HERCULES 光刻軌道系統(tǒng)

所述HERCULES ®是一個高容量的平臺整合整個光刻工藝流在一個系統(tǒng)中，縮小處理工序和操作者支持,。

HERCULES基于模塊化平臺,，將EVG建立的光學掩模對準技術與集成的晶圓清洗，光刻膠涂層,，烘烤和光刻膠顯影模塊相結合,。HERCULES支持各種晶片尺寸的盒到盒處理。HERCULES安全地處理厚,，彎曲度高,，矩形，小直徑的晶圓，甚至可以處理設備托盤,。精密的頂側和底側對準以及亞微米至超厚（**/大300微米）光刻膠的涂層可用于夾層和鈍化應用,。出色的對準臺設計可實現(xiàn)高產(chǎn)量的高精度對準和曝光結果。

可在眾多應用場景中找到EVG的設備應用,，包括高級封裝,，化合物半導體，功率器件,，LED,，傳感器和MEMS。掩模對準光刻機可以試用嗎

EVG120光刻膠自動處理系統(tǒng)附加模塊選項

預對準：光學/機械

ID讀取器：條形碼,，字母數(shù)字,，數(shù)據(jù)矩陣

系統(tǒng)控制：

操作系統(tǒng)：Windows

文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數(shù)/離線程序編輯器

靈活的流程定義/易于拖放的程序編程

并行處理多個作業(yè)/實時遠程訪問,，診斷和故障排除

多語言用戶GUI和支持：CN,，DE，F(xiàn)R,，IT,，JP，KR

分配選項：

各種光刻膠分配泵,，可覆蓋高達52000 cP的粘度

液體底漆/預濕/洗盤

去除邊緣珠（EBR）/背面沖洗（BSR）

恒壓分配系統(tǒng)/注射器分配系統(tǒng)

電阻分配泵具有流量監(jiān)控功能

可編程分配速率/可編程體積/可編程回吸

超音波

EVG610光刻機值得買可以在EVG105烘烤模塊上執(zhí)行軟烘烤,、曝光后烘烤和硬烘烤操作。

EVG曝光光學：專門開發(fā)的分辨率增強型光學元件（REO）可提供高出50％的強度,，并顯著提高/分辨率,，在接近模式下可達到小于3μm的分辨率。REO的特殊設計有助于控制干涉效應以獲得分辨率,。EVG**/新的曝光光學增強功能是LED燈設置,。低能耗和長壽命是UV-LED光源的**/大優(yōu)勢，因為不需要預熱或冷卻,。在用戶軟件界面中可以輕松,、實際地完成曝光光譜設置。此外,，LED需要*在曝光期間供電,，并且該技術消除了對汞燈經(jīng)常需要的額外設施（廢氣，冷卻氣體）和更換燈的需要,。這種理想的組合不僅可以**/大限度地降低運行和維護成本,，還可以增加操作員的安全性和環(huán)境友好性。

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)的旋轉涂層模塊-旋轉器參數(shù)

轉速：**/高10 k rpm

加速速度：**/高10 k rpm

噴涂模塊-噴涂產(chǎn)生

超聲波霧化噴嘴/高粘度噴嘴

開發(fā)模塊-分配選項

水坑顯影/噴霧顯影

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)附加模塊選項：

預對準：機械

系統(tǒng)控制參數(shù)：

操作系統(tǒng)：Windows

文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數(shù)/離線程序編輯器

靈活的流程定義/易于拖放的程序編程

并行處理多個作業(yè)/實時遠程訪問,，診斷和故障排除

多語言用戶GUI和支持：CN,，DE，F(xiàn)R，IT,，JP,，KR

所有系統(tǒng)均支持原位對準驗證的軟件，可以提高手動操作系統(tǒng)的對準精度和可重復性,。

EVG620 NT特征2：

自動原點功能,，用于對準鍵的精確居中

具有實時偏移校正功能的動態(tài)對準功能

支持**/新的UV-LED技術

返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統(tǒng)

自動化系統(tǒng)上的手動基板裝載功能

可以從半自動版本升級到全自動版本

**小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權限,，不同的用戶界面語言）

先進的軟件功能以及研發(fā)與全/面生產(chǎn)之間的兼容性

便捷處理和轉換重組

遠程技術支持和SECS / GEM兼容性

EVG620 NT附加功能：

鍵對準

紅外對準

納米壓印光刻（NIL） EVG光刻機**/新的曝光光學增強功能是對LED燈的設置,。重慶光刻機廠家

EVG同樣為客戶提供量產(chǎn)型掩模對準系統(tǒng)。掩模對準光刻機可以試用嗎

國統(tǒng)局數(shù)據(jù)顯示,，2019年上半年儀器儀表大行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)4927個,，營收規(guī)模4002億元，營收同比增長7.57%,；收入總額為361億元,，同比增長2.87%，比主營收入低4.70個百分點,；目前,，磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的產(chǎn)量居世界前列，實驗分析儀器等中產(chǎn)品的市場占比不斷上升,，行業(yè)技術上總體已達到的中等國際水平,，少數(shù)產(chǎn)品接近或達到當前較高國際水平。在國民經(jīng)濟運行中,，磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】等設備是提高勞動生產(chǎn)率的倍增器,，對國民經(jīng)濟有著巨大的作用和影響力,。美國商業(yè)部地區(qū)技術和標準研究院（NIST）提出的報告稱：美國90年代儀器儀表工業(yè)產(chǎn)值只占工業(yè)總產(chǎn)值的4%，但它對國民經(jīng)濟（GNP）的影響面卻達到66%,?！盎ヂ?lián)網(wǎng)＋”、大數(shù)據(jù),、020,、萬物互聯(lián)網(wǎng)、P2P,、分享經(jīng)濟等熱門詞匯的出現(xiàn),，各個行業(yè)制定相應的措施來順應時代的經(jīng)濟發(fā)展，以爭取更大的發(fā)展市場,。而互聯(lián)網(wǎng)的出現(xiàn)也為儀器儀表行業(yè)參與國際競爭提供了機會,，有利于銷售企業(yè)實現(xiàn)技術創(chuàng)新升級,。掩模對準光刻機可以試用嗎

岱美儀器技術服務（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司。岱美儀器技術服務作為磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一，為客戶提供良好的磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念,，影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術服務始終關注自身,，在風云變化的時代,，對自身的建設毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術服務在行業(yè)的從容而自信,。