UV納米壓印光刻

EV Group提供完整的UV納米壓印光刻（UV-NIL）產(chǎn)品線,，包括不同的***積壓印系統(tǒng),，大面積壓印機,，微透鏡成型設(shè)備以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL，EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù),。高 效,，強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,，高度均勻的圖案層和**少的殘留層,，并具有易于擴展的晶圓尺寸和產(chǎn)量,。EVG的SmartNI技術(shù)達(dá)到了納米壓印的長期預(yù)期，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結(jié)構(gòu)的高性能,，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù),。

EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù)，具有非常高的復(fù)制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸,。本地納米壓印圖像傳感器應(yīng)用

曲面基底上的納米結(jié)構(gòu)在許多領(lǐng)域都有著重要應(yīng)用,，例如仿生學(xué),、柔性電子學(xué)和光學(xué)器件等,。傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)通常采用剛性模板，可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,，但是模板不能彎折,，無法在曲面基底上壓印制備納米結(jié)構(gòu)。而采用彈性模板的軟壓印技術(shù)可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,，實現(xiàn)結(jié)構(gòu)在非平面基底上的壓印復(fù)制,，但是由于彈性模板的楊氏模量較低，所以壓印結(jié)構(gòu)的分辨率和精度都受到限制,?；谀壳凹{米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀，結(jié)合傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)和軟壓印技術(shù),，中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所團隊發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復(fù)合軟壓印模板的制備方法,，該模板包含剛性結(jié)構(gòu)層和彈性基底層。（來自網(wǎng)絡(luò),，侵權(quán)請聯(lián)系我們進行刪除,，謝謝！） 北京納米壓印質(zhì)量怎么樣SmartNIL集成多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,，同時保留可擴展性和易于維護的特點。

EVG ® 6200 NT是SmartNIL

UV納米壓印光刻系統(tǒng),。

用UV納米壓印能力設(shè)有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)®技術(shù)范圍達(dá)150m,。這些系統(tǒng)以其自動化的靈活性和可靠性而著稱，以**小的占地面積提供了**

新的掩模對準(zhǔn)技術(shù),。操作員友好型軟件,，**短的掩模和工具更換時間以及高 效的全球服務(wù)和支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,，例如真空,，軟，硬和接近曝光模式,，并且可以選擇背面對準(zhǔn),。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準(zhǔn)和納米壓印光刻,。此外，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù),。

EVG ® 770分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng)

分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù),，可進行有效的母版制作

EVG770是用于步進式納米壓印光刻的通用平臺,，可用于有效地進行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進行直接圖案化。這種方法允許從**

大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板,。與鉆石車削或直接寫入方法相結(jié)合,，分步重復(fù)刻印通常用于有效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。

EVG770的主要功能包括精確的對準(zhǔn)功能,，完整的過程控制以及可滿足各種設(shè)備和應(yīng)用需求的靈活性,。 岱美儀器代理的SmartNIL是一項關(guān)鍵的啟用技術(shù)，可用于顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新,。

    它為晶圓級光學(xué)元件開發(fā)、原型設(shè)計和制造提供了一種獨特的方法,，可以方便地接觸***研發(fā)技術(shù)與材料,。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術(shù)確保在如3D感應(yīng)的應(yīng)用中使用小尺寸的高 分辨率光學(xué)傳感器供應(yīng)鏈合作推動晶圓級光學(xué)元件應(yīng)用要在下一代光學(xué)傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產(chǎn)，先進的粘合劑與抗蝕材料發(fā)揮著不可取代的作用,。開發(fā)先進的光學(xué)材料,，需要充分地研究化學(xué)、機械與光學(xué)特性,，以及已被證實的大規(guī)模生產(chǎn)（HVM）的可擴展性,。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性，以及自動化模制和脫模的專業(yè)知識,，才能在已驗證的大規(guī)模生產(chǎn)中,，以**小的形狀因子達(dá)到晶圓級光學(xué)元件的比較好性能。材料供應(yīng)商與加工設(shè)備制造商之間的密切合作,，促成了工藝流程的研發(fā)與改善,，確保晶圓級光學(xué)元件的高質(zhì)量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產(chǎn)品,，并增強雙方的專業(yè)技能,，從而適應(yīng)當(dāng)前與未來市場的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專業(yè)的工藝技術(shù),，并將加快新產(chǎn)品設(shè)計與原型制造的速度,，為雙方的客戶保駕護航?！癗ILPhotonics解決方案支援中心的獨特之處是：它解決了行業(yè)內(nèi)部需要用更短時間研發(fā)產(chǎn)品的需求,，同時保障比較高的保密性。EV Group能夠提供混合和單片微透鏡成型工藝,。本地納米壓印美元價

EVG ? 770是分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng),，使用分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù)，可進行有效的母版制作,。本地納米壓印圖像傳感器應(yīng)用

       EVG公司技術(shù)開發(fā)和IP總監(jiān)Markus Wimplinger補充說：“我們開發(fā)新技術(shù)和工藝以應(yīng)對*復(fù)雜的挑戰(zhàn),，幫助我們的客戶成功地將其新產(chǎn)品創(chuàng)意商業(yè)化,。技術(shù)，我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心,?！霸诰哂斜Ｗo客戶IP的強大政策的框架內(nèi)，我們?yōu)榭蛻籼峁┝藦目尚行缘缴a(chǎn)階段的產(chǎn)品開發(fā)和商業(yè)化支持,。這正是我們***與AR領(lǐng)域的**者WaveOptics合作所要做的,，以為*終客戶提供真正可擴展的解決方案,?！?

      EVG的NILPhotonics®能力中心框架內(nèi)的協(xié)作開發(fā)工作旨在支持WaveOptics的承諾，即在工業(yè),，企業(yè)和消費者等所有主要市場領(lǐng)域釋放AR在大眾市場的應(yīng)用,，并遵循公司模塊計劃的推出。 本地納米壓印圖像傳感器應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,，現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團隊,，各種專業(yè)設(shè)備齊全。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗,，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能,，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】,，同時還建立了完善的售后服務(wù)體系,，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。誠實、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,，也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造***的磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。