輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素

標配：1280×960

視場范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學(xué)系統(tǒng)

同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm，1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75％,；重復(fù)性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC,。福建輪廓儀出廠價

1.5. 系統(tǒng)培訓(xùn)的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟,、硬件的操作手冊；

    數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口,、連接計算器,、等待時間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置；

    實際演示一一講解,；

    如何做好備份和恢復(fù)備份資料,；

    當場演示各種報表的操作并進行操作解說；

    數(shù)據(jù)庫文件應(yīng)定時作備份,，大變動時更應(yīng)做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數(shù)據(jù)庫的流失,；

    在系統(tǒng)培訓(xùn)過程中如要輸入一些臨時數(shù)據(jù)應(yīng)在培訓(xùn)結(jié)束后及時刪除這些資料。

    備注：系統(tǒng)培訓(xùn)完成后應(yīng)請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,，并留下公司“客戶服務(wù)中心”的電話與個人名片,，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢。 3D形貌輪廓儀廠家通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。

    輪廓儀是用容易理解的機械技術(shù)測量薄膜厚度,。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓,。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先,，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度，而小坎通常無法很標準(見圖),。這樣,，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術(shù),，不需要任何樣本準備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng),。

NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 ：

? XY比較大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸

? XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um，重復(fù)精度

1um

? XY 平臺比較大移動速度：200mm/s

? Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦,，0.1um移動步進

? 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空臺面

? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動識別產(chǎn)品信息

? 主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm

如果想要了解更加詳細的產(chǎn)品信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 表面三維評定參數(shù)由于能更***,，更真實的反應(yīng)零件表面的特征,。

輪廓儀的主要客戶群體

300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測

集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

國家重點實驗室

高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化

MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

新型顯示技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化

超高精密表面工程技術(shù)

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線，測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)） 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主。粗糙度儀輪廓儀技術(shù)原理

NanoX-8000主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm,。福建輪廓儀出廠價

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？

答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍比較大可達10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時,，全檢的方式需要進行拼接測量，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測,，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù)；

4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸,？

如果需要了解更多，請訪問官網(wǎng)。 福建輪廓儀出廠價

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)作為磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一，為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實的精神和必勝的信念,，影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風云變化的時代,，對自身的建設(shè)毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。