輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:
表面形貌(粗糙度,,平面度,,平行度,臺(tái)階高度,,錐角等)
幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,,特征圖形的位置和數(shù)量等)
白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),,通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。
因此物鏡是輪廓儀****的部件,,
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,,需要提供各種物鏡,,例如標(biāo)配的10×, 還有2.5×,,5×,,20×,50×,,100×,,可選。
不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,,因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦,。 輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。光電輪廓儀原理
表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用:
一,、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性:
通過(guò)光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè),,得出物件的誤差和超差參數(shù),**提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,**終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失,。
二,、提高效率:
智能化檢測(cè),全自動(dòng)測(cè)量,,檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái),,然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測(cè)量,。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,,精確度低的缺點(diǎn),,**提高加工效率。
三,、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析:
表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù),,無(wú)論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn),,都可以提供***的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù),可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。
四,、穩(wěn)定性強(qiáng),,高重復(fù)性:
儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合,,保證高重復(fù)性,將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別,。 歐洲輪廓儀質(zhì)量怎么樣輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較),。
輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人:
邁爾爾遜
1852-1931
美國(guó)物理學(xué)家
曾從事光速的精密測(cè)量工作
邁克爾遜首倡用光波波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)。
1881年,,他發(fā)明了一種用以測(cè)量微小長(zhǎng)度,,折射率和光波波長(zhǎng)的干涉儀,邁克爾遜干涉儀,。
他和美國(guó)物理學(xué)家莫雷合作,,進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),否定了以太de 存在,,為愛(ài)因斯坦建立狹義相對(duì)論奠定了基礎(chǔ),。
由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng),。
超納輪廓儀的主設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介:
中組部第十一批“****”****,,美國(guó)KLA-Tencor(集成電路行業(yè)檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)的**企業(yè))***研發(fā)總監(jiān),干涉測(cè)量技術(shù)**美國(guó)上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,,創(chuàng)造多項(xiàng)干涉測(cè)量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,,在光測(cè)領(lǐng)域發(fā)表23個(gè)美國(guó)專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個(gè)研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎(jiǎng),國(guó)家教育部***批公派研究生,83年留學(xué)美國(guó),。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如:半導(dǎo)體,、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療,、精密涂層、科研院所,、航空航天等領(lǐng)域,。可以說(shuō)只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度,、輪廓等參數(shù)的測(cè)量,,除了三維光學(xué)輪廓儀,沒(méi)有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求,。(網(wǎng)絡(luò)),。 晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程。
1.3. 培訓(xùn)計(jì)劃
在完成系統(tǒng)布線并開(kāi)始設(shè)備安裝后,,即向甲方和業(yè)主介紹整個(gè)系統(tǒng)的概況及性能,、特點(diǎn)、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,,讓甲方和業(yè)主對(duì)整個(gè)系統(tǒng)有一個(gè)***的認(rèn)識(shí),。
在整個(gè)系統(tǒng)驗(yàn)收前后,安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn),。
1.4. 培訓(xùn)形式
公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理,、功能、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn),;
向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計(jì)文件及圖紙等資料,,使學(xué)員對(duì)系統(tǒng)的各個(gè)方面都能熟練掌握;
針對(duì)系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),,使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng),;
對(duì)學(xué)員提出的問(wèn)題進(jìn)行詳細(xì)解答;
NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI),、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光,。微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器輪廓儀**樣機(jī)試用
LED光源通過(guò)多***盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光,。光電輪廓儀原理
國(guó)統(tǒng)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示,,2019年上半年儀器儀表大行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)4927個(gè),營(yíng)收規(guī)模4002億元,,營(yíng)收同比增長(zhǎng)7.57%,;收入總額為361億元,同比增長(zhǎng)2.87%,,比主營(yíng)收入低4.70個(gè)百分點(diǎn),;目前,磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測(cè)試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的產(chǎn)量居世界前列,實(shí)驗(yàn)分析儀器等中產(chǎn)品的市場(chǎng)占比不斷上升,,行業(yè)技術(shù)上總體已達(dá)到的中等國(guó)際水平,,少數(shù)產(chǎn)品接近或達(dá)到當(dāng)前較高國(guó)際水平。在國(guó)民經(jīng)濟(jì)運(yùn)行中,,磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】等設(shè)備是提高勞動(dòng)生產(chǎn)率的倍增器,,對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)有著巨大的作用和影響力。美國(guó)商業(yè)部地區(qū)技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)研究院(NIST)提出的報(bào)告稱:美國(guó)90年代儀器儀表工業(yè)產(chǎn)值只占工業(yè)總產(chǎn)值的4%,,但它對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)(GNP)的影響面卻達(dá)到66%,。“互聯(lián)網(wǎng)+”,、大數(shù)據(jù),、020、萬(wàn)物互聯(lián)網(wǎng),、P2P,、分享經(jīng)濟(jì)等熱門詞匯的出現(xiàn),各個(gè)行業(yè)制定相應(yīng)的措施來(lái)順應(yīng)時(shí)代的經(jīng)濟(jì)發(fā)展,,以爭(zhēng)取更大的發(fā)展市場(chǎng),。而互聯(lián)網(wǎng)的出現(xiàn)也為儀器儀表行業(yè)參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)提供了機(jī)會(huì),有利于銷售企業(yè)實(shí)現(xiàn)技術(shù)創(chuàng)新升級(jí)。光電輪廓儀原理
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司總部位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,,是一家磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)作為磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的企業(yè)之一,為客戶提供良好的磁記錄,,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念,,影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,,在風(fēng)云變化的時(shí)代,,對(duì)自身的建設(shè)毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。