EVG ® 510 HE是EVG500系列的熱壓印系統(tǒng)

EV Group的一系列高精度熱壓印系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù),。出色的壓力和溫度控制以及大面積的均勻性可實(shí)現(xiàn)高精度的壓印,。熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高

效且靈活的制造技術(shù),，對于尺寸低至50 nm的特征，其復(fù)制精度非常高,。該系統(tǒng)非常適合將復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高縱橫比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中,。壓模與基板對準(zhǔn)的組合可將熱壓紋與預(yù)處理的基板結(jié)構(gòu)對準(zhǔn)。這個(gè)系列包含的型號有：EVG®510HE,，EVG®520HE,。 SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù)。中科院納米壓印供應(yīng)商

納米壓印應(yīng)用二：面板尺寸的大面積納米壓印

EVG專有的且經(jīng)過大量證明的SmartNIL技術(shù)的***進(jìn)展,，已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為Gen 3（550 mm x 650 mm）的基板上實(shí)現(xiàn),。對于不能減小尺寸的顯示器，線柵偏振器,，生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用,，至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟(jì),、高 效的方法,，因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)系統(tǒng)的限制，并且可以為**小的結(jié)構(gòu)提供比較好的圖案保真度,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。

微接觸納米壓印代理價(jià)格HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案,，可實(shí)現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn),。

EVG610特征：

頂部和底部對準(zhǔn)能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機(jī)版

EVG610附加功能：

鍵對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

納米壓印光刻 

μ接觸印刷

EVG610技術(shù)數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）

標(biāo)準(zhǔn)光刻：比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL：比較大150毫米的碎片

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：柔軟的UV-NIL

曝光源：汞光源或紫外線LED光源

自動分離：不支持

工作印章制作：外部

HERCULES®NIL：完全集成的納米壓印光刻解決方案,，可實(shí)現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn)

■批量生產(chǎn)低至40 nm的結(jié)構(gòu)或更小尺寸（分辨率取決于過程和模板）

■結(jié)合了預(yù)處理（清潔/涂布/烘烤/冷卻）和SmartNIL®技術(shù)

■全自動壓印和受控的低力分離，可很大程度地重復(fù)使用工作印章

■具備工作印章制造能力

EVG®770：連續(xù)重復(fù)的納米壓印光刻技術(shù),，可進(jìn)行有效的母版制作

■用于晶圓級光學(xué)器件的微透鏡的高 效母模制造,，直至SmartNIL®的納米結(jié)構(gòu)

■不同類型的母版的簡單實(shí)現(xiàn)

■可變的光刻膠分配模式

■分配，壓印和脫模過程中的實(shí)時(shí)圖像

■用于壓印和脫模的原位力控制

EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)是基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù),。

EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準(zhǔn)工藝,，用于光學(xué)對準(zhǔn)的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項(xiàng)

外部浮雕和冷卻站

EVG ® 510 HE技術(shù)數(shù)據(jù)：

加熱器尺寸：150毫米 ，200毫米

比較大基板尺寸：150毫米,，200毫米

**小基板尺寸：單芯片,，100毫米

比較大接觸力：10、20,、60 kN

比較高溫度：標(biāo)準(zhǔn)：350°C,；可選：550°C

夾盤系統(tǒng)/對準(zhǔn)系統(tǒng)

150毫米加熱器：EVG ® 610，EVG ® 620,，EVG ® 6200

200毫米加熱器：EVG ® 6200,，MBA300，的Smart View ® NT

真空：

標(biāo)準(zhǔn)：0.1毫巴

可選：0.00001 mbar

納米壓印設(shè)備可用來進(jìn)行熱壓花,、加壓加熱,、印章、聚合物,、基板,、附加沖壓成型脫模。聯(lián)電納米壓印試用

EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高 效且靈活的制造技術(shù),，具有非常高的復(fù)制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸。中科院納米壓印供應(yīng)商

國統(tǒng)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示,，2019年上半年儀器儀表大行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)4927個(gè),，營收規(guī)模4002億元，營收同比增長7.57%,；收入總額為361億元,，同比增長2.87%，比主營收入低4.70個(gè)百分點(diǎn)；目前,，磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的產(chǎn)量居世界前列,，實(shí)驗(yàn)分析儀器等中產(chǎn)品的市場占比不斷上升，行業(yè)技術(shù)上總體已達(dá)到的中等國際水平,，少數(shù)產(chǎn)品接近或達(dá)到當(dāng)前較高國際水平,。在國民經(jīng)濟(jì)運(yùn)行中，磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】等設(shè)備是提高勞動生產(chǎn)率的倍增器,，對國民經(jīng)濟(jì)有著巨大的作用和影響力。美國商業(yè)部地區(qū)技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)研究院（NIST）提出的報(bào)告稱：美國90年代儀器儀表工業(yè)產(chǎn)值只占工業(yè)總產(chǎn)值的4%,，但它對國民經(jīng)濟(jì)（GNP）的影響面卻達(dá)到66%,。“互聯(lián)網(wǎng)＋”,、大數(shù)據(jù),、020、萬物互聯(lián)網(wǎng),、P2P,、分享經(jīng)濟(jì)等熱門詞匯的出現(xiàn)，各個(gè)行業(yè)制定相應(yīng)的措施來順應(yīng)時(shí)代的經(jīng)濟(jì)發(fā)展，以爭取更大的發(fā)展市場,。而互聯(lián)網(wǎng)的出現(xiàn)也為儀器儀表行業(yè)參與國際競爭提供了機(jī)會,，有利于銷售企業(yè)實(shí)現(xiàn)技術(shù)創(chuàng)新升級。中科院納米壓印供應(yīng)商

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)作為磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一,，為客戶提供良好的磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念,，影響并帶動團(tuán)隊(duì)取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身，在風(fēng)云變化的時(shí)代,，對自身的建設(shè)毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信。