輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術封裝生產線檢測
集成電路工藝技術研發(fā)和產業(yè)化
國家重點實驗室
高 效太陽能電池技術研發(fā),、產業(yè)化
MEMS技術研發(fā)和產業(yè)化
新型顯示技術研發(fā),、產業(yè)化
超高精密表面工程技術
輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉換成電信號,，該電信號經放大和處理，再轉換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線,，測量結果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出,。（來自網絡） 配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動識別產品信息。3D形貌輪廓儀廠家
NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 ：
? XY比較大行程650*650mm
? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸
? XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um,，重復精度
1um
? XY 平臺比較大移動速度：200mm/s
? Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進
? 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石
? 配置真空臺面
? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動識別產品信息
? 主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm
如果想要了解更加詳細的產品信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司,。 氮化鎵輪廓儀摩擦學應用通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產加工時的精確度,。
輪廓儀的性能
測量模式
移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）
樣 品 臺
150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）
XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機像素
標配：1280×960
視場范圍
560×750um（10×物鏡）
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機
光學系統(tǒng)
同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達 10mm )
縱向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重復性* 0.005nm,，1σ
臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%,，1σ
橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD
輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸，典型結果包括：
表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等）
幾何特征（關鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。
因此物鏡是輪廓儀****的部件,，
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。
不同的鏡頭價格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦,。
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用：
晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結構尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,，檢測相應的輪廓尺寸。 NanoX-8000主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm,。
我們應該如何正確使用輪廓儀,？
一、準備工作
1.測量前準備,。
2.開啟電腦,、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常,。
3.擦凈工件被測表面,。
二、測量
1.將測針正確,、平穩(wěn),、可靠地移動在工件被測表面上。
2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)
3.在儀器上設置所需的測量條件,。
4.開始測量,。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。
5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結果進行分析,，標出結果，并保存,、打印,。
產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）。氮化鎵輪廓儀摩擦學應用
NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。3D形貌輪廓儀廠家
超納輪廓儀的主設計簡介:
中組部第十一批“****”****,，美國KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測設備市場的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān)，干涉測量技術**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,，創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關鍵算法,，在光測領域發(fā)表23個美國專利和35篇學術論文3個研發(fā)的產品獲得大獎，國家教育部***批公派研究生,83年留學美國,。光學輪廓儀可廣泛應用于各類精密工件表面質量要求極高的如：半導體,、微機電、納米材料,、生物醫(yī)療,、精密涂層、科研院所,、航空航天等領域,。可以說只要是微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量,，除了三維光學輪廓儀,，沒有其它的儀器設備可以達到其精度要求。（網絡）,。 3D形貌輪廓儀廠家
岱美儀器技術服務（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易,、轉口貿易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司,。岱美儀器技術服務擁有一支經驗豐富,、技術創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,，半導體,，光通訊生產，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務致力于把技術上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產品上的貼心,，為用戶帶來良好體驗。岱美儀器技術服務始終關注儀器儀表市場,，以敏銳的市場洞察力,，實現(xiàn)與客戶的成長共贏。