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本地納米壓印圖像傳感器應(yīng)用

來源: 發(fā)布時(shí)間:2020-01-09

UV納米壓印光刻

EV Group提供完整的UV納米壓印光刻(UV-NIL)產(chǎn)品線,包括不同的***積壓印系統(tǒng),,大面積壓印機(jī),,微透鏡成型設(shè)備以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng)。除了柔軟的UV-NIL,,EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù),。高 效,強(qiáng)大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,,高度均勻的圖案層和**少的殘留層,,并具有易于擴(kuò)展的晶圓尺寸和產(chǎn)量。EVG的SmartNI技術(shù)達(dá)到了納米壓印的長期預(yù)期,,即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結(jié)構(gòu)的高性能,,低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù)。


EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高 效且靈活的制造技術(shù),,具有非常高的復(fù)制精度,,可用于**小50 nm的特征尺寸。本地納米壓印圖像傳感器應(yīng)用

曲面基底上的納米結(jié)構(gòu)在許多領(lǐng)域都有著重要應(yīng)用,,例如仿生學(xué),、柔性電子學(xué)和光學(xué)器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)通常采用剛性模板,,可以實(shí)現(xiàn)亞10nm的分辨率,,但是模板不能彎折,無法在曲面基底上壓印制備納米結(jié)構(gòu),。而采用彈性模板的軟壓印技術(shù)可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,,實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)在非平面基底上的壓印復(fù)制,但是由于彈性模板的楊氏模量較低,,所以壓印結(jié)構(gòu)的分辨率和精度都受到限制,。基于目前納米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀,結(jié)合傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)和軟壓印技術(shù),,中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所團(tuán)隊(duì)發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復(fù)合軟壓印模板的制備方法,,該模板包含剛性結(jié)構(gòu)層和彈性基底層。(來自網(wǎng)絡(luò),,侵權(quán)請聯(lián)系我們進(jìn)行刪除,,謝謝!) 北京納米壓印質(zhì)量怎么樣SmartNIL集成多次使用的軟標(biāo)記處理功能,,并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,,同時(shí)保留可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的特點(diǎn)。

EVG ® 6200 NT是SmartNIL

UV納米壓印光刻系統(tǒng),。


用UV納米壓印能力設(shè)有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)®技術(shù)范圍達(dá)150m,。這些系統(tǒng)以其自動(dòng)化的靈活性和可靠性而著稱,以**小的占地面積提供了**

新的掩模對準(zhǔn)技術(shù),。操作員友好型軟件,,**短的掩模和工具更換時(shí)間以及高 效的全球服務(wù)和支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境(半自動(dòng)批量生產(chǎn))的理想解決方案。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,,例如真空,,軟,硬和接近曝光模式,,并且可以選擇背面對準(zhǔn),。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,,包括鍵對準(zhǔn)和納米壓印光刻,。此外,半自動(dòng)和全自動(dòng)系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù),。


EVG ® 770分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng)

分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù),,可進(jìn)行有效的母版制作


EVG770是用于步進(jìn)式納米壓印光刻的通用平臺(tái),可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化,。這種方法允許從**

大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板,。與鉆石車削或直接寫入方法相結(jié)合,分步重復(fù)刻印通常用于有效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版,。

EVG770的主要功能包括精確的對準(zhǔn)功能,,完整的過程控制以及可滿足各種設(shè)備和應(yīng)用需求的靈活性。 岱美儀器代理的SmartNIL是一項(xiàng)關(guān)鍵的啟用技術(shù),,可用于顯示器,,生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新。

    它為晶圓級光學(xué)元件開發(fā),、原型設(shè)計(jì)和制造提供了一種獨(dú)特的方法,,可以方便地接觸***研發(fā)技術(shù)與材料,。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術(shù)確保在如3D感應(yīng)的應(yīng)用中使用小尺寸的高 分辨率光學(xué)傳感器供應(yīng)鏈合作推動(dòng)晶圓級光學(xué)元件應(yīng)用要在下一代光學(xué)傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產(chǎn),先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料發(fā)揮著不可取代的作用,。開發(fā)先進(jìn)的光學(xué)材料,,需要充分地研究化學(xué)、機(jī)械與光學(xué)特性,,以及已被證實(shí)的大規(guī)模生產(chǎn)(HVM)的可擴(kuò)展性,。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性,以及自動(dòng)化模制和脫模的專業(yè)知識(shí),,才能在已驗(yàn)證的大規(guī)模生產(chǎn)中,,以**小的形狀因子達(dá)到晶圓級光學(xué)元件的比較好性能。材料供應(yīng)商與加工設(shè)備制造商之間的密切合作,,促成了工藝流程的研發(fā)與改善,,確保晶圓級光學(xué)元件的高質(zhì)量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產(chǎn)品,,并增強(qiáng)雙方的專業(yè)技能,,從而適應(yīng)當(dāng)前與未來市場的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專業(yè)的工藝技術(shù),,并將加快新產(chǎn)品設(shè)計(jì)與原型制造的速度,,為雙方的客戶保駕護(hù)航,?!癗ILPhotonics解決方案支援中心的獨(dú)特之處是:它解決了行業(yè)內(nèi)部需要用更短時(shí)間研發(fā)產(chǎn)品的需求,同時(shí)保障比較高的保密性,。EV Group能夠提供混合和單片微透鏡成型工藝,。本地納米壓印美元價(jià)

EVG ? 770是分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng),使用分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù),,可進(jìn)行有效的母版制作,。本地納米壓印圖像傳感器應(yīng)用

       EVG公司技術(shù)開發(fā)和IP總監(jiān)Markus Wimplinger補(bǔ)充說:“我們開發(fā)新技術(shù)和工藝以應(yīng)對*復(fù)雜的挑戰(zhàn),幫助我們的客戶成功地將其新產(chǎn)品創(chuàng)意商業(yè)化,。技術(shù),,我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心?!霸诰哂斜Wo(hù)客戶IP的強(qiáng)大政策的框架內(nèi),,我們?yōu)榭蛻籼峁┝藦目尚行缘缴a(chǎn)階段的產(chǎn)品開發(fā)和商業(yè)化支持。這正是我們***與AR領(lǐng)域的**者WaveOptics合作所要做的,,以為*終客戶提供真正可擴(kuò)展的解決方案,。”

      EVG的NILPhotonics®能力中心框架內(nèi)的協(xié)作開發(fā)工作旨在支持WaveOptics的承諾,,即在工業(yè),,企業(yè)和消費(fèi)者等所有主要市場領(lǐng)域釋放AR在大眾市場的應(yīng)用,,并遵循公司模塊計(jì)劃的推出。 本地納米壓印圖像傳感器應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,,現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),,各種專業(yè)設(shè)備齊全。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn),,熟悉行業(yè)專業(yè)知識(shí)技能,,致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】,,同時(shí)還建立了完善的售后服務(wù)體系,,為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。誠實(shí),、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的磁記錄,,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),。