該技術用于封裝敏感的電子組件,以保護它們免受損壞,,污染,,濕氣和氧化或其他不良化學反應。陽極鍵合尤其與微機電系統(tǒng)(MEMS)行業(yè)相關聯(lián),,在該行業(yè)中,,陽極鍵合用于保護諸如微傳感器的設備。陽極鍵合的主要優(yōu)點是,,它可以產(chǎn)生牢固而持久的鍵合,,而無需粘合劑或過高的溫度,而這是將組件融合在一起所需要的,。陽極鍵合的主要缺點是可以鍵合的材料范圍有限,,并且材料組合還存在其他限制,因為它們需要具有類似的熱膨脹率系數(shù)-也就是說,,它們在加熱時需要以相似的速率膨脹,,否則差異膨脹可能會導致應變和翹曲。
而EVG的鍵合機所提供的技術能夠比較有效地解決陽極鍵合的問題,,如果需要了解,,請點擊:鍵合機。 EVG的GEMINI系列是自動化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng),。值得買鍵合機
封裝技術對微機電系統(tǒng) (micro-electro-mechanical system,MEMS) 器件尺寸及功能的影響巨大,,已成為 MEMS技術發(fā)展和實用化的關鍵技術[1]。實現(xiàn)封裝的技術手段很多,,其中較關鍵的工藝步驟就是鍵合工藝,。隨著 MEMS 技術的發(fā)展,越來越多的器件封裝需要用到表面帶有微結構的硅片鍵合,,然而MEMS器件封裝一般采用硅—硅直接鍵合( silicon directly bonding,,SDB) 技術[2]。由于表面有微結構的硅片界面已經(jīng)受到極大的損傷,,其平整度和光滑度遠遠達不到SDB的要求,,要進行復雜的拋光處理,這**加大了工藝的復雜性和降低了器件的成品率[3],。BONDSCALE鍵合機要多少錢EVG鍵合機軟件是基于Windows的圖形用戶界面的設計,,注重用戶友好性,可輕松引導操作員完成每個流程步驟。
EVG?501是晶圓鍵合機系統(tǒng) 應用:適用于學術界和工業(yè)研究的多功能手動晶圓鍵合系統(tǒng) EVG501技術數(shù)據(jù): EVG501是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),,可以處理從單個芯片(碎片)到150mm(200mm鍵合室為200mm)的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,,例如陽極,,玻璃粉,焊料,,共晶,,瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進行快速便捷的重新工具化,,轉換時間不到5分鐘,。這種多功能性是大學,研發(fā)機構或小批量生產(chǎn)的理想選擇,。EVG大批量制造工具(例如EVGGEMINI)上的鍵合室設計相同,,鍵合程序易于轉移,可輕松擴大生產(chǎn)規(guī)模,。
業(yè)內(nèi)主流鍵合工藝為:黏合劑,,陽極,直接/熔融,,玻璃料,,焊料(包括共晶和瞬態(tài)液相)和金屬擴散/熱壓縮。采用哪種黏合工藝取決于應用,。EVG500系列可靈活配置選擇以上的所有工藝,。
奧地利的EVG擁有超過25年的晶圓鍵合機制造經(jīng)驗,擁有2000多擁有多年晶圓鍵合經(jīng)驗的員工,,同時,,GEMINI是使用晶圓鍵合的HVM的行業(yè)標準。
根據(jù)型號和加熱器尺寸,,EVG500系列可以用于碎片和50 mm至300 mm的晶圓,。這些工具的靈活性非常適合中等批量生產(chǎn)、研發(fā),,并且可以通過簡單的方法進行大批量生產(chǎn),,因為鍵合程序可以轉移到EVG GEMINI大批量生產(chǎn)系統(tǒng)中。 旋涂模塊-適用于GEMINI和GEMINI FB用于在晶圓鍵合之前施加粘合劑層,。
EVG?850DB自動解鍵合機系統(tǒng) 全自動解鍵合,,清潔和卸載薄晶圓 特色 技術數(shù)據(jù) 在全自動解鍵合機中,經(jīng)過處理的臨時鍵合晶圓疊層被分離和清洗,,而易碎的設備晶圓始終在整個工具中得到支撐,。支持的剝離方法包括UV激光,熱剝離和機械剝離。使用所有解鍵合方法,,都可以通過薄膜框架安裝或薄晶圓處理器來支撐設備晶圓,。 特征 在有形和無形的情況下,都能可靠地處理變薄的,,彎曲和翹曲的晶片 自動清洗解鍵合晶圓 程序控制系統(tǒng) 實時監(jiān)控和記錄所有相關過程參數(shù) 自動化工具中完全集成的SECS/GEM界面 適用于不同基板尺寸的橋接工具功能 模塊化的工具布局→根據(jù)特定工藝優(yōu)化了產(chǎn)量 技術數(shù)據(jù) 晶圓直徑(基板尺寸) 高達300毫米 高達12英寸的薄膜面積 組態(tài) 解鍵合模塊 清潔模塊 薄膜裱框機 選件 ID閱讀 多種輸出格式 高形貌的晶圓處理 翹曲的晶圓處理GEMINI FB XT適用于諸如存儲器堆疊,,3D片上系統(tǒng)(SoC),背面照明的CMOS圖像傳感器堆疊和芯片分割等應用,。陜西鍵合機當?shù)貎r格
在不需重新配置硬件的情況下,,EVG鍵合機可以在真空下執(zhí)行SOI / SDB(硅的直接鍵合)預鍵合。值得買鍵合機
用晶圓級封裝制造的組件被***用于手機等消費電子產(chǎn)品中,。這主要是由于市場對更小,,更輕的電子設備的需求,這些電子設備可以以越來越復雜的方式使用,。例如,,除了簡單的通話外,許多手機還具有多種功能,,例如拍照或錄制視頻,。晶圓級封裝也已用于多種其他應用中。例如,,它們用于汽車輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng),,可植入醫(yī)療設備,***數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)等,。
晶圓級封裝還可以減小封裝尺寸,,從而節(jié)省材料并進一步降低生產(chǎn)成本。然而,,更重要的是,,減小的封裝尺寸允許組件用于更***的高級產(chǎn)品中。晶圓級封裝的主要市場驅動因素之一是需要更小的組件尺寸,,尤其是減小封裝高度,。 值得買鍵合機
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