)定任何波長(zhǎng)范圍之比較大, **小和平均值.去定義顏色和反射率的合格標(biāo)準(zhǔn).

容易設(shè)定. 易於維護(hù).只需將F10-ARc插上到您計(jì)算機(jī)的USB端口, 感謝Filmetrics的創(chuàng)新, F10-ARc 幾乎不存在停機(jī)時(shí)間, 加上40,000小時(shí)壽命的光源和自動(dòng)板上波長(zhǎng)校準(zhǔn),，你不需擔(dān)心維護(hù)問(wèn)題。 F10-AR在用戶定義的任何波長(zhǎng)范圍內(nèi)都能進(jìn)行比較低,、比較高和平均反射測(cè)試,。光刻膠膜厚儀要多少錢

F20-UV測(cè)厚范圍：1nm - 40μm；波長(zhǎng)：190-1100nm,。Filmetrics F-HC膜厚儀合理價(jià)格

    F20系列是世界上****的臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng),，只需按下一個(gè)按鈕，不到一秒鐘即可同時(shí)測(cè)量厚度和折射率,。設(shè)置也非常簡(jiǎn)單,只需把設(shè)備連接到您運(yùn)行Windows?系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)USB端口,并連接樣品平臺(tái)就可以了,。F20系列不同型號(hào)的選擇，主要取決于您需要測(cè)量的薄膜厚度（確定所需的波長(zhǎng)范圍）,。型號(hào)厚度范圍*波長(zhǎng)范圍F2015nm-70μm380-1050nmF20-EXR15nm-250μm380-1700nmF20-NIR100nm-250μm950-1700nmF20-UV1nm-40μm190-1100nmF20-UVX1nm-250μm190-1700nmF20-XTμm-450μm1440-1690nm*取決于薄膜種類Filmetrics膜厚測(cè)試儀通過(guò)分析薄膜的反射光譜來(lái)測(cè)量薄膜的厚度,，通過(guò)非可見(jiàn)光的測(cè)量，可以測(cè)量薄至1nm或厚至13mm的薄膜,。測(cè)量結(jié)果可在幾秒鐘顯示：薄膜厚度,、顏色、折射率甚至是表面粗糙度,。1.有五種不同波長(zhǎng)選擇(波長(zhǎng)范圍從紫外220nm至近紅外1700nm)2.比較大樣品薄膜厚度的測(cè)量范圍是：3nm～25um3.精度高于,、氧化物、氮化物,；,、Polyimides,；3.光電鍍膜應(yīng)用:硬化膜、抗反射膜,、濾波片。1.光源有壽命,，不用時(shí)請(qǐng)關(guān)閉2.光纖易損,，不要彎折，不要頻繁插拔3.精密儀器,。Filmetrics F-HC膜厚儀合理價(jià)格

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,，是一家磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì),，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對(duì)用戶產(chǎn)品上的貼心,，為用戶帶來(lái)良好體驗(yàn),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲，始終關(guān)注客戶,，創(chuàng)新科技,，竭誠(chéng)為客戶提供良好的服務(wù),。