輪廓儀是用容易理解的機械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓,。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,，而小坎通常無法很標準(見圖)。這樣,，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差,。與此相比，光譜反射儀使用非接觸技術(shù),，不需要任何樣本準備就可以測量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng)。隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。福建輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

1.3. 培訓(xùn)計劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后,，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點,、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識。

    在整個系統(tǒng)驗收前后,，安排有關(guān)人員在進行培訓(xùn),。

1.4. 培訓(xùn)形式

    公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能,、操作及維修保養(yǎng)要點,；

    向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料,，使學(xué)員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握；

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng),；

    對學(xué)員提出的問題進行詳細解答；

自動測量輪廓儀技術(shù)支持物鏡是輪廓儀****的部件,， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,。

如何正確使用輪廓儀

準備工作

1.測量前準備。

2.開啟電腦,、打開機器電源開關(guān),、檢查機器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面,。

測量

1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。

4.開始測量,。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測量完畢，根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析,，標出結(jié)果,，并保存、打印,。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離,、交點到交點距離、交點到圓心距離,、交點到點距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度,、凸度、LG凸度,、對數(shù)曲線

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)

3D測量主要技術(shù)指標（1）：

測量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配）

10mm 精密電機拓展掃描

CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）

傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動調(diào)節(jié)

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）

3D測量主要技術(shù)指標（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s,，VSI/CSI：< 38um/s

高度測量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準確度 < 1nm

RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復(fù)性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準確度<1%

重復(fù)性<0.1% (1σ，10um臺階高) 輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天,、精密加 工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

輪廓儀的功能:

廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進行長度,、高度,、間距、水平距離,、垂直距離,、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量,。測量效率高,、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

如果您想要了解更多的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,，核探測,。Nano X-2000輪廓儀干涉測量應(yīng)用

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）。福建輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強,， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,，操作更簡單，更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)  

個性化: 定制化客戶報告模式 

更好用戶體驗： 迅捷的售后服務(wù)，個性化應(yīng)用軟件支持

1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準,，具有穩(wěn)定性好,、承載大、**磨損等優(yōu)點,，達到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度,。  2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率，準確度高,，穩(wěn)定性好,。（網(wǎng)絡(luò)） 福建輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，以科技創(chuàng)新實現(xiàn)***管理的追求,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)不斷開拓創(chuàng)新,，追求出色，以技術(shù)為先導(dǎo),，以產(chǎn)品為平臺,，以應(yīng)用為重點，以服務(wù)為保證,，不斷為客戶創(chuàng)造更高價值，提供更優(yōu)服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風(fēng)云變化的時代，對自身的建設(shè)毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。