HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

®的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng),。

EVG的HERCULES ® NIL產(chǎn)品系列

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

® UV-NIL系統(tǒng)達200毫米

對于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案,，具有EVG's專有SmartNIL ®印跡技術(shù)

HERCULES NIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟 蹤解決方案，適用于比較大200 mm的晶圓,，是EVG的NIL產(chǎn)品組合的***成員,。HERCULES

NIL基于模塊化平臺，將EVG專有的SmartNIL壓印技術(shù)與清潔,，抗蝕劑涂層和烘烤預(yù)處理步驟相結(jié)合,。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務(wù)”，將裸露的晶圓裝載到工具中,，然后將經(jīng)過完全處理的納米結(jié)構(gòu)晶圓退回,。 HERCULES ? NIL是完全集成SmartNIL ?的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。**納米壓印美元價

納米壓印光刻（NIL）技術(shù)

EVG是納米壓印光刻（NIL）設(shè)備和集成工藝的市場**供應(yīng)商,。EVG從19年前的研究方法中率先并掌握了NIL,，并實現(xiàn)了從2英寸化合物半導(dǎo)體晶圓到300 mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產(chǎn)。NIL是產(chǎn)生納米尺度分辨率圖案的**有前途且相當(dāng)有成本效益的工藝,，可用于生物MEMS,，微流體，電子學(xué)以及**近各種衍射光學(xué)元件的各種商業(yè)應(yīng)用,。

其中EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)型號包含：

EVG®610

EVG®620NT

EVG®6200NT

EVG®720

EVG®7200

EVG®7200LA

HERCULES®NIL

EVG®770

IQAligner®

熱壓納米壓抑系統(tǒng)型號包含：

EVG®510HE

EVG®520HE

詳細(xì)的參數(shù),，請聯(lián)系我們岱美有限公司。

HERCULES NIL納米壓印質(zhì)保期多久EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻（UV-NIL）產(chǎn)品線,。

HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能,，具有較低的力和保形壓印，快速的高功率曝光和平滑的壓模分離,。該系統(tǒng)支持各種設(shè)備和應(yīng)用程序的生產(chǎn),，包括用于增強/虛擬現(xiàn)實（AR / VR）頭戴式耳機的光學(xué)設(shè)備，3D傳感器,，生物醫(yī)學(xué)設(shè)備,，納米光子學(xué)和等離激元學(xué)。

HERCULES ® NIL特征：

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺,，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預(yù)處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀,，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過程和模板

EVG ® 620 NT是智能NIL ® UV納米壓印光刻系統(tǒng)。

用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)®技術(shù),，在100毫米范圍內(nèi),。

EVG620 NT以其靈活性和可靠性而聞名，它以**小的占位面積提供了***的掩模對準(zhǔn)技術(shù),。操作員友好型軟件,，**短的掩模和模具更換時間以及有效的全球服務(wù)支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案,。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝，例如真空,，軟,，硬和接近曝光模式，以及背面對準(zhǔn)選項,。此外,，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準(zhǔn)和納米壓印光刻,。此外,，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù)。

EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng),。

EVG ® 510 HE熱壓印系統(tǒng)

應(yīng)用：高度靈活的熱壓印系統(tǒng),，用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)

EVG510 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設(shè)計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。該設(shè)備配置有通用壓花室以及真空和接觸力功能,，并管理適用于熱壓印的全部聚合物,。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項，提供了許多用于高質(zhì)量納米圖案轉(zhuǎn)印的工藝,。

EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準(zhǔn)工藝,，用于光學(xué)對準(zhǔn)的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項

外部浮雕和冷卻站 納米壓印設(shè)備可用來進行熱壓花、加壓加熱,、印章,、聚合物、基板,、附加沖壓成型脫模,。四川納米壓印報價

EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)有： EVG?610，EVG?620NT,，EVG?6200NT,，EVG?720，EVG?7200等,。**納米壓印美元價

IQ Aligner®：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

■用于光學(xué)元件的微成型應(yīng)用

■用于全場納米壓印應(yīng)用

■三個**控制的Z軸,，用于控制壓印光刻膠的總厚度變化（TTV），并在壓模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償

■粘合對準(zhǔn)和紫外線粘合功能

紫外線壓印_紫外線固化

印章

防紫外線基材

附加印記壓印納米結(jié)構(gòu)分離印記

用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材,。隨后,，將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯(lián)。

μ-接觸印刷

軟印章

基板上的材料

領(lǐng)取物料,，物料轉(zhuǎn)移，刪除印章

**納米壓印美元價

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司坐落在中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】公司,。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,，以不斷增強企業(yè)重點競爭力，加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,，實現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)，堅持“質(zhì)量保證,、良好服務(wù),、顧客滿意”的質(zhì)量方針，贏得廣大客戶的支持和信賴,。一直以來公司堅持以客戶為中心,、磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)市場為導(dǎo)向，重信譽,，保質(zhì)量,，想客戶之所想，急用戶之所急，全力以赴滿足客戶的一切需要,。