輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等）
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。
因此物鏡是輪廓儀****的部件,，
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×,， 還有2.5×，5×,，20×，50×,，100×,，可選。
不同的鏡頭價格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：
晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測，檢測相應(yīng)的輪廓尺寸,。 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通常可分為接觸時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主,。材料表面輪廓儀技術(shù)原理
輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？
答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展）,，Z向測量范圍比較大可達(dá)10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例,，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量,，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點檢測，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù),；
4.測量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸？
如果需要了解更多,，請訪問官網(wǎng),。 干涉儀輪廓儀技術(shù)服務(wù)測量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）,。
輪廓儀的技術(shù)原理
被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉
移相法(PSI) 高度和干涉相位
f = (2p/l ) 2 h
形貌高度: < 120nm
精度: < 1nm
RMS重復(fù)性: 0.01nm
垂直掃描法
(VSI+CSI)
精度： ?/1000 干涉信號~光程差位置
形貌高度: nm-mm,
精度: >2nm
干涉測量技術(shù)：快速靈活,、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響
以下來自網(wǎng)絡(luò)：
輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。
輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸,、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。（來自網(wǎng)絡(luò)）
先進(jìn)的輪廓儀集成模塊
60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗
所有的關(guān)鍵硬件采用美國,、德國、日本等
PI ,，納米移動平臺及控制
Nikon,，干涉物鏡
NI，信號控制板和Labview64
控制軟件
TMC 隔震平臺
世界先進(jìn)水平的計算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺
VS2012/64位,，.NET/C#/WPF
Intel Xeon 計算機(jī)
NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s ,。
輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺階高度,，錐角等）
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。
因此物鏡是輪廓儀****的部件，
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。
不同的鏡頭價格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。 輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測量，表面粗糙度,，外延片表面缺 陷檢測,，硅片外延表面缺 陷檢測,。日本輪廓儀
隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。材料表面輪廓儀技術(shù)原理
由于在重大工程、工業(yè)裝備和質(zhì)量保證,、基礎(chǔ)科研中,，儀器儀表都是必不可少的基礎(chǔ)技術(shù)和裝備重點，除傳統(tǒng)領(lǐng)域的需求外,，新興的智能制造,、離散自動化、生命科學(xué),、新能源,、海洋工程、軌道交通等領(lǐng)域也會產(chǎn)生巨大需求,。隨著互聯(lián)網(wǎng)的逐步發(fā)展,，為磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的傳播提供了一個飛速的平臺。讓儀器儀表行業(yè)從傳統(tǒng)的銷售模式到以互聯(lián)網(wǎng)電子商務(wù)為主的營銷方式的轉(zhuǎn)變,，促進(jìn)了儀器儀表行業(yè)與互聯(lián)網(wǎng)的結(jié)合,，推動產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。中國儀器儀表行業(yè)目前正處于高速發(fā)展階段,，需要與之相適應(yīng)的磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】產(chǎn)品營銷模式相互配合,。從銷售廣義角度來說,，儀器儀表也可具有自動操控、報警,、信號傳遞和數(shù)據(jù)處理等功能,，例如用于工業(yè)生產(chǎn)過程自動操控中的氣動調(diào)節(jié)儀表，和電動調(diào)節(jié)儀表,，以及集散型儀表操控系統(tǒng)也皆屬于儀器儀表,。材料表面輪廓儀技術(shù)原理
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,，致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實、誠實可信的企業(yè),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)深耕行業(yè)多年,，始終以客戶的需求為向?qū)В瑸榭蛻籼峁?**的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)繼續(xù)堅定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路,，既要實現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長，又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域,，實現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表市場，以敏銳的市場洞察力,，實現(xiàn)與客戶的成長共贏,。