強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件

美國硅谷研發(fā),、中英文自由切換

光機(jī)電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速,，結(jié)果實時更新

縮放,、定位,、平移,、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理

自主設(shè)定測量閾值，三維處理自動標(biāo)注

測量模式可根據(jù)需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數(shù)設(shè)置,，一鍵式操作,，人機(jī)界面?zhèn)€性直觀

個性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線升級和遠(yuǎn)程支持服務(wù)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器將為您提供全程的服務(wù),。

    超納輪廓儀的主設(shè)計簡介:

中組部第十一批“****”****,，美國KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān),，干涉測量技術(shù)**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師，創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,，在光測領(lǐng)域發(fā)表23個美國專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎,，國家教育部***批公派研究生,83年留學(xué)美國。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體,、微機(jī)電,、納米材料,、生物醫(yī)療、精密涂層,、科研院所,、航空航天等領(lǐng)域,?？梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量,，除了三維光學(xué)輪廓儀,，沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求,。（網(wǎng)絡(luò)）。 二維輪廓儀測樣擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點,，**提高加工效率。

如何正確使用輪廓儀

準(zhǔn)備工作

1.測量前準(zhǔn)備,。

2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān),、檢查機(jī)器啟動是否正常,。

3.擦凈工件被測表面,。

測量

1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。

2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件,。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測量完畢，根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析,，標(biāo)出結(jié)果，并保存,、打印,。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離,、交點到交點距離、交點到圓心距離,、交點到點距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度,、凸度、LG凸度,、對數(shù)曲線

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺階高度,，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡，例如標(biāo)配的10×,， 還有2.5×,，5×,，20×,，50×，100×,，可選,。  

不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測,，檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。 表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等）,。

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像,，

多層垂直掃描

比較好高度測量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點掃描合成面成像，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定,，1um精度@10倍

90萬-130萬

三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速,、重復(fù)性高、高 分辨率的三維測量,，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,，臺階高度，給MEMS,、半導(dǎo)體材料,、太陽能電池、醫(yī)療工程,、制藥,、生物材料，光學(xué)元件,、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的,、價格合理的計量方案。（來自網(wǎng)絡(luò)） 幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）,。Bruker輪廓儀美元價

測量模式：移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）,。重慶輪廓儀聯(lián)系電話

關(guān)于三坐標(biāo)測量輪廓度及粗糙度

  三坐標(biāo)測量機(jī)是不能測量粗糙度的,，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標(biāo)的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,，如果你的三坐標(biāo)測量機(jī)精度比較高,，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標(biāo)來代替的,。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標(biāo)可以測量大尺寸零件的輪廓,，因為它有龍門式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。 重慶輪廓儀聯(lián)系電話

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,，致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實、誠實可信的企業(yè),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)深耕行業(yè)多年,，始終以客戶的需求為向?qū)В瑸榭蛻籼峁?**的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)繼續(xù)堅定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路,，既要實現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長，又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域,，實現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表市場，以敏銳的市場洞察力,，實現(xiàn)與客戶的成長共贏,。