HERCULES ® NIL特征：

全自動(dòng)UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺(tái),，具有多達(dá)八個(gè)可交換過(guò)程模塊（壓印和預(yù)處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀,，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過(guò)程和模板

HERCULES ® NIL技術(shù)數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）：100至200毫米/ 200和300毫米

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：SmartNIL ®

曝光源：大功率LED（i線(xiàn)）> 400 mW /cm2

對(duì)準(zhǔn)：≤±3微米

自動(dòng)分離：支持的

前處理：提供所有預(yù)處理模塊

迷你環(huán)境和氣候控制：可選的

工作印章制作：支持的

步進(jìn)重復(fù)納米壓印光刻可以從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板。光刻納米壓印售后服務(wù)

EVG ® 7200 LA大面積SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統(tǒng)

用于大面積****的共形納米壓印光刻,。

EVG7200大面積UV納米壓印系統(tǒng)使用EVG專(zhuān)有且經(jīng)過(guò)量證明的SmartNIL技術(shù),，將納米壓印光刻（NIL）縮放為第三代（550 mm x 650 mm）面板尺寸的基板。對(duì)于不能減小尺寸的顯示器,，線(xiàn)柵偏振器,，生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用，至關(guān)重要的是通過(guò)增加圖案面積來(lái)提高基板利用率,。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟(jì)有效的方法,，因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)系統(tǒng)的限制，并且可以為**小的結(jié)構(gòu)提供比較好的圖案保真度,。

SmartNIL利用非常強(qiáng)大且可控的加工工藝,，提供了低至40 nm *的出色保形壓印結(jié)果。憑借獨(dú)特且經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的設(shè)備功能（包括****的易用性）以及高水平的工藝專(zhuān)業(yè)知識(shí),，EVG通過(guò)將納米壓印提升到一個(gè)新的水平來(lái)滿(mǎn)足行業(yè)需求,。

*分辨率取決于過(guò)程和模板 納米壓印試用EVG的納米壓印設(shè)備已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為第三代（550 mm x 650 mm）的基板上實(shí)現(xiàn)。

HERCULES®NIL：完全集成的納米壓印光刻解決方案,，可實(shí)現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn)

■批量生產(chǎn)低至40 nm的結(jié)構(gòu)或更小尺寸（分辨率取決于過(guò)程和模板）

■結(jié)合了預(yù)處理（清潔/涂布/烘烤/冷卻）和SmartNIL®技術(shù)

■全自動(dòng)壓印和受控的低力分離,，可很大程度地重復(fù)使用工作印章

■具備工作印章制造能力

EVG®770：連續(xù)重復(fù)的納米壓印光刻技術(shù)，可進(jìn)行有效的母版制作

■用于晶圓級(jí)光學(xué)器件的微透鏡的高 效母模制造,，直至SmartNIL®的納米結(jié)構(gòu)

■不同類(lèi)型的母版的簡(jiǎn)單實(shí)現(xiàn)

■可變的光刻膠分配模式

■分配,，壓印和脫模過(guò)程中的實(shí)時(shí)圖像

■用于壓印和脫模的原位力控制

HERCULES NIL 300 mm提供了市場(chǎng)上**的納米壓印功能，具有較低的力和保形壓印,，快速的高功率曝光和平滑的壓模分離,。該系統(tǒng)支持各種設(shè)備和應(yīng)用程序的生產(chǎn)，包括用于增強(qiáng)/虛擬現(xiàn)實(shí)（AR / VR）頭戴式耳機(jī)的光學(xué)設(shè)備,，3D傳感器,，生物醫(yī)學(xué)設(shè)備，納米光子學(xué)和等離激元學(xué),。

HERCULES ® NIL特征：

全自動(dòng)UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺(tái),，具有多達(dá)八個(gè)可交換過(guò)程模塊（壓印和預(yù)處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過(guò)程和模板

EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)是基于該公司市場(chǎng)**的晶圓鍵合技術(shù),。

    納米壓印微影技術(shù)可望優(yōu)先導(dǎo)入LCD面板領(lǐng)域原本計(jì)劃應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(shù)(Nano-ImpLithography,；NIL)，現(xiàn)將率先應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)制程中,。NIL為次世代圖樣形成技術(shù),。據(jù)ETNews報(bào)導(dǎo)，南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組,，未確認(rèn)NIL設(shè)備實(shí)際圖樣形成能力,，直接參訪海外NIL設(shè)備廠。該制程研發(fā)小組透露，若引進(jìn)相關(guān)設(shè)備,，將可提升面板性能,。并已展開(kāi)具體供貨協(xié)商。NIL是以刻印圖樣的壓印機(jī),，像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程,。在基板上涂布UV感光液后，再以壓印機(jī)接觸施加壓力,，印出面板圖樣,。之后再經(jīng)過(guò)蝕刻制程形成圖樣。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,，不需再另外貼附偏光薄膜,。雖然在面板制程中需增加NIL、蝕刻制程,，但省落偏光膜貼附制程,，可維持同樣的生產(chǎn)成本。偏光膜會(huì)吸收部分光線(xiàn)降低亮度,。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,，將不會(huì)發(fā)生降低亮度的情況。通常面板分辨率越高,，因配線(xiàn)較多,，較難確保開(kāi)口率(ApertureRatio)。EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng),。安徽納米壓印供應(yīng)商家

IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級(jí)透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。光刻納米壓印售后服務(wù)

    面板廠為補(bǔ)償較低的開(kāi)口率，多運(yùn)用在背光模塊搭載較多LED的技術(shù),，但此作法的缺點(diǎn)是用電量較高,。若運(yùn)用NIL制程，可確保適當(dāng)?shù)拈_(kāi)口率,，降低用電量,。利用一般曝光設(shè)備也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光設(shè)備一次可形成的圖樣面積較小,。若要制造55吋面板,，需要經(jīng)過(guò)數(shù)十次的曝光制程。不僅制程時(shí)間長(zhǎng),，經(jīng)過(guò)多次曝光后,，在圖樣間會(huì)形成細(xì)微的縫隙，無(wú)法完整顯示影像,。若將NIL技術(shù)應(yīng)用在5代設(shè)備,，可一次形成55吋,、60吋面板的偏光膜圖樣。在8代基板可制造6片55吋面板,，6次的壓印接觸可處理完1片8代基板,。南韓業(yè)者表示，在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質(zhì)量的生產(chǎn)制程,，是LCD領(lǐng)域中***一個(gè)創(chuàng)新任務(wù),。若加速NIL制程導(dǎo)入LCD生產(chǎn)的時(shí)程,，偏光膜企業(yè)的營(yíng)收可能減少,。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò)。光刻納米壓印售后服務(wù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,，是一家磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣(mài)除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢(xún)服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣(mài)除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢(xún)服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專(zhuān)業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì),，以高度的專(zhuān)注和執(zhí)著為客戶(hù)提供磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對(duì)用戶(hù)產(chǎn)品上的貼心，為用戶(hù)帶來(lái)良好體驗(yàn),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表市場(chǎng),，以敏銳的市場(chǎng)洞察力,，實(shí)現(xiàn)與客戶(hù)的成長(zhǎng)共贏。