FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng)

FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號360

FSM拉曼的應(yīng)用

l  局部應(yīng)力；

l  局部化學(xué)成分

l  局部損傷

紫外光可測試的深度

***的薄膜（SOI 或 Si-SiGe）或者厚樣的近表面局部應(yīng)力

可見光可測試的深度

良好的厚樣以及多層樣品的局部應(yīng)力

系統(tǒng)測試應(yīng)力的精度小于15mpa (0.03cm-1)

全自動的200mm和300mm硅片檢查

自動檢驗和聚焦的能力,。

以上的信息比較有限,，如果您有更加詳細的技術(shù)問題,，請聯(lián)系我們的技術(shù)人員為您解答?；蛘咴L問我們的官網(wǎng)了解更多信息,。 一般較短波長 (例如， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,，而較長波長可以測量更厚,、更不平整和更不透明的薄膜。半導(dǎo)體設(shè)備膜厚儀摩擦學(xué)應(yīng)用

    其可測量薄膜厚度在1nm到1mm之間,，測量精度高達1埃,，測量穩(wěn)定性高達，測量時間只需一到二秒,并有手動及自動機型可選,?？蓱?yīng)用領(lǐng)域包括：生物醫(yī)學(xué)（Biomedical）,液晶顯示(Displays),硬涂層(Hardcoats),金屬膜(Metal),眼鏡涂層(Ophthalmic),聚對二甲笨(Parylene),電路板(PCBs&PWBs),多孔硅(PorousSilicon),光阻材料(ThickResist),半導(dǎo)體材料(Semiconductors),太陽光伏(Solarphotovoltaics),真空鍍層(VacuumCoatings),圈筒檢查(Webinspectionapplications)等。通過Filmetrics膜厚測量儀*新反射式光譜測量技術(shù),*多4層透明薄膜厚度,、n,、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測得。其應(yīng)用***,，例如:半導(dǎo)體工業(yè):光阻,、氧化物、氮化物,。LCD工業(yè):間距(cellgaps),，ito電極、polyimide保護膜,。光電鍍膜應(yīng)用:硬化鍍膜,、抗反射鍍膜、過濾片,。極易操作,、快速、準(zhǔn)確,、機身輕巧及價格便宜為其主要優(yōu)點,，F(xiàn)ilmetrics提供以下型號以供選擇:F20:這簡單入門型號有三種不同波長選擇(由220nm紫外線區(qū)至1700nm近紅外線區(qū))為任意攜帶型，可以實現(xiàn)反射,、膜厚,、n、k值測量,。F30:這型號可安裝在任何真空鍍膜機腔體外的窗口,。可實時監(jiān)控長晶速度、實時提供膜厚,、n,、k值。并可切定某一波長或固定測量時間間距,。膜厚儀鍍膜行業(yè)Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測繪薄膜厚度和折射率,，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。

F3-sX 系列：

F3-sX 系列能測量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳

波長選配F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度,，即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體),。 F3-s980 是波長為980奈米的版本，是為了針對成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計,F3-s1310是針對重摻雜硅片的**jia化設(shè)計,F3-s1550則是為了**厚的薄膜設(shè)計,。附件附件包含自動化測繪平臺,，一個影像鏡頭可看到量測點的位置以及可選配可見光波長的功能使厚度測量能力**薄至15奈米。

測量眼科設(shè)備涂層厚度光譜反射率可用于測量眼鏡片減反射 (AR) 光譜和殘余顏色,，以及硬涂層和疏水層的厚度,。

減反涂層減反涂層用來減少眩光以及無涂層鏡片導(dǎo)致的眼睛疲勞,。 減反鏡片的藍綠色彩也吸引了眾多消費者,。 因此，測量和控制減反涂層及其色彩就變得越來越重要了,。

FilmetricsF10-AR是專門為各類眼鏡片設(shè)計的,，配備多種獨特功能用于減反涂層檢測。硬涂層硬涂層用來增加抗劃痕和抗紫外線的能力,。 在鏡片上涂抹硬涂層,，就提供了這種保護，而減反涂層則是不太柔軟的較硬鍍層,。

FilmetricsF10-AR配備了硬涂層測量升級軟件,。 可以測量厚達15微米的一層或兩層硬涂層。疏水層疏水涂層使減反鏡片具有對水和油排斥的屬性,，使它們易于清潔,。 這些涂層都是特別薄的 – 只有一百個原子的數(shù)量級 – 因此需要短波 (紫外線) 光來精確測量。 測量疏水層厚度的比較好儀器就是配備了UPG-F10-AR-d 和UPG-F10-RT-nk 升級軟件的 F10-AR-UV,。鏡片的穿透率測量F10-AR可選購SS-Trans-Curved樣品臺用于測量鏡片的穿透率,。

重復(fù)性: 0.1 μm (1 sigma)單探頭* ；0.8 μm (1 sigma)雙探頭*,。

F10-RT同時測量反射和透射以真空鍍膜為設(shè)計目標(biāo),，F(xiàn)10-RT 只要單擊鼠標(biāo)即可獲得反射和透射光譜。 只需傳統(tǒng)價格的一小部分,，用戶就能進行比較低/比較高 分析,、確定 FWHM 并進行顏色分析。

可選的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用 Filmetrics F10 的分析能力。測量結(jié)果能被快速地導(dǎo)出和打印,。

包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件BK7 參考材料Al2O3 參考材料Si 參考材料防反光板鏡頭紙

額外的好處：每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 F30樣品層:分子束外延和金屬有機化學(xué)氣相沉積: 可以測量平滑和半透明的,，或輕度吸收的薄膜。Profilm3D膜厚儀要多少錢

厚度變化 (TTV) ,；溝槽深度,；過孔尺寸、深度,、側(cè)壁角度,。半導(dǎo)體設(shè)備膜厚儀摩擦學(xué)應(yīng)用

電介質(zhì)成千上萬的電解質(zhì)薄膜被用于光學(xué)，半導(dǎo)體,，以及其它數(shù)十個行業(yè), 而Filmetrics的儀器幾乎可以測量所有的薄膜,。 

測量范例氮化硅薄膜作為電介質(zhì)，鈍化層,，或掩膜材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),。這個案例中，我們用F20-UVX成功地測量了硅基底上氮化硅薄膜的厚度,，折射率,，和消光系數(shù)。有趣的事,，氮化硅薄膜的光學(xué)性質(zhì)與薄膜的分子當(dāng)量緊密相關(guān),。使用Filmetrics專有的氮化硅擴散模型，F(xiàn)20-UVX可以很容易地測量氮化硅薄膜的厚度和光學(xué)性質(zhì),，不管他們是富硅,，貧硅，還是分子當(dāng)量,。 半導(dǎo)體設(shè)備膜厚儀摩擦學(xué)應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表,，以科技創(chuàng)新實現(xiàn)***管理的追求。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊,，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)不斷開拓創(chuàng)新,，追求出色,，以技術(shù)為先導(dǎo)，以產(chǎn)品為平臺,，以應(yīng)用為重點,，以服務(wù)為保證，不斷為客戶創(chuàng)造更高價值，提供更優(yōu)服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風(fēng)云變化的時代，對自身的建設(shè)毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。