NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報(bào)警,，急停等功能,，報(bào)警信息可儲(chǔ)存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快
表面三維微觀形貌測(cè)量的意義
在生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有**直接的影響，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更***,，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要。通過兌三維形貌的測(cè)量可以比較***的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn),。
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種,，其中以非接觸式測(cè)量方法為主。
輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加 工,、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。晶片輪廓儀參數(shù)
輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器，儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)，或放大的實(shí)際輪廓曲線,，測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機(jī)輸出。（來自網(wǎng)絡(luò)）
輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：
封**ump測(cè)量
視場(chǎng)：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測(cè)位置：樣品局部
面減薄表面粗糙度分析
封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析：2D, 3D顯示,；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz,，…
器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高 MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析
激光隱形切割工藝控制 世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,，**地縮
短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題
集成電路輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié).
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：
晶圓的IC制造過程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸。
白光輪廓儀的典型應(yīng)用：
對(duì)各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺(tái)階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質(zhì),，半導(dǎo)體,，和金屬薄膜的厚度和折射率。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測(cè)量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測(cè)量從薄膜垂直反射的光,。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術(shù)在成本,，復(fù)雜度，和測(cè)量能力上的不同,。由于橢偏儀的光從一個(gè)角度入射,，所以一定要分析反射光的偏振和強(qiáng)度，使得橢偏儀對(duì)超薄和復(fù)雜的薄膜堆有較強(qiáng)的測(cè)量能力,。然而,，偏振分析意味著需要昂貴的精密移動(dòng)光學(xué)儀器。光譜反射儀測(cè)量的是垂直光,，它忽略偏振效應(yīng)（絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱）,。因?yàn)椴簧婕叭魏我苿?dòng)設(shè)備，光譜反射儀成為簡(jiǎn)單低成本的儀器,。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析,。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的優(yōu)先,，而橢偏儀側(cè)重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之間,，兩種技術(shù)都可用,。而且具有快速，簡(jiǎn)便,，成本低特點(diǎn)的光譜反射儀通常是更好的選擇,。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測(cè)量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測(cè)量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>。物鏡是輪廓儀****的部件,， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,。
輪廓儀的**團(tuán)隊(duì)
夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才
15年ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā),、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)
SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人，太陽能在線檢測(cè)設(shè)備
唐壽鴻博士,，國(guó)家千人****
25年 ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)
KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān)，***圖像處理,、算法**
許衡博士,，軟件系統(tǒng)研發(fā)
10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical
Instrument）
光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)
岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,，為您排憂解難,。 輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制），生物,、醫(yī)藥新技術(shù),，微流控器件。3D形貌輪廓儀售后服務(wù)
NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um,，重復(fù)精度 1um,。晶片輪廓儀參數(shù)
輪廓儀的性能
測(cè)量模式
移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）
樣 品 臺(tái)
150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)（可選配）
XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°
可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)
CCD 相機(jī)像素
標(biāo)配：1280×960
視場(chǎng)范圍
560×750um（10×物鏡）
具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)
光學(xué)系統(tǒng)
同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,，拓展達(dá) 10mm )
縱向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重復(fù)性* 0.005nm，1σ
臺(tái)階測(cè)量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％,；重復(fù)性 ≤0.1%,，1σ
橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）
檢測(cè)速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 晶片輪廓儀參數(shù)
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司,，是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì),、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司,。公司自創(chuàng)立以來，投身于磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā),，是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念，影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風(fēng)云變化的時(shí)代，對(duì)自身的建設(shè)毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。